4 — 工：艺及工艺设备— 》 ？ ：4．1  》一般规定 ！ 4．1．【1  根据电子工】业工艺加工性质【主要有酸性废—气、：碱性废气、挥发性】有机：物（VOCs—。）废气、含尘废【气、特种废气、玻璃！。窑炉废气表1—是电子工业典型【生产工序《排出的废气类别表2！是典型？生产工序《排出废气的主要成分！ 】 ！ 4．1《．2：  企业要》优先：采用清洁生产技术、！工艺和设备采用无】毒、无害或者低毒】、低害的《原料替代毒性大、危！害严：重的原？料优先使用低氟材料！企业要根据生产【工艺、化《学品使用清》单、：有毒有？害物质清单等—进行分？析论证符合清洁【生产指标要求达到】较高的清洁生—产水：平，同时限制《使，用有害的化学品是全！球的发展趋势企业】需承担社会责—任要：符合中国禁止或严格！限制：的有毒化学品名【。录等相？关限制性规定— ， ？ ：4．1．3  当生！产过程中《使用：。含砷烷、磷》烷、乙硼烷、—铅，蒸气、汞蒸气和氰化！物等极？毒、剧毒物质时一】般是由生产厂家【提供相关数据在环境！评价阶段完成物料】平衡计算控制—排，。放量 【 4．1．4  半！导体集？成电路和平板显示】生产过程中化学气】相淀积、干法刻蚀等！工序使用的具有全球！变暖潜能（GW【P）的氟化合物【包括：。全氟：化合物四氟化碳【。（CF4）、六氟乙！。烷（C2F6）、八！氟丙烷？（C3？F8）？、八氟环丁烷—（c-C4F—8）、三氟化氮【（NF3）》、六氟？化硫：（SF6）》。、三氟甲烷（CHF！3）：和，氢氟碳化物（—HFCs）》等 4．！1．5  根—据排放废气的—种类和性质集中布】置工艺设备》以便废气《集中收集 ！ 4．1《．6  《考虑：当有：毒有害气体发—生泄漏事故时事故】排风：系统：的有效性以及事故】排风系统和相对【。应的废气《处理：系统的规模有毒有】害气体的《。泄漏：速率要控制在一定】的范围内《所以在有毒》有害气？体的供应源头即储罐！出口处需装设流量】限制阀实际》工，程中有毒《有害气体储罐出【口装设的最大流【量为30《L/m？i，n的限？流阀既能符合生产】供应要求《又能很好地控制发】生，事故时的《有毒有害《气体泄漏速率 】