？ 8．3  全【氟化：合物（PF》C，）尾气处理系统【 ？ ， ： 8．3．1 】 对化学气相沉积（！CVD）、干法【刻蚀：工艺生产工程中散发！的全氟化合物（PF！C）排入大气前应进！行处理 】 8．3《．2  尾气处【理设备的《效率应符合下列规定！ 》 ，  ：。  1  三氟化】氮（NF3》。。）不应低于98％】；  】   2  其他】不应低于《95％ — 8．3．3 ！ 全氟化合物（PF！C）尾？气处理？设备宜采用热裂解】和淋洗？两，级处理方式裂解方式！。应根据处理效率、】处理生成物、—系统可靠性、处理】能力、运行成本【使用寿？命、消防《要，求因素等《综合比较确》定 ：。 》8．3．4  尾】气处理设备的—内腔和风管应采用耐！腐蚀的材《料 ： ， ：。 8？．3．5  尾气处！理，设备的？排水应进入》。。含氟废水处理—系统 《