4 — 工艺及工艺设备】 《。 4．】。1  一般规定 】 【4．1．《1  根据电子【。工业：工艺加工性质主要有！酸性废气《、碱性？。废气、挥发性—。有，机物（VOCs）】废气、含《尘，废气、？。特种废气、玻璃窑炉！废气表1是电—子工：。业典型？生产工？。序排出的废气类别】表2是典型》生产工序排出废【气的主要成分 ！ ！ —4．1．《2  ？企业要优先采用清】洁生产技术、工艺】和设备采用》无毒、无《害或者低毒、低【害的原料替代毒性大！、，。危害严重的》原料优先使用低氟】材，料企业要根据—生，产工艺、《化，学品使用《清单、有毒》有害物质清》单等进行《分，析，论证符合清洁生产】指标要求达到较高】的清洁？。生产水平同时—限制：使用有害的化学【品是：全球的发《展趋势企《业需承？担，社会责任要符—合中国？。禁止或严格限制的有！毒化学品名录等【相关限制性》。规定 】4．1．3 — 当生产过程—中，使用：含砷烷、磷烷、【乙硼烷、铅蒸气、】汞蒸气？和氰化物《等极：毒、剧毒《物质时一《般是：由生：产，厂家提供相关数据在！环境评价阶段完成物！料平：衡计算？。控制排放量 【 ？ 4．1．4  】半，导体集？成电路和平板显示】生产过程《中化学气相》淀，。积、干法刻》蚀等工序使用的具】有全球变暖潜能（G！WP）？的氟：化合物包括》全氟：化合物四氟化—。碳（C？F4）、六氟乙【烷（C2F6）、】八氟丙？。。。。烷（C3F8）、八！氟环丁烷《（c-？C，4F8）、三—氟化氮？（NF3）》、六氟？化硫（SF》6）、三氟甲烷（】CHF3）》和氢氟碳化物（H】FCs？）等： ？ ： 4．？1．5  根—据排放废气》的种类和性》质集中布置工艺设备！。以便废气集中—收集 【 4：．，。1．：6  考虑当有毒】有害气体发生泄漏事！故时事故排风系【。统的有？效性以及事故排风】系统和相对》应，的废气处理系统【的规模有毒有害气】体的泄漏速率要控制！在一定的范》围内所？以在有毒有害气体的！供应源头即储罐【出口处需装设流【量限制阀实际工【程中有毒有害气体】储罐出口装设的【。最大流量《为30L/m—in的限流阀既能符！合生产？供应要求《又能很好地》。控制发生事故时的】有毒有害气体泄漏】速率 《