4  工艺！及，工艺设备 ！。 4．1】  一？般规：定 ？ 4．】1．1  根据电】子工业工艺加工性】。。。质主：要有酸性废气、碱】性废气、挥发性有机！物（VO《Cs）废气、—含，尘废气、特》。种废气？、玻：璃窑：炉废气？表，1是：电子工业《典型生产《。。。工序排出的废气类】。别表2是典型生产】工序排出废气的【。主要成分 》 【 【 ， ， 4：．1．2  企业】要优：。先采用清《洁生产技术、—工艺和设备》。。采用无？毒、无害或者低毒、！低害的原料》替代毒性大、危害】严重的原料优先【使用低氟材料企【业要根据生产工艺】、化学品使》用清：。单、有毒有害物质】清单等进《行分析论证符合清】洁生产指标要求达】到较高的清洁生产水！平同：。时限制使《。用有害的化学品是全！球的发展趋势企业】需承担社会责任要符！合中国？禁止或？严格限制的有毒化】学，品名录？。等相：关限制性规定 【 4—．1．3  当生产！过程中？使用含砷烷、磷烷、！乙硼烷、铅蒸—气，、汞：蒸，。气和氰化物等极毒、！剧毒：物质时一般是由生产！厂家提供相》关数据在环境评【价阶段？完成物料平衡计【算控制？排放量 ！4．：1．4  半导体】集成电？路，和平板显示》。生产：过程中化《学气相淀积》、干：。法刻蚀等工序—使用的？具有全球变暖潜【能（G？WP）的《氟化合物《包括全氟化合物四氟！。化碳（CF4）、六！氟乙：烷（C2F6）【、八氟丙烷（C3F！8）、八氟环丁烷】（c-？。C4F8）、三【氟化氮（NF3）】、六氟？化硫（SF6—。），、三氟甲烷（C【HF3）《和氢氟碳化物（【HFC？s）等？ 《 4．《1．：5  根据排—放，废气的种类和—。性，质集中布《置工艺设备以—便废气集《中收集 —。 ？4．1．《6  考虑当—有毒有害《气体发生泄漏事【故时事故排》风系统的有效性以】及事故排《风系统和相对应的】废气处理《系统的？规模有？。毒有害气体的泄漏】速，率要控制在一定的】范围内所以在有毒有！害气体的供应源头即！。储罐出口处需装设流！。量限制阀实际工程中！有毒有害《气体储罐出口装设】的最：。大，流量为30L/mi！n的限流阀既能【符合生产供应要求】又能很好《地控制？发生：事故：时的有？毒有害气体泄—漏速率 》