4  工】艺及工艺设备— 】 4．1  【一般：规定 《。 4【．，1，．1  根据—电子工业工》艺加工性质主要【有酸性废气、碱性】废气、？挥，发性有机物（VO】Cs）废气、含【尘废气、特种废气】、玻璃？。窑炉废？气表1是电子工业】典型生？产工序排出》的废气类别表2是典！型生产工序排出废气！的主要成分》 ？ ： 《 — ： 4．1．2—  企业要优先【采用清洁生产—技术、工艺和设备采！用无：毒、无害或者低毒】、低害？的原料替代毒性【大、危害严》重的原料优先使【用低氟材料企—业要根据生产—工艺：。、化学品使》。用清：单、有毒有害物【质清单等进行分析论！证符：。合清洁生产指标【要求达到《较高的清洁生产水】平同时限制》使，用有害？的化学品《是全球的《发展趋？势企业需承担社会】责任要符合中—。国禁止？或，严，格限制的有毒—化学：品名录等相关—限制性规定 ！ 4．《1．3  当—生产过程《中使用含砷》烷、：磷烷、乙硼烷、【铅蒸气？、汞蒸气和氰化物】等极毒、《剧毒物质《。时一般是由》生产厂家《提供相关《数，据在环境评价阶段】完成：物料平衡计算控制】排放量 《。 》4．1．4  半导！体集成？电，路和平板显示生产】过程中化学气相淀积！、干法刻蚀等—工序使用的具有全球！变暖潜能（GWP）！的氟化合《物包括全《。。。氟化合物四氟化【碳（CF《4）：、六氟乙烷（C2F！6）、八氟丙—烷（C3F8）、】八氟环丁烷（c-】C4F8）》。、三氟化氮（NF3！）、六？氟化硫？（S：F6）、三氟—甲烷：（C：HF3）和氢氟碳】化物（HFCs）】等 【4．1．5》  根据《排放废气的》种类和？性质：集中布置工艺—设备以？便，废气集？中收集 】。。。 4．1《．6  《考虑当有毒有—害气体发生泄漏【事故时事故排—风系统？的，有效性以及》事故：。排风系统和相对应】的废气？处理系统的规模有】毒有害气体》的泄漏速率要—控制在一定的范围内！所以在有毒有害【气体的供应源头【即储罐出口》处需装设流量—限制：阀实际工程》中有毒有害气—体，。储罐出口装设的最大！流量：为30？L/min的限【流阀既能《符合生产供应—。要求又能很好地控制！发生事？故时的有毒有害气体！泄漏速率 —