《4，。  工艺及工艺【设备 ？ ！4，．1  一般规【定， ： 4．】1．：1 ： ，根，据电子工业工—艺加工性质主—。要有酸性废气、【碱性废气、挥—发性有机物（VOC！s）：废气、？含尘废气、特种废气！、玻璃窑炉废气【表1是电子工业典型！生产工序排》出的废气类别—表2是典型》生产工序《排出废气的主要【成分 《 】 ？ 4．1】．2  企业要优】先，采，用清洁生产技—术、工艺和设备【采用无毒、无害【或者：。低毒、低害的—原料替代《毒性大、《危害严重的》原料优先使》用低：氟材料企业要根据生！产工艺、《化学：品使用清单》、有毒有害物质清单！。等，进行分析论证符合】清，洁生产指标要求达到！较高的清《洁生产？水平同时《限，制使用有害的—化学品是全》球的发？展趋势？企业需承担社会责任！要符合？中国：禁止或严《格限制的《有毒化？学品名录等相关限制！性规定 ！4．1．3 — 当：生产过程中使—用含砷烷《、磷烷？、乙硼？。烷、铅蒸《气、汞蒸气》和氰化物等极毒、剧！毒物质时《一般是由生产厂家提！供相关数据在环境评！价阶：段完成物料平衡【。。计算：控制：排放量 《 ： ， 4？．，1，。．4  半导—体集：。成电路和平》板显示生产过程中化！学气相淀积、干法】刻蚀等工序》。使用的？具有全球变暖潜能（！G，WP）的氟化合【物包括全氟化—。合物：。四氟化碳（》CF4）、六—。氟乙烷（《C2F6《）、八氟丙烷—（C3F8》），、八氟环《丁烷：。（c-C《4F8）、三氟【化氮（NF》3）、六氟化硫（S！F6）、三》氟甲烷？（CH？F3）和氢氟—碳化物（HFCs】）等 《。 4．1．5！  根据排》放废气？的种类和性质集中】布置工艺设备以便废！气集中收集 【 4．1．】6 ： 考虑当有》毒有：害，气体：发生泄漏事》故时事故排风—。系统的有效性—以及事故排》。风系统和相对—应的废气处理系统】。的规模有毒有害【气体的泄漏速率要】。控制在？一定的范围内所以】。在有毒有害》气体的？供应源？头即储罐《出口处需《装设流量限制—阀实际工《程中有毒有害气【体储罐出口》装，设的最大流》量为30L/—min的限流阀【既能：符，合生产供应要—求又能很好地控制】发生：事故时的《有毒有害气体泄漏速！率 ： ，