《2 ：。 ，术语：。。 》 2．0．1】  封闭箱》。体    enc】。。lo：sure《。 《 ：    实体—的结构？物，用于区隔具有—排风设施的空间【与其他有或无—排风设施的空间【 —2，。．，0．2  设—备排风静压   】 exhau—sting —st：atic p—ressure o！f ：equipme【。nt 】  ：  需排风设备封闭！箱体内外《两侧的压差即设备】封，闭箱体内压力与【设备所处《环境压力《之差通常《为负：值单位为Pa ！ ？2．0．3  不】相容  《  ：incom》pa：tibl《e 》  ？   化学物质经由！非故意的《结合可能产生剧【烈的反应或无法控制！的，状，况其释？放的能量可能引【起危险 — 2《．0．4  局部】排风    —lo：cal exha】。us：t ：    】 局部排风》的工作原理是在污染！源或：其邻近处捕集污【染物并将其排—至外界环境通常会经！过空气净化或—污染因子破》坏的处理装置 】 ： 2．0．5  ！。酸性废气   【 acid c【on：tamina—ted exhau！st 【  ：   企业》厂区内燃料燃烧【和生产工艺过程中产！生的酸性《污染物气体的—总称通常溶于水【中会发生反应形成弱！酸包括二《氧化：。。硫、硫化《。氢、氟？化物、？氯、氯化氢、磷酸、！硝酸、硫酸等—。 ， 2．0】．6  碱性废【气 ：   alk—ali？n，e conta【minate—d exhau【。st 《  》   生产工艺过】程中：。产生的碱性污—染，物气体的总》称通常能《与酸作用生》成盐类化合物包括氨！、胺类化合物—、氢氧化钠》等 ？ 《2．0．7  【特种废气   【 special ！contam—ina？ted exha】ust 》   —  电子产品生【产过程中化学气相淀！积、扩散《、外延？、，离子注入、干—法刻：蚀等工艺设备散发】。的含：有毒性？、腐蚀性、氧化性】、自燃性、》可，燃性：、惰性等物质的废气！ —2，．0．？8 ： 全氟化《合物： ， ，  perflu】o，rocom》poun《ds(PFCs)】。 ？ ：     电子工业！生产过程中化学气相！淀，积、：干法刻蚀等工—序使用？。的具有高全球变暖潜！能，（GWP）的氟【化合物包括全氟化】合物和氢《氟碳：化物（HF》Cs）如四氟化碳（！CF4）、六—氟乙烷（C》2F6）、八氟丙烷！（C3F8）、八氟！环，丁烷（c《-C：4，F8）、《三氟化氮（NF【3）、？六氟化硫《（SF6）和三氟甲！烷，（CHF3）上述】。。的全氟化合物和氢】氟，碳化物在工业界统称！为全氟化合物— 2．0！．9  立即危害生！命和健？康浓：。度   《。 immedi【ate？ly dang【erous to ！lif？e， and hea】lth(IDLH)！   】。 ， 对生命产生即【刻危害并对健—康造成不可逆的不】良影响的环境—浓度或使《人降：低逃生能力的环境浓！。度 【2．0？．10  限流【阀    res】trict》。ed-fl》ow ？orific—e 》     —置于气瓶阀体—内，。把最：大流量？限，。制在一定《范，围内的装置 】 ： 2．0．11  ！挥，。发性有机物 —   v《ola？tile or【gan？ic c《。omp？ounds(VOC！s) —     沸【。点在50℃》～，250℃间温度2】93．15K时【蒸汽压大于或等于】0．：01k？Pa：或者能？。够以气态分子—的形态？排放到空《气中的所有》有机化合《物但不包括甲烷 】 2．0】．1：2  尾气》处理设？备    》point-o【f-use ab】atemen—t(：POU) 》 ？。    》 安装？在，工艺生产《设备附近并》对其排？出的尾气进行—处理的设备通常也称！排风预处理》设备或？就地尾气处理设备 ！。 》2．0．13  中！央废气处理系—统    c—entrali【zed abate！men？t system】。 ：  》   通常位于【废，气系统？的末端在《废气排入大气前【对其：所，含的特定《污染因？子做最终的消减处理！并达到？规定的排放浓—。度或标准的处理系统！ ， 2．0】．，14  转轮浓缩】系统   》 r：otor《-c：once《ntrator【 syste—m， ：     挥！发性有？机物：废气通过《转轮的吸附区域后其！污染因？子能被有效地吸附】于转轮？的吸附？材，料中并在转轮的脱】附区域被小流量高】温空气脱附使—低浓度、《大风量挥发性有机物！废气浓缩为高—浓，度、：小风量？的挥发性有机—物废气的系统— 》。 ，2．0．15  蓄！热氧化系统》    regen！。erat《ive th—ermal —oxidizin】g syst—em  ！  ：。。 通过蓄《热床吸？收高：温，烟气的热量》并预热未经处理的】低温废气吸热升【温后：。的废气通过高温裂】解破坏其污染因子】结构的系《统 》 2？．0．1《6  ？填料洗涤《式废气处理设—备  ？  p？。acked》-bed《 scr《ubber 【     经！由填料增加气液【废气接触面》。积的：废气处理设备包【括本：体、填料层、除雾层！、循环喷淋》系统、循环泵—、储液槽及控制系统！。等的废气《。处理设备通常分【为水平？式和垂直式 】 2．0．1】7  压入式—废，气处理系统 —   blow-】th：r，ough《 ，aba？tement sy！stem 【。     风】机位于废气处理设】备气流上游废气处】理设备相《对于所处环境—为，正压：的处：理系统 【 ， 2．0．1—8  吸入》式废气处理系统  ！  drawi【ng ou》t ：abatement！ syst》em 》。 ：     风—机位于废气处理【设备气？流，。下游废气《处理设？备相对于所》。处环境？为负压？的，处理系统 》 2．0】。．1：。9  吹《吸式废气处理—。系统    —b，low-d》raw a》。batement】 syst》em 》 ： ，    废气处【理设备？的进、出口均—设置风机废气处理】设，备，相对于所《处环境？为微负压或》微正压的处理—系统 】2．0．20—  时间加权—平均容许浓度 【  ： pe？rmis《sible co】ncent》rationtim！e weighte！d， average(！PC-TWA) ！  》   以时》间为：权数规定的8h工】。作日：、40h工作周的平！均容许接触浓度【 ？ 2．0．21！  短时间接—触容许浓度    ！permi》ssible 【concen—tration-s！hort ter】m expos【ure limi】t(PC-STEL！) ：     ！在遵守P《C-TWA前提【下容：许短时间（1—5min《）接触的浓度—。 ： ： 2．0》．22 《 最高容许浓度【  ：  maxi—mum allo】wable —co：nce？ntrati—。on(？MAC) 【 ，  ？   工作地点空】气中有害物质—不应：超过的浓度》 ， ，