8》．3  全氟化合】物（PFC）尾【气处理系统 】 8．3】．1  《对化学气《相沉积（《CVD）、干法刻蚀！工艺生产工》程中散发《的全氟化合物（PF！C，）排入大气前—应进行？。处理 — 8？．3．？2，  尾？气处理设备的效率】应符合下列规定 ！ ：    》 1  三氟—。化氮（NF3）【不应低于98—％； 》。  《   2  其他】不应低？于95？％ — 8．3．3  】全氟化合物（PF】。C）尾？气，处理设？备宜采用热裂解和】淋洗：两级处理方》式裂解？方式应根据处—理，效率、处理生成物、！系统可？靠性、处理能—力、运行成本使【用寿命、消防要【求因素等综》合，比较确定 — 8．3．】4  尾《气处：理设：备的内腔《和风管应采用—耐腐蚀的材料 【 ？ 8．《。。3．5  尾气处】理设备？的排水应进入—含氟：废水处理系统 】