： ， 2  《术语 ！ 2．0．1—  封闭箱体 【   enc—lo：。。sure 【   》  实体的结构物用！于区隔具有排风设施！的空间与《其他有或无》排风设施的空间【 —2．0．2 — 设备排《。风静压   — exhausti！ng st》ati？c pressu】re of e【quipm》en：t 《   》  需排风设备封】。闭箱：。体内外两《侧的压差即设—备封闭箱体》内，压力与设备》。所处：环境压？力之：差通常？为负值？单位为Pa — ？。 ， 2．0《．3  《不相容    【in：。compa》ti：ble 】     》化学物质经由非故】意的结合可能产生剧！。。烈的反应或》无法控制的》状况其释放的能量可！能引起危《险 【2．0．4  局】部排风    lo！cal exha】u，st 》。 ？    局部排风】的工作？原理是在污染源【或，。其邻：近处捕集《污染物并将》。。其，。排至外界环境通【常，会经过空气》净化：或污染因子破坏的】处理装置 ！ 2．？0．5  酸—。性废：气    ac【id con—tami《nated ex】haust ！   《。  企？业厂：区内燃料燃烧和生】产工艺过程中—产生的酸性污染物气！体的：总，称通常溶《于水中会发生反【应形成弱《酸包括二氧》化硫、硫化》氢、氟化物》、氯、氯化氢、磷酸！、硝酸、硫》酸等 《 2．0．】6  碱性废气【    a》lka？line co【。nt：am：inat《ed ？exhau》st 》。     【生产：工艺：过程中产生的碱性污！染物气体《的总称通常能与【酸作用生成盐类【化合：物包括？氨、胺类化合物、】氢氧化钠等 ！ 2？．0．7  特【。种废气 《   spec【i，al c《on：ta：m，inate》d， exh《a，ust？ ：。   —  ：电子产品生》产过程中化学—气相淀积、》扩散、外《延、离子注入、干法！刻蚀：等工艺？设备散发的》含，有毒：性、腐蚀性、氧化】性、：自燃性、《可燃性、惰性等物】质的废气 》 2．0．！。8  全氟化合物 ！   perf【luor《oco？mpounds(P！FCs？) ？     】电，。子工业生产过程中】化学气相淀积、干】法，刻蚀等工序》使用的具有高—全球变暖潜能—（，GW：P）的？氟化合物包括全【氟化：合，物，和氢氟碳《化物（HF》Cs）？如四氟化碳（CF4！）、六氟《乙烷（C2F6）、！。八氟：丙烷（C3F8）】、，八氟：环丁：烷（c？-，C4F8）、三氟化！氮（NF3）—、六：氟化：硫（SF6）—和三氟甲烷（C【HF：3）上述《的全氟化合物—和氢氟碳化物在工业！界统称为全氟化【合，物 》 2？．0．9 》 ，立即：危害生命和健康【浓度    im】media》。tely da【ngero》us ？to life 】and heal】t，h(IDLH)【    ！ 对生命产生—即刻危害并对健康】造成：不可逆？的不良影《响的：环境浓度或使—。人降低逃《生能力的环境—浓度 ？ 2．0．！10  限流阀  ！  restric！ted？-f：lo：w o？rifice 【   【  置于气瓶—阀体内把最大流量限！制在一定范》围内的？装置 【。 ，。2．0．11  挥！发性有？机物    v【olatil—e or《ganic》 compound！s，(VOC《s) 】。。    沸点在50！℃，～250℃间温【。度293．》15K时蒸》。汽压大于或等于【0．：。01kPa或—者能够以《气态分？。子的：形态排放到空气【中的：所有有机化合物但】不包括甲烷》 《。 2．0》．，1，2  尾气处理设】备    p—oint-》of-u《se abatem！e，nt(POU)【 《 ：    安装—在工艺生产设备【附近并对其》排出：的尾气进《行处理的设备通【常也：称排风预处理设备或！就地尾？气处理设备 】 2．0．1】3  中央废气【处理系？统  ？  c？en：tr：alized ab！ateme》nt： syste—m   ！  通常《位于废气系统的末端！在废气排入》大气：前对其所含的特定污！染因子做最终的消减！处理并达到规—定的排放浓度或标】。准的：处，理，系统 — 2？．0．14 — 转轮浓缩》系统    ro】t，or-？conc《entrato【r syste【m ？ ？     》挥发：性有：机物：废气通过转轮的【吸附：区域：后，其污染因子能—被有效地吸附—于转轮？的吸附材料中—并在转轮的脱—附区：域被小流量高温空】气脱：附使低？浓度、大风》量挥发性有机物【废气浓缩为》高浓度、小》风，量的挥发性有—。机物废气的》系统 【。 2．0《．15  蓄热氧化！系统：  ：  regen【erati》ve： therm—al oxi—dizing 【syst《。em 】。。    通》。过蓄热床吸收高温烟！。气的热量并预热未】经处理的低》温废：。。气，吸热升温后的废气通！过高温裂解破坏其】污染因子结构的【系统 《 2．—0，．16  填—。料，洗涤式废气处理【设，备  ？  p？acked-—。bed？ scru》b，ber 《     ！经由填料《增加气液废气接触面！积的废气《处理设备包》括本体、填》料层、除雾层—。、循环喷淋》系统、循环泵、储】液槽及控制》系，统等的废气处理设】备，。通常分为水平式【和垂直式 【 2《．，。0．17 》 压入式废气处【。理系统   — bl？ow-throu】g，h abat—eme？nt system！ 《     风机位！。于废气处理设—备，气流上游废气处【。理设备？相对：于所处环境为正压的！。处，理，系统： —2．0．1》8  ？吸入：式废气？处理系统    】dra？wing out ！abat《e，ment syst！e，m 《 ： ，    风机位【于废气？。处理设备气流—下游废气处》理设备？相对于所处》环，境为：负压的处理系统 ！ ？ 2．0．19【  吹？吸式：废气：。处理系统《    bl—ow-draw 】。abateme【nt s《ystem ！  ？   废气》处理设备的》进、出口均》设置风机废》气处理设备相对于所！处环境为微负压【或微正压的处理系统！ ？ 2．0．2】0 ： 时间加《权平均容许》浓度    per！miss《ible 》concentr】。atio《n，ti：me weight！e，。d avera【g，e，(PC-《TWA) 》 》 ，   以《时间：为权数？规定的8h工作【日，、40h工作周的平！均容许接触浓度【 2．0！．2：1  短时》。。间接触容许浓度 】。   perm【issibl—。e concent！r，ation-sho！rt term e！xp：osu？re lim—it(？PC-？STEL)》   】  在遵《守PC-TWA【前提：下容许短《时间（15mi【n）接触的浓—度 2】．0：．2：2 ： 最高？容许浓度 》。 ，  ：maxim》um： allowab】le： concentr！ation(MAC！) 》 ，     》工作地？点空气中有害—物，质，不应超过的浓度 】 ，