2》  术？语 ： ， ： ： 2．0》．1  封闭—箱，体 ：   e《nclosur【e  】   实体的结构】物用于区隔》。具有排风设施的空间！与其他有《或无排？风设施的《空间 2！．0．2  设备排！风静压    【exhaust【ing st—atic pre】ssur《e of eq【uipment【。 —  ： ， ，需，排风设备封闭箱体内！外两侧的《压差即设《备封闭箱《。体内压力《与，设备所处《环境：压力之差《通，常为负值单位为【Pa ？ 2．0】．3：  不相容   】 inco》mpati》ble 】     化学【物质经由非故—意的结合可能—产生剧烈的》反应或无《法控制？的状况其释放的【能量可能引起危【险 2．！0，．4  局部—排风：    lo—cal ex—haust 【  》   局部排—风的工作原》。理是：。在污染源或其邻【近处捕集污》染物并将《其排：至外界环境》通，。常会经过空气净化或！污染因子《破，。坏的处理装置 【 ？ 2．《0．5  》酸性废？气    aci】。d， c：ontami—n，ate？d exha—us：t 》。     —企业：厂区内燃料燃—烧和生？产工艺过程》中产：生的酸性污染物气】体的总称通常溶于水！中，会，发生反？应形成弱酸包括二氧！化硫：、硫化氢、氟化【物、氯、氯化氢、】磷酸、硝《酸、硫酸等 ！ 2．0》．6  碱》性废：气，  ：  ：alkalin【e co《ntaminate！。d e？xhaus》t，   】。。。  生产《工艺过程中产—生的碱性污染物【气体的总称通常【能与酸作用》生成盐类《化合物包括》氨、胺类化》合物、？氢，氧化钠等 》 ， 2．0．】7  特种》废气    sp】ecial c【ont？。aminat—ed： exhaust】 《。     电子产！品生产过程中化学】气相淀积、扩—散、：外延、离《子注入？、干法刻蚀等工艺设！备散发？的含：有毒性、腐蚀性、】氧，化性：、自：燃性、可燃性—、，。。惰性等物质的废【气 — 2．0．8  】。全，氟化合？。物   《 perf》luorocom】pounds(【PFCs) 【 ？     电子【工业：。生产过程中化—学气相淀积、干法】刻蚀等工序使用的具！有高全球变暖潜能（！GW：。P，）的氟化《合物包括全氟化合】物和氢？氟碳：化物（HFCs【）如：四氟化碳（》。C，。F4）、六氟—乙烷（C《2F：6）、八氟》丙烷（C3F8）、！八氟环丁烷（c【-C4F《8）、三氟》化氮（NF3）【、六氟化硫（SF】6）和三氟》甲，烷（CHF》3）上述的全氟化合！物，和氢氟碳化物在工】业界：统称为全氟》化合物 】 2：。．0．9  立即】危害生命和健康【浓度  《  im《me：diately 】d，an：g，erous to ！life and】 healt—h(IDLH—) 【   ？。 对生命《产生即刻危害—。并对健康《造成不？可逆的不《良影：响的环境浓度—或使：人降：低逃生？。能力的环境浓度 】 2．0．！10  限流阀  ！ ， restric】。ted-flo【w orifi【ce 【 ，    置于气【瓶阀体内把最大流量！限制：在一定？范围内的装置— 2．】0．11  —挥发性有机》物    vol】a，tile org】anic com】pounds(V】OCs) ！     沸点【在50℃～250】℃间温度293【．15K《时蒸汽压大》于或等于0．01】k，Pa或者能够以气态！分子的形《。态排放到《空气：。中的所有有机—化合物但不包括【甲烷 —。 2．0》．12？  尾？气处理设备    ！p，o，。int-of-【use？。 abatem【ent？(P：OU：)   ！ ，。 安装？。在工：艺生：产设：备附近并对其排出的！尾气进行处理的设备！通常也称排风预【处理设备或》就，地尾气处理设备 】 《 2．0．13 】 中央废气处理系统！    cen【tr：a，li：zed a》batem》ent syste！m —     通—常位于废气系统【的末端在废气—排，入大气前对其所【含的特定《污染因子做》最终：的消减处理并达到】规定的排《。放浓度或标准的处理！系统 ？ 2—．0．1《4  转轮浓缩【系统 ？   ？rot？o，r-con》centrator！ ，sys？tem 《。     ！挥，。发性有机物废气通过！转轮的吸《附区域后其污—染，因子能被有效地【吸附于？转轮的吸附》材料中并在转—。轮，的脱附区域》被小：流量高？温空气？脱附使低《浓度、？大风量挥发性有机物！废气浓缩为高—浓，度、小风量的挥发】性有机物《废气的系统 ！ ， 2：．0．15  蓄】。热氧化系统 —   re》ge：nerati—ve ther【mal 《oxid《i，zing sys】tem ！    《通过蓄热床吸收高】温烟气的热》量并：预热未经处理的低】。温废：气吸：热升温后的废气【通过高温裂解破坏其！污染：因子结构的系—统 【。2．0．1》6  填《料洗涤式废气处理】设备 ？   pa》。ck：ed-b《ed： scrub—ber 【     经由填！料增加？气液废气《接触面积《的，废气处理设备包【括，本体、填《料层、除《雾层、循环喷淋系统！、，。循环泵、储液槽及】控制系统等的废气处！理设备？通常分为水平式【和垂直式 】 2．《0．17  压入式！废气处理系统 【。   blow-】th：r，ou：gh aba—。temen》t system】 —。    风》机位于废气处理设】备气流上游》废气处理设备相对】于所处环境为正【压的处理系统 】 2．0．】18  吸入—式，废，气，处理：。系统 ？   ？。dra？wi：ng ？out 《abatement！ sy？stem 】     —风，机，位于：废，气处理设《备气流下游废气【处理设备相》对于所处环境—为负压的处理系【统 2．！0．19  —吹吸：式废：。气处理系统 —   blow-d！。raw abat】ement sy】stem —     废！气处理设备》的，进、出口均设置【风机废气处理设备相！对于所处环》境为微负压或微【正压的？处理系统 》 ：。 ： 2．0．20  ！时间加权平均容许浓！度    pe【rmissi—ble c》oncentr【a，tion《time w—eigh《ted a》v，erage(P【C，-TWA) 【 ？     》以时间？为权数？规，定的8h工》作日：、40h工作周【的平均容许》接触浓度 ！ 2．0．》21：  短时间接触容】许浓度    pe！rm：i，ssib《le conce】ntr？at：ion？-sh？。ort？ t：erm ex—posu《。re l《imit(PC-S！。TEL) ！     在遵【守PC-TWA前】提下容？许短时间（15【m，in）接触的浓度 ！ 2．0．！22  最高容【许浓度    【m，a，ximum —。allow》ab：le c《onc？ent？r，at：ion？(MAC) ！   《。  工作地》。点，空气中有《。害物：质不：应超过的浓度— ：