， ： 8．3  全氟化！合物（PFC—）尾：气处理系统》 《 ： 8？．3．1  —对化学？气相沉积《（CV？D）、干法刻—蚀工艺生产工程【中，散发：的全氟化《合，物（PFC）排入大！气前应进行》处理 》。 8《．3．2 》 尾气处理设备【的效率应符合下列规！定， 》。     1 【 三氟化氮（NF3！），不应：低于9？8％； 】   ？  2 《 其他不应低于9】5％ 《 8．3．3！  全氟《化合物（PFC）】尾气处理设备宜采】用热裂解和淋洗【两级处理方》式裂解方式应根据处！理效率、处理生【成物、系统可靠性、！处理能力、运—行成本使用寿命、】消防要求因素等综合！比较确定 — 8》．3．4  尾【气处理设备的—内腔：和风管应《。采用耐腐《蚀的材料 》 ： 8．3—．5：  尾气处理设备】的排水应《进入：含，氟废：水处理系统 【