：中华人民共和国国家！标准 】电子工业《废气处理《工程设计标》。。准 》 Stan—dard fo【。r design】 of？ electro】nic in—dustry e】。mi：ssions—。 trea》tment en】gineer—in：g ？ ？ GB 《5140《1-2019 】 主编部门中！华人民共和国工【业和信息化部 ！ 批准》部门中华人民共【和国：住房和城乡建设【部 施行！日期2020年4】。月1日 ！中华人民共和—国住房？和城：乡建设？部公告 【 ， 20？19年  第3【21号 — ？住房和城乡建设【部关于？发布：国家：标准电子工业—。废气：处，理，工，程设计标准》的公告 》    【 现批准电子—。工，业废气？处理工程设》计标准为国》家标准编号为GB】 51401-2】0，19：自2020年—4月1？日起：实施其中第3—．0．？3、3．0》．6：。（1）、3．—0．8、3．0．】10、3．》0，．17？条（款）为强—制性条？文，必须：严格执行 》    】 本标准在住房【和城乡建设部门户】网站（？w，ww．mo》hurd．》go：v．cn）公—开并由住房和城【乡建设部标准定【额，研究所组织中国计】划出版社《出版发行 》。 》中华人民共和国住】房和城？乡建设部《 201！9年11月2—2日 前！言，   】  本标准是根【据，住房和城乡》建设部关于印—发〈20《。13年工《程建设？标准规？。范制订、《修订计划《〉的：通知：建标〔2013【。。〕6号的要求由工】业和信息《化部：电子工业标》。准，化研究院、》中国电？子，工程设计《院有限公司会同【有关单位共同编制】完成 — ，     在标【准编制过程中—编写组根据》我国的？集成电？。路（IC）、—薄膜：晶体管液晶显示【器（T？FT-LCD）以】及新型有《机发光？显，示器（OLE—D）：为代表的电》子工厂生产过—程中使？用的化学品种类及】废气污染因子排【放的实际情》况进行了广泛的调查！研究收？集了有关电子—。工厂废气污染因子的！种类和？设计：处理要求认》真总结实践经—验同时考虑》我国目前生产的【现状参考国外有关】的规范标准广泛【征求了全国有关【单位与个人意见【最后经审查定稿 】 ？     本标准！的主要？技术内容是总—则、术语、基—本规定、工艺及工】艺设备、碱性—废气系统、》酸性废气系统、【挥发性有《机物废气系统—、特种废气系统、】除尘系统、电子玻】璃，窑炉废气《系统、事故通风【、电气设《计等：  【 ，  本标准中—以黑：体，字标：志的条文为强制性条！文，必须严格执行 【 ：     【本标准由住》房和城？乡建设部负责管理和！对强制性《条文的解释由工【业和信？息化部负《责日常管《。理由中国电子工程】。设计院有限公—司，负责具？体技术内《容的解释执行—过程中如《有意见或建议—请寄至中国》电，子工程设计院有限公！司电子？工业废气处》理工程设计标准管理！组（地址北》京，。市海淀区西四环北】路，160号邮编1【0014《2，传真01《0-88193【99：9，邮箱yando【ng@？c，eedi．cn【。） ： 《   ？  本标准主编【单位工业和》信息化部电》子工业标准化研究院！ —      —     》    《 ， ，   中国电子工】程，设计院有限公司 】     ！本标准参编单位世源！科技工程有》限公：司 》  ？   ？    《         ！  ： 信息？产，业电子？第十一设计研究院科！。技工程股份》有限公司 【 ，     —         ！ ，  ：。    清》华，大学： 《 ：         ！         ！  同？济大学 ！ ，  ：        】    《     》上海电子《工程设计《研究院有限公司 ！。      ！        】   ？  ：  上海华懋环保】节能：设备有限公司— 《        ！    《         ！奥，意，建筑工程设计—有限公司 【       ！         ！ ，   ？ 北京京东方光电】。科技有限《公司  ！        】   ？        深！圳，市，华星光电技术—有限公司 ！  ：      —       【      三星】工程：建设（？上海）有限公—司 ？ ？         ！        】    北京康【。肯环保设备》有限公？司  】         ！     》 ，    上》海华力微电子—有限公？司，。    ！     》        】    《中国电子科技集团】第五十五研究所 】 ，  》        】。 ，   ？   ？  ：  应用《材料（？中国：）有限公司》   】   ？。   ？   ？    《     》中国电子系》。统工程第四》建设有限公司 ！ ，  ？         ！     》     天津【市武清区环境工程】设备有限公司 【 》  ：     》     》        】苏州：艾特斯环保设备有限！。公司 ？。 《       【 ，       【  ：。    《爱美克环保工业【（武汉）有限公司 ！  — ，    《         ！   ？  东莞兆能环境】科技有限公》司 》      【      —  ：       【中国电子系统—工程第？二建设有限公司【  【。。   ？    《        】   ？ 上海？盛，剑环境系《。统科：技有限公《司 ：    】  ：    《       【    唐纳森【（中：国）贸易有》。限公：司， —  ：      —  ：   ？。  ：     上海点】夺电子科《技有限公《司   ！  ：本标准主要起草人员！秦，学礼 ？ ，肖红梅？  江元升  【莫金汉？  阎冬《  ：羌宁  陆》崎，  徐？刚  杜宝强  】赵海生 《 湛云忠  李杨】。  吴新  何菁 ！ ，李，朝英  永井勇【  林云  韩【科勇  颜登通 】 曹布霖  —云，希，康，。。 ， 邱：会东  黄桂超 】 张作保  巫曼曼！  ：蒋磊  张伟—明 ： 丁宏？伟  钟《平 》     本标】准主要审查人员刘】俊杰  任兆成【  丁杰  阎【宇宏  刘强  王！素，英，  李？坚  ？明慧玲  张利群 ！ ，