- 电子工业废气处理工程设计标准 GB 51401-2019
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4．1 一般规定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 5．1 一般规定
- 5．2 处理流程和方法
- 5．3 处理设备
- 5．4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 6．1 一般规定
- 6．2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
- 7 挥发性有机物废气系统
- 7．1 一般规定
- 7．2 废气收集、排风管道系统
- 7．3 处理系统
- 7．4 处理设备
- 7．5 自动控制及安全措施
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 9．1 一般规定
- 9．2 系统设计、处理流程及方法
- 9．3 处理设备
- 9．4 风管及附件
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 10．1 一般规定
- 10．2 系统设计、处理流程及方法
- 10．3 处理设备
- 10．4 风管及附件
- 11 事故通风
- 11．1 一般规定
- 11．2 系统设计及有害气体净化
- 12 电气设计
- 12．1 供配电与照明
- 12．2 防雷与接地
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度(IDLH)
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
- 1 总则
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4．1 一般规定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 5．1 一般规定
- 5．2 处理流程和方法
- 5．3 处理设备
- 5．4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 6．1 一般规定
- 6．2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
- 7 挥发性有机物废气系统
- 7．1 一般规定
- 7．2 废气收集、排风管道系统
- 7．3 处理系统
- 7．4 处理设备
- 7．5 自动控制及安全措施
- 8 特种废气系统
- 8．1 一般规定
- 8．2 烷类尾气处理系统
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8．4 其他特种尾气处理系统
- 8．5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 9．1 一般规定
- 9．2 系统设计、处理流程及方法
- 9．3 处理设备
- 9．4 风管及附件
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 10．1 一般规定
- 10．2 系统设计、处理流程及方法
- 10．3 处理设备
- 10．4 风管及附件
- 11 事故通风
- 11．1 一般规定
- 11．2 系统设计及有害气体净化
- 12 电气设计
- 12．1 供配电与照明
- 12．2 防雷与接地