4  【工，。艺及：工艺设备 — 【。 4．1  一【般，规定 ！ 4．1．1  根！据电子工业工—艺加工性质主—要有：酸性废气、碱性废气！、，挥发性有机》物（：VOC？s）废气、含尘废气！、特种废气、玻璃窑！炉废气表1是电子】工，。业典型生《产工序排出的废气类！。别表2是典》型生产？工，。序排出废气的主要】。成分 —。 《 《 《 ， 4．1．2—。  企业《。。要优先采用》清，。洁生产技术、—工艺和设备采用无毒！、无害或《者低毒、低害的原料！替代毒性大、危【害严：重的原料优先使用】低氟：材料企业要根据生产！。工艺、化学品使用清！单、有毒有害物【质清单等进行分【析论证符合清洁【生产指标《要求达到《。较高的清洁生产水平！。同时限制使用—。有，害的化学品》是全球的发展趋【。。势企业需承担社【会责任要符合中国】禁止或严《格限制的有毒化【学，品名录等《相关限？制性规定 ！ 4．？1．3  》当生产过程中使用】含，砷烷、？磷烷、乙硼烷—、，铅蒸气？。、汞蒸？气和氰化《物等极毒、剧毒【物质时一《般是由生产厂家提供！相关数据在》。。环，境评价阶段》完成物料《平衡计算控制排放量！ 《 4？．1．4  半【导体集成电路和平】板显示生产过—程中化学气》相淀积、干法刻蚀等！工序使用的具有【全球：变暖潜能（GWP）！的氟化合物》包括全？氟化合物四氟化【碳（C？F4）、六氟乙烷】（C2F6）—、八氟丙烷（C3】F8）、八氟—环丁烷？（c-C《4F8）、三—氟，化，氮（：NF3？）、六氟化硫—（SF6）、三【氟甲烷？（CHF《3）和氢氟碳—。化物（HFCs）等！ 4．】1．5  根据排放！废气的种类和性质集！中布：。置工艺？设备以便废气—集，中，收集 — 4．1．6 】 考虑当《有毒有害气体发生】泄漏事？故时事故排风—系统的有效》性以及事故排—风系统？和相：对应的废《气，处理系统的规模有毒！有害气？体的泄？漏速：率要控制在》一定的范《围内所以在有毒有害！气体的供应源头【即储罐出口处—需装：设流量限制》阀实际工程中有毒】有害气体储》罐出口装设》的最大流量为3【0L/m《in的限流阀—既能符合生产—供应要求《又能很好地控制发生！事故：时的：有毒有害气体泄漏速！率 ： ，