4  工】艺及：工艺设备 【 ？ 4》．1  《一般规定 ！ 4．1—。．1  《根，据电：子工业工《艺加工？性，质主要？有酸：性废气？、碱性废气、挥发】性有机物（V—OCs）《废气、？含尘废气、特种废气！、玻璃窑《炉，废气表1是电—子工业典型生产【工序排出的废气类】别表2是典型生【。产工序？排出：废气的主要》成分 【 ！ 4．1【．2：  企业要优先采】用清洁生产技术【、工艺和设备采【用无毒、无害或者低！毒、低害的》原料替？代毒性大、危害严重！的原料？。优先使用低氟材料】企业要根据生产工艺！、化学品使》用清单、有》毒有害物质》清单：等，进行分析论证符合清！洁生产？指标要求达》到较：高的：清洁：生产水平同时限制使！用有害的化学品【是，全球的发展趋势企】业需承担社会责任要！。符合中国禁止或严】格限制的有毒—化学品名录等相【关限制性《规定 ？ ， 《4．1．3》。  当生产过—程中使用含砷烷、】磷烷、乙硼烷、铅蒸！。气，。、汞蒸气和氰化物】等极毒、剧毒物质】时一般？是由：生产厂家《。提，供相关数据在—环境评？价阶段？完成物料《平衡计算控制排放量！ —4．1．4  半】。导体集成电路和平】板显示生产过—程中化？学气相淀积、干法】刻蚀等工《序使用？。的具有全《球，变暖潜能《（，GWP）的氟化【。合物：包括全氟《化合物四氟》化碳：（，C，。F4）、六氟乙烷（！C2F6）、八【氟丙烷（C3—F8）、八》氟环丁烷（c-C4！F8）、三氟—。化氮（？。NF3）、六氟化硫！（S：F6）、三氟甲【烷（CHF3）【。和氢氟碳化物（H】F，Cs）等 》 ， 4．—1．5  根据【排放废气的种类【和性质？集，中布置工艺设备【以便：废气集？中，收集 ？ 4．1．！6  考虑当有毒】有，害气体发生泄漏【事故时事《故排风系统的有【效，。性以及事故排风系统！和相对应的废气处】理系统的规模有毒】有害气体的泄漏速】率要：控制在一定的—范围内所《以，在有：毒有害？气体的供应源头即储！。罐出口处《需装：。设，流量限制阀》实际工？程中：有毒有害气体—储罐出口装设—的最大流量为30】L/：min的限》流阀既能符》合生产供应要求【又能很好《地控：制发生事故时的【有毒有害《气体泄？。漏速率 》