2 术】语
】
2.?0.:。1, 封?闭箱体 e】。nclosure】
! 实体的结》构物用于《区隔具有排》风设:施的空间与其他【有或无排风》设施的空《间
《
2.0.2 ! 设:备排风静压》 exha】usti《ng st》。at:ic pre—ssure —o,f e?quipmen【t
《
需排!风设备?封闭箱体内外两【侧的:压差即设备封闭【箱体内压《力与:。设备所处环境压力】之差通常《。为,负值单位为》Pa
2!.0.3 》 不相容 i!ncompatib!l,e,
】。 :化学:。物质经由非故意的】结合可能产生剧【烈的反应或无法控制!的状况其释放的能】量可能引起危险【
:
2.0.4! 局部排》风 : , loc》al: exha》ust
《
【。 :局部排风的工作原理!是在污染《。源或其邻近处捕【集污染?物并将其排至外界环!境,通常会经过空气【净化或污染因—子破坏的处理—。装,置
2.!0.5 《 酸性废气 —。 acid【 con《。tami《nat?ed: exha》ust
》
》 企业厂区内】燃料燃烧《和生产?工艺:过程中产《生的酸性污》染物气?体,的总称通常》。溶于水中会发生反】应,形成:弱酸包括《二氧化硫、硫化【氢、氟化物、氯【、,氯,化氢、磷酸》、硝酸、硫酸等
!
?
2.?0.6 碱性【废气 al】k,aline c【。ontamin【ated 》exhaust
!
【 生产工艺过程中】产生的碱性》污染:物气体的《总称通常《能与酸作用生成盐】类化合物《包括:氨,、胺类化合物—。、氢氧?化钠等?
2.】0.7 特种废气! 《special c!on:taminat【e,d,。 exhau—s,t
》
电【子产品生《产,过程中化学气—相淀积、《扩散、外延、—离子注入、干—法刻蚀等工艺—设备散?发的含有毒性、腐蚀!性、氧化性、—。。自燃性?、可燃性、惰性等物!质的废气
【
2.0.8 ! 全氟化《合物: ?。 pe?。rf:luo?。roco《mpounds【(PFCs)
【
— 电子工业生】产过程中化学气相】。淀积、干法刻蚀等工!序使用的具有高【全球变?暖潜能?(GWP)》的氟化合物包—括全氟化合物和氢氟!碳化物?(HFCs)—如四氟化碳(CF4!)、六氟乙烷(C】2F:6)、八《氟丙烷(C3F8)!、八氟环丁烷(c-!C4F8)、三【氟化氮(《N,F3)、六氟—化硫(?SF6)和三氟甲】烷(CHF》3)上?述的全氟《化合物和氢氟碳化】物在工?业界统称《为全:氟化合物
】
2.0.9 !立即危害生命和【健,康浓度 【。i,mmedi》ately —dang《ero?us to l【ife?。 an?d he《a,lth(IDLH)!
! ,对生命产《。生即:刻危害并《对健:康造成不《可逆:的不良?影响的?环境浓度或使人降低!逃生能力《的环:境浓:度
【2.0.《10 限流—阀 : rest【ricte》d-fl《ow orifi】ce
?
,。
】置于气瓶阀体内把】。最大流量限制在一】定,范围内的装置
!
:
2.0.11 !挥发性?有机:物 vo【latile o】rganic 【com?pounds(V】OC:s)
】 沸点在【50:℃~250℃间【温度293.15K!时,蒸汽压大于》或等于0.》01kPa》或者能够以气态【分子:的形态?排放到空《气中的所有》有机化?。合物但不包括甲烷】
,
》2.0?.12 《 尾气?处理:设备 ? poi—nt-o《f-use ab】atement(P!OU)
! 安装—在工艺生产设备附】近并对其排出的尾】气进行处理的设备】通常:也称排风预处—。理,设备或就《。地尾气处理设备【
?
2.》0.:13 ? 中央废气处理【系统 cen!tral《ized aba】tement sy!stem
【
通常!位于废气系统—的末端在废气排【入大气前对》其所含的特定污染】因子做最《终的消减《处理并达到规定的排!。放浓度或标》准的:处理系统
》
》2.0.14 转!轮浓缩系统 】 ro?tor-《co:ncentrato!r :system
!
《。 挥发性有机】。物废气通过转轮的吸!附,区域后其污染因子】能被有效地》吸附于转轮的—吸附材料中并在转轮!。的脱附区域被小流量!高温:空气脱附使低—浓度:。、大风?量挥发?性,有机物废气浓—缩,为高浓?度、小风量》的挥发性《有机物废气的系【统
2.!0.1?5 蓄热》氧化系统《 《re:generativ!e therm【al oxid【izing》 syste—m
】 通过》蓄热床吸收高温烟气!的热量?并预热未经》处理的?低温废气《吸热升温后》的废:气通过高温裂—解破坏?其污:染因子结构》的系:。统
2.!0.16 填【料洗涤式废》气处理设备 【 , pac《ked?-b:ed scrubb!er
【
? , ,经由填料增加气【。液废:气接触面积》的,废气处理设备—包括:本体、填料层、除】雾层、?循环喷淋系统、循】。环泵、储液槽及控】制系统等的废气处理!设备通常分为水平式!和垂:直,式
》
,
2.0.17 !压,入式废?气处理?系,统, blow-!thro《u,gh a《ba:tement sy!stem
》
:
:
: 风机位于废】气,处理设?备气流上游废气处】。理设备相对于所处环!。境为:正压的处理》系统
】2.0.《18 吸入式废气!处,理系统 《 ,。 dr《awing —out? abatemen!t system】
?
风】。机位于废气》处理设备气流下【游废气处理》设备相对于所处【环境为负压的—处理系?统
?
2.0.】19 吹》吸式废气处理—系,统, blow】-draw a【。batement !。s,ystem
【
?
废—。气处:理设备的进、—出口均?设,置风机废气》处理设备相对于所】处环境为微负压或】微正:压的处理《系统
《
:
2?.0.?20 ? 时间加《权平均?容许浓度 》 , per》missib—le ?conc《ent?。ra:tionti—me wei—ght?ed avera】ge(PC-—TWA)
》
》 ? 以时间《为权数规定》的8h工作日、4】0h工?作周的平《均容许接触浓度【
《
2.0.21 ! 短时?间接:触容许浓度 【 permis】sibl《e co《ncentr—ation》-short 【term 》exposu—re limit】。(PC-ST—EL)
【
? ?在遵守PC-TWA!前提下容许短时间】(1:5min)》接触的?浓度
】2.0.22 】最高容许浓度 【 maximu!m allowa】ble conc】entra》tion(MAC)!
,
?。
工【。作地:点空气中有害—物,质不应超过的浓【度
:
,