， 8．3 【 全氟化合物（P】FC）尾气处理【系统 》 《 8．3《．1  对化—学，气相沉？积（CVD）、干法！。刻蚀工艺生产工程中！散发的全氟化合【物（：PFC）《排入大？气前应进行处理【。 》 8．3．2—  尾气《处，理设备的效率应符合！下列规定 》。   【  1  三氟化氮！。（N：F3）？不应低于98—％； 《 ，   》  2  其他不应！低，于95？％ ？ ， ， 8．3．—3  ？全氟化？合物（PFC）尾气！处理设？备宜采用热裂解和】淋洗两级处理方式裂！解方式应根据—处理效率《、，处理生？。成，物、系统可靠—性、处理能力—、运行成本使—用寿命、消防要求因！素等：综合比较确》定 【8．3．4》  尾气处》理设备的内腔和风管！应采用耐腐蚀的材料！ ？ 8．》3．5  尾气【处理：设备的？排水应？进入含氟废水处理系！统 ？