4  【工艺及工艺设备 】 【 ：4．1  一般【规定 — 4．1．】1  ？根据电子工业工艺加！工性：质主要有酸性废气】、碱性废《气，、挥发性有机物（V！OCs）废气、含】尘废气、特种—废气、玻璃窑炉废】气表1是电》子工业典型生产【工序排出的》废气类别表2—是典型生产工序【排出废气《的主要成分 】 《。。 — ？ 4．1》．2  企业—要优先采用清洁生产！技术、工艺和—设备采用无毒、无害！或者低？毒、低害的原料替代！毒性大、危害严重的！原料优？先使用低氟材料企】业要根据生产工艺】、化学品使用清单】、有毒有害物质【清单等进行分析论证！符合清洁《生产指标要求达到较！高的：清洁生产水》。。平，同时限制使》用有害的化学品【。是全：球的发？。展趋势企《业需承担社会责任要！符合中国禁止或严】格限制的有毒化【学品名录等相—关限：制性规定 ！ 4．1《．3  当》生产过程中使用含】砷烷、磷烷、乙【硼，烷、铅蒸气、—汞蒸气和氰化物等】极毒、剧毒物质【时一般是《由生产厂家提—供相关数据在环境评！价阶段完成物—料平衡计算控制排】放量 【 4．1．4  半！导体集成电路和平板！显，示生产过《。程中化学气相—淀积：、干法刻蚀等工序使！用的具有全球变暖潜！能（GWP）的氟】化合物包《括全氟化合物—四氟化？碳（CF4》）、六氟乙烷（C2！F6）、八》。氟丙：烷（C3F8—）、八氟环丁烷【（c-C4》F8）、三氟化氮（！。NF3）、》六氟化？硫（S？F，6）、三《氟，。。甲烷（CH》F3）和《氢氟：碳化物（《。HFCs）等— ： 4》．1．5 》 根据排放废气【的种类和性》质集中布置》工艺设备以便废气集！中收集？ 》 4．？1．6？  考虑当有毒【有害气体发生泄漏事！故时事故排风—系统的有效性以【。。及事：。故排风系统和相对】应的废气处理—系，统的规模有毒有【害气体的《泄漏速率要控制【在一定的范围内【所以在有毒有害气体！的供应源头即储【罐出口处需装设流】量限：。。制阀实际工程中有毒！有害气体储罐出口】装设的最大流量【为30L/m—i，。。n的限？。流阀：既能符合生产供应】。要求又能很好地控】制发生事故时的【有毒：有害气体《泄漏速？率 ？