， 2  术语】 ： ： 2》．0．1  封闭】箱体    en】closure 】     ！实体的结构物用于】区隔具有排风设施的！空间与其他》有或无？排，风设施？的空间？ 2．】0．2  设备排风！静压：  ：  exhau【sting sta！tic？ press—ure of e】q，uipm《ent 】     》。需排风设备封闭箱体！内外两侧的压—差即设备封闭箱体】内，压，力与设？备所处环《境压力之差通常【为，负值单位为Pa ！ ？ 2：．，0．3  不相容 ！   inco【mpat《ible —     】化学物质经由非故意！的结合可能产生剧烈！的反：应或无？法，控制的？状况其释放的能【量可：能引起危《险 — 2．？0．4 《 局部？排风    loc！al： exhaust ！     ！局部：排风的工作原—理是：在污染源或其邻近处！捕集污染物并将其排！至外界环境通常会经！过，空气净化或污染因】子破坏？的处理装置 】 2．》0．5  酸性【废气 ？   acid 】cont《amina》ted e》xhaust 】   —  企业厂区内【燃料燃烧和》生产工艺过》程中产生的》酸性污？染物气体的总称通常！溶于水中会发生反】应形成弱酸包括【二氧化？硫、硫化氢、—氟化物、氯》、氯化？。氢、：。磷酸、硝酸》、硫酸等 【 ？2．0．6  碱性！废气    alk！。a，line《 contam【inat《ed： exha》u，st 【     生产工艺！过程中产生的碱性】污染物气体的总称】通，常能与酸作》用，生成盐？类化合物包括氨【。、胺类化合物、氢】氧化钠等 ！。 ，2．0．7  【特，种废气    【speci》al co》ntami》na：ted？ exhau—st： —    电子产品生！产过程中化学—气相淀积、扩—散，、外延、离子注【入，。、干法刻《蚀等工艺设备散【。发的含有《毒性、腐蚀性、氧】化性、自燃性、【可燃：性、惰性《等，物质的废气 【 2．0【．8  全氟化【合物  《  perfluo！rocompou】nds(PFCs】) ？ ：     电子工！业生产过程中化学气！相淀积、干法刻【蚀等工序使用的具有！高全球变暖潜能（】GWP？）的：氟化合物包括—全氟：化合：物和氢氟碳化物（H！FCs）《如四：氟化碳（CF4）、！六氟乙烷（C2F6！）、八氟丙烷（C】3F8）、》八氟环？。丁烷（？c-C？。4F：。8）、？三氟化氮（》NF3）、六—氟化硫（SF6）和！三氟甲烷（CH【F3）上述的—。全氟化合物和氢【氟碳：化物在工业界统称】为全氟化合物 】 ： 2？．0．9《  立即危害生命】和健康浓度  【 ， ，immed》。iatel》y dang—erous》 to life】 and hea】lth(ID—LH) 《 》    对生命产】。生即刻危害并对健康！造成不可逆的不良影！响的环境浓度—或使人降低逃—生能力的环境—浓度 ？ 2．【0．：10  限流阀 】   re》s，t，r，ict？e，d-flow— ori《f，ice 《 ： ， ，    《 置：于气瓶阀体》内把最大流量限【。制在一定范围内【的，装，置 ： 《 2．0．11  ！挥，发性有机物    ！volatile】 organ—ic com—pounds(V】OCs) 》。    】 沸：点在50℃～250！℃间温度293．】15K？时蒸汽压大》于，或等于0．0—1，k，Pa或？者，能够以气态》分子的形态排放到空！气中的所有有机【化合物但《不包括？甲，烷 2】．0：．12  尾气处理！设，备    po【int？-of-use【 a：batement(！POU)《 ：。     】安装：在工艺生产设备附】近并：对其：排出的尾气进行处】理的设备《通常也？称，排风：预处理设备或就地】尾，气处理设备 ！ 2．0．13 ！ 中央废气处理系统！   ？ ce？nt：r，ali？ze：d ab《atement s！ys：。tem 【    》 通常位于废—气，系，统的末端在》废气排入大气前【对其所？含，的特定？。污染：因子：做最终的消减处【理并达到规定的排】放浓度或标准的处理！系统 2！。．0．14 — 转轮浓《缩系统    r】o，tor-conc】entr《ato？r system】  【  ： 挥发性有机物废】气通过转轮的吸【附区域？后其污？染因子能被》有，效地吸附《于转轮？的吸附材料中并在】转轮：的脱附区域被小流量！高温空气脱附—使，低浓度、大风量【挥发性有机物废气】浓缩为高浓度—、小风量的挥发性】有，。机物废气《的系：统 《 ： 2．0《．1：5  蓄热氧化系】统 ：   re》generat【iv：e therm【al： oxidiz【ing 《syste》m ？     通！过蓄热床吸收高【温烟气的热量—并，预热：未经处理的》低，温废气吸热升温【。。后的废？。气通过？高，温裂解破坏》其污：染因子结构的系【统 ？ 2．0．1！6  填《料洗涤式《废气处理设备   ！。 packed【-bed scr】ubber ！     —经由填料增加—气液废气《接触面积的废—气处理设备包括本体！、填料层、除—雾层：、循环喷淋》系统、循环泵、【储，液槽及控《制系统等的废气处理！设，备通常分为水平【式和垂？直式 》 ？2．：0．17 》 ，压，入式废气处》理系统   — blow》-thro》ugh？ aba《。tement s】ystem ！     —风机位于废气处理设！备气：流上游？废气处理设备相对】于所处环《境为：正压的？。处理系统 — 2．0．】18  吸入式废】气处理系《统   《 drawing】 out ab【at：em：e，nt system！ —    风机位于】废气：处理设备气流下【游废气处理设备【。。相对于所处环境为】负，压的处理系》统， ， 2—．0．19  【吹吸式废《气处理系《统    bl【ow-draw【 abateme】nt syste】m ：     ！废，气处理设备的进、】出口均？设置风？机，废气：处理设备相对于【所处环境为微负【压，或微：正压的处理系统 ！ 2．0．2！0  ？时间加权平均容许】浓度    p【ermis》sible —concent【rati《ont？im：e we《ighte》d aver—a，ge(PC-—TWA) ！   ？。  以时《间为权？数规：定的8h工作—日、40h工—作周的平均容—许接触浓《度 ？ ？ 2．0．21  ！短时间接触容许【浓，度   《 pe？rmissible！ c：oncent—rat？ion-sh—ort ter【m ：e，。xpos《ure limi】t(PC-ST【EL) — ：     在—遵，守PC-《TWA？前提下？容许短时间（1【5min）接触【的浓度 】 2．0．2—2  ？最高容许浓度 【 ，  m？a，xi：mum all【owable— c：oncentra】t，ion(MA—C) 《 《   ？ 工：作地点空气中—有害物质不应超【过的：浓度： ：