： 8．3  【全氟化合物（PFC！）尾气处理》系统： ？ 8．3．！1，  对化学气—相沉积（C》。VD）、干法刻蚀】工艺生产工》程中散发的全氟化】合物（PFC）排】入大：气前应进行处—理 8．！3．2  尾—气处理设备的—效，率应符合下列规定 ！   【  1  三氟化】氮（NF《3）不应低于9【8％：。； —  ：   2  —其他不应低于9【5％： ？ ？。8．3．3  【全，氟化合？物，（PFC）尾—气处理设备宜采用】。热裂：解，。和淋洗两《级处理方《式裂：。解方式应根据—处理效率、处理生成！物，、系统可靠性、处理！能力、运行成—本使：用寿命、消防要求因！素，。等综合比较》。确定 8！．3．4 》 尾气？处理设备的内腔和风！管应：采用耐腐蚀》的材：料 》 8．3．5 】 尾气处理》设备的排《水应进入含氟—废水处理《。系统： ：