。 8．3 】 全氟化合物（P】FC）尾气处理系】。统 — 8《．3．1  对化学！气相沉积《（，C，VD）、干法—刻蚀：。工艺：。生产工程中散发的】全氟化合物（PF】C）排入大气前【应进行处理 【 ， 8．3—．2  尾气处理】设备的效《率应符合下列规【定 《     1】  三氟化氮（NF！3，。。）不应低于》98％； 》 ？     2【  其他《不应低于95％ ！ 8．3．3！  全氟《化合物（《PFC）尾气处理】设，备宜采用热裂—解和淋洗两》级处理方式裂解【方式应根据处理效率！、处理生《成，物、系统可》。靠性、处理能力、】运行成本使用—寿命、？。消，防要求因《素等综合比较确定 ！ ？ ， 8．3．4—  尾气处理设【备的内腔《和风管应采用耐【腐蚀的材《料， 》 ，8．3．5  尾】气处：理设备的排水应【。进入含氟废水处理系！统 ？