4  工艺！及工艺设备 ！ ， 4—．1  一般规定 ！ — 4．1．》。1  ？根据电子《工业工艺《加工性质主要有酸性！废气、碱性废气、】挥发性有机物（【VO：C，s）废气、含尘废气！、特种废气》、玻璃窑《。炉废气表1是—。电子工业典型生产】工序排出的》废气类别表2是典型！生产工序排出—废气的主要》成分 《 ：。 ： ！ ： 4．1《．2：  企业要优先采用！清洁生产技》。术、工艺和设备采用！无毒、无《害或者低毒、低【害，的原料替代毒性大】、危害严重的原料】优先使用低氟—材料企业要根据生产！工艺、化学》品使用清单、有毒】有害物质《清单等？进，行分析论证》符合：清洁生产指》标，要求达到较高的清洁！。生产水平同时—限制使用有害的【化学品？。是，全球的发展趋势企】业需承？担社：会责任要符》合中国禁止或严【格限制？的有毒化学》品名录？等相关限制性—规定 】4．1．3 —。 当生？产过程中《使，。用含砷烷、磷烷、】乙硼烷、铅蒸气、汞！。蒸气和氰化物等【极毒、剧毒物质时一！般是由生产厂家提】供相关数据在环境】评价阶段完成物【料平衡计算控—制排放量 — ？ 4：．1．4  半导】体集成电路和平板显！示生产？过程中化学》气相淀？积、干法刻》蚀等：工序使用的》具有全球变暖—潜，能（：GW：P）的？氟，化合物包括全—氟化合？物四氟化碳（CF4！）、：六氟：乙烷（C2F—6）、八氟丙烷（】。C3F8）、八【氟环丁烷（c-【C4F？8）、？三氟：化氮（NF3）、六！氟化硫（《SF6）《、三氟甲烷（CH】。。F3：）和氢氟《碳化物（HFC【s）等 》。 4．1【．5  根据排放】废，气的种类和性—质集中？布置工艺设备以【便废气集中收—集 4】．1．？6  考虑当有【毒有：害气体发生》泄漏事故时事故排】风系统的《有效性以《及事故排风系—统和相对《应的废气处理系【统，的规模有毒》有害：气体的泄漏速率要控！制在：一定的？。范围：内所：以在：有，。毒有害气体的—供应源头即储罐出口！处需装设流量限【制阀实际工程中有】毒有害气《体储罐出《口装设的《最，大流量为30—L/min的限流阀！。既能符合《生产供应要求又能很！好地控制发》生事故时的有毒【有害气体泄漏速率】 ：