《。4  工艺及工艺】设备 —。 ： 4．1 】 一般规定 【 ？ 4．》1．：1  根据电子【工业工？艺加工性《质主要？有酸：性废气、《。碱性废气、挥—发性有机物》（VOC《s，）废气、含尘废气、！特种废气、》玻璃窑炉废》气表1是《电子工业典型生【产工序排出》。的废气类别》表2是典《型生产工《序排出废气》的主要？成，分 — 】 《 4．1．2  企！业要优先采用清【洁生产技术》、工艺和设》备，采用无毒《、无害或者低毒、】低害：的原料替代毒性大】、危害严《重的原料《优先使用《低氟材料《企业要？根据生？产工艺？。、化学？品，使用：。清单、有毒》有害物质《清单：等进行分析论证【符合清洁生产指【标，要求达到较高的清】洁生：产水平同时限制使用！有害的？化学品是全球的【发展趋势《。企，业需承担社会责任】。要符合中国禁止或严！格限制的有毒化学品！名录等相《关限制性规定— ： 4．—1．3？。  当生产》。。。过程：中使：用含砷烷、磷烷、】乙硼烷、铅》蒸气、汞蒸》气和氰？化物等？极毒：、剧：毒物质时一般是【由生产？厂家提？供相关数据在环境评！。价阶段完成物料平】衡，计算控制排放量【 4．1！．4  《半导：体集成电《路和平？板，显示生？产过程中化学—气相淀积、》干法刻蚀等工序使】用的具有全球变暖潜！能，（G：WP：）的氟化合物—包，括全氟化合物四氟】化碳（CF4）、六！氟乙烷（C2—F6）、《八氟：丙烷（C3F8）、！八氟环丁烷（—c-C4F8）【、三氟化氮》（NF3）、六【氟，化硫（SF6—），、三氟甲烷（C【HF：3）和氢氟碳化【物，（HF？Cs）等 》 》4．1．5  【根据排放废气—的种类和性质集中布！置，工艺设备以》便废气集中收集 】 4．1．！6  考虑》当有毒有《害，。气体发生泄》漏事故时事故排【风，系，。统，的有效性以及—事故排风《。系统和相对应的废】气处理系统》的规模有毒有害气】体的泄漏速》。率要控制在一定【的范围内《所以在有毒有害气】体的供应源》头，即储罐出口处需装设！流量限制阀实际工】程中有毒有害—。气体储罐《出，。口装设的最》大流量为30L/m！in的？。。限流阀？既能符合《生产供应要求又【能很好地控》制发生事故时的有】毒有害气体泄漏速率！ ：