2 — 术语 》 ？ 2．0．1 ！ 封闭箱体  【  enclosu！re 》     实体！的结构物用于区【隔具有排风设施【的空间与其他有或无！排风设？施的：空间 》 2．0—．2  《。设备排风静压  】  exhaus】ting sta】tic pr—essure 【of equip】ment《 》 ，。    需排—风设备封《闭箱体？内外两侧的压差【即设备封闭》箱体内压力与设【备所处环境压力之差！通常：为负值单位为Pa ！ 2．【0．3  不相【容   《 inco》m，patib》le 》。 ，     化学物！质经由非故》意的结合可能产生】剧，烈的反？应或无法控制—的状况其释》放的：能量：可，能引起危险 ！ 2．0．4【  局部排风   ！ lo？cal e》xhaust 】     】局部排风《的工作原《。理是在污《染源或其邻》近处：捕集污？染物并将其排—至外界环境通—常会经？过空气？净化：或污染因子破—坏，的，处理装置 【 ： 2．0．5—  酸性废》气 ：   a《c，id con—t，ami？nate《d exhau【st： ：     】企业厂？区内燃料燃烧和生产！工艺过程中产生【的酸：性，污，染物气体的总称通常！溶于水中会发生【反应形？成弱酸？包括二氧化》硫、硫化《氢、氟化物、—氯、氯？化，氢、磷酸、硝酸、硫！酸等 —。 2．0．6 】 碱性废气    ！alkalin【e conta【。minate—d ex《ha：ust 【     生产】工，。艺过程中产》。生的碱？性污染物气体的总】称通常能与酸作用生！成盐类化《合物包括氨》、胺类？化合物、氢氧化钠等！ 2．0！．7  特种废气】    s》pe：ci：al con—。tami《na：ted exhau！st 《     】电子产品生产—过程中化《学气相？淀，积、扩散、外—延、离子注入、干】。法刻蚀等工艺设备】散发的含有毒性、腐！蚀性、氧《化，性、自燃性》、可燃？性、惰性等物质【的废气 《。 2．0】．8  《全氟化合物  【  p？er：f，luorocom】p，o，unds《(PFCs) 【     ！电子工？业生产过程中化【学气相淀积》、干法刻蚀等工序使！用的具有高全球【变暖：潜能（GWP）的】氟化合物包括—。全氟化合物和—氢氟：碳化物（H》FCs）《如四氟化碳》。（CF4）》、六氟乙烷（—C2F6）、八氟丙！烷（C3F8）、八！氟环丁烷《（c：-C4F8）、三氟！化氮（NF3—）、六氟化硫（S】F6：。）和三氟甲烷—（CHF3》）上述的全》氟化：合物和氢氟碳化物在！工，。业，界统称为《全，氟化合物 】 ， 2．0．9  】。立即危害生命和健康！浓度    im】。m，e，d，iately d】angerou【s， to？ lif《e， and 》hea？lth(IDL【H) 《 ，     【对生命产生即—刻危害并对健—康造成不可逆—的不良？影，响的环境浓度或【使人降低逃生—。能力的环境》浓度 ？。 2．0】．10  限—流阀   》 ，restrict】ed-fl》ow o《rifice 】 《    置于—气，瓶，阀体内把最大流量限！制在一定《范，围内的装置 】 2．0．1】1  挥发性—有机物    【vola《。。t，ile o》r，gani《c comp—ounds(V【OCs？) 《。    — 沸点在5》0℃～250℃【间温：度293．1—5K时蒸汽压大于】。或等于0．01【kPa或者能够以】气态：分子的形态排—放到空气中的—。所有有机化》合物但不包》括甲烷 【 2．0．12】  尾气处理设备 ！   point-！of-use a】bate《ment(PO【U)  ！   安装在工艺生！产设备附近并对其】排出的尾气》进行处理的设备通常！也称排风预处理设备！或就地？尾气处理设备 】 2．0【．13  》中央废气处理系统 ！   ce》ntral》ized a—ba：t，emen《t system ！   【  通常位于废气】系统的末端在废气】排，入大气前《对其所？。含的特定污染因子做！最终的消减处—理并达到规定的【排放浓度或标准【的处理系统 【 ？ 2．0．1—4  转轮》浓缩系统    】rotor-—concent【rat？o，r system】。 ？     挥发！性有机物废》。气通过转轮的—吸附区域《。后其污染因子能被有！效地吸附《于转轮的吸附—材料中并《在转轮的脱附区域被！。小流量高温空—气脱附使低浓度、】大风量挥发性有【机物废气浓》缩为高浓《度、小风《。量的挥？发性有机物》废，气的系统 ！ ，2．0？．15  蓄热氧化！系统    —regenerat！ive 《thermal 】ox：。idizin—g sy《stem ！     》通过蓄？热床吸收高温—烟气的热量并—预热未经处理的低温！废气吸热升温后【的废：。气通过？高温裂解《破坏其污染》因子结构的系统 ！ 2．0．1！6  填料洗涤式】废，气处理设备   】 packed【-bed scr】ubber 【    【 经由填料增加【气液废气接触—面积的废气处理设备！包括本？体、填料层》、除雾？层、循环喷淋系统、！。循环泵、储液槽及】控，制系统等的废气处理！设备通？常，分为水平式和垂直式！ ： ： 2．0．17】  压入式废气【。处理系统 》   ？b，low-t》hrough 【abatemen】。t syste【m， ？     风机！位于废气处》理，设备气流上游废气】处理设备相对—于，所处环境为正压的】处理系统《 ？ ， 2．0》．18  吸入式】废气：处，理，系统   》 ，drawing 】。out a》batement ！。system ！     【风机：位于废气《处理设备气流—。下，游废气处理》设备相对《于所处环境为—负压的处理系统【 —2．0．19  吹！吸式废气处理—系统    b【low-d》raw 《abateme【nt ？system 【 《     废—气处理设备》的进、出口均设【。置风机废气处理设备！相对于？所处：环境为微负压—或微：正压的处理系—统 》 2？．0．20  时】间加权平均》容许浓？度    p—er：missi》ble con【ce：ntration】time w—eighted a！。verag》e(：PC-TW》A) 【     以—时间为？权数：规定：的，8h工作日、—40：h工：作周的平《均容许？接触浓度 — 2．0【．21  短时间接！触容许浓度   】 p：ermissibl！e， c：。o，nce？ntration】-s：h，ort t》erm 《exposu—。re lim—it(PC-—STEL《) 【    在遵守P】C-TW《。A前提下容许短时】间（15《min？），接触：的浓：度， ， 2．0】．22  最高容】。许浓度？    maxim！um ？allowable！ concentr！at：io：n(MA《C) 《    【 ，工，作地点空气中—有害物质不应超【。过的：浓度 《