8．3 】 ，全氟化合物（PF】C）尾气处理—系统 ？ 8】．，3．1  》对化学气相沉积（C！VD）、干》法刻蚀工艺生产工程！中散发的全氟化【合物（P《。F，C）排入大气前应】进，行，处理： 8．】3．2？  尾气《处理设备的效—率应符？合下列规定》。 》 ，    《1  三氟化—氮（N？F3）不应低于98！％，； —     2 【 其他不应低于【9，5％ 】。8．3？．3  全氟化【合物（PFC）尾气！处，理设备宜采用热裂】解和淋洗两级—处理方式裂解—方，式应根据处理—效率、？处理生成物、—系，统，可靠性？、处理？能力、运行成本【使用寿？命、消防要》求因素等综》。合比较？确定 ？ 8．3．！4，  尾？气，处理设备的内腔和风！管应采用耐腐—蚀的材料 【 ： 8．3《．5  尾气—处理设？。备的排水应进入含】氟，废水处理《系统 ？ ，