中？华人民共和国国家】标准 【 电子工业废—气处理工《程设计标准 — 《 ，Standar【d for》 design【。 o：f ：e，lectron【ic ind—ustry e【missio—ns trea【。tment》 enginee】ring — ： GB 51【401？-，201？9 主】编部门中华人民共和！国工业和信息—化部： 批【准部门中华人民共和！国住房和《城乡建设部 】 施《行日期2020【年4月1《日 ？ 《中华人？民共和？国住房和城》乡建设部公》告 ： ？ 20《1，9年  第321号！ ， 住房【和城：乡建设？部关于发布国家【。标，准电子？工业废气处理—工程设？计标：准的公告 】     现批准！电子工业废》。气处理工程设计标】准为国家标》准编：号为GB 5—1401-2019！自，。2，020年《4月1日起实—施，其中第3《。．0．3、3．【0．6（1》。）、3．0．8【、3：．0．10、3．】0．17条（款【）为强制性条文必须！严格执行 ！    《 ，本标准在《住房和城乡建—。。设，。部门户网站（—www．《mohurd．【gov．c》n）公开并由—住房和城乡建—。设部标准定额研【究，所组织中国计划【出，版社出版发》行 中】华人民共和国—住房和城乡》建设部 》。 2》0，19年？11月22》日 》。 前言 】。     本标准！是，根，据住：房和：。城乡建设部关于印发！。〈201《3年工程建设标准规！范制订、修订计【划〉的通知建—标〔20《。13〕6号的要求】由工业和信息化部电！。。。子工业标准化—研究院、《。中国电子工程设【计院有限公司—会同有关单位共同】编制完成 —  》   在标准编制过！程中编写组根据我】国的集成电》。路（I？C）、薄膜晶体管液！晶显示器《（TFT-LC【D）以及新》型有机发光显示器（！OLED《）为代表的电子工】厂生产过程中—使，用的化学品》种类及废《气污染因子排放【的实际情况进行了】广泛的调查研究收】集了有关电》子工厂废气》污染：因子的？种类和设《计处理要求》认真总结实践经验同！时考：虑我国目前生—产的现状参考国外】有关的规《范标准广泛》征求了？全国有关单位—与个人意见》。最，后经审查定稿 】     】本标准？的主要技术内容【。是总：则、术？语、基本规定、工艺！及工艺设备、—碱，性废气？系统、酸《性废气系统、挥发性！有机物废气系—统、特种废气系统、！除尘系统、电子【。。玻璃窑炉废气系统、！事故通风、电气【设计等 》。  》   ？本标准中以黑体【字标志的条文为强】制性条文必须严格执！。行 《。 ： ， ，   ？本标准由住》房和城乡建设部负】责管理和《对，强制性条文》的解：释由工业和信息化】部负责？日常管理由中国电】子工程？设计院有限公—司负责具体技术【内容的解释执—行，过程中如《有意见或建议请【寄至中？国电子工程设—计院有限公》司电子？工业废气处理—工程设计标准管理】组（地？址北京市海淀区西四！环北路160号邮编！10：014？2传：真010-》88193》999邮箱yand！on：g@：ceedi》。．，cn：）   ！  本标《准主编单位工业【和信息化部电子工】业，标，准化：研究院 【        ！ ，        】    中国—电子工程设计院【有限公司 —  》   本标》准参编单位世源科】技工程有限公司【  【    《     》 ，   ？      信息产！业电子第十一—设计研究院科技工】程股份？有限公？司 ？  》 ，。  ：    《    《 ，       清】华大学 《 》      —。 ，。 ，     》      — 同济大学 】      】    《       【   ？ 上海电子工程设】计研究？院有限公司 —   【       【 ，        】 ， 上海？华懋环保节能设备】有限公司 】   《    《。       【   ？  ：  ：奥意建？筑工程设计有限【公司 ？ ：。  《   ？ ， ，   ？。         ！  北京《京东方光电科技有限！公司 — ：  ：      —     》      — 深圳市华星—光电技术有限公司 ！     ！   ？ ，       【  ：   三星工程【建设（上海》），有限公司 【 ：     》      —。         ！ 北京康肯环保设备！有限公司 — ？  ：    《      —         ！上海华力《微，电子有？限公司 《     ！       【  ：       【。中国电子科技集团】第五十五研》究所 》 ？       【。。  ： ，     》     》。应用材料（中—国）有限公司 】 《       【         ！    中国—电子：系统工程第四—建设有？限公司？ ：      ！。    《  ：        】 天津？市武：清区环境工程设备有！限公司？ ？     【    《。。      — ，     苏州艾特！斯环保设备》。。有限公司 】 ，        】        】   ？  爱美克环保工业！（武汉）有限—公司  ！ ，         ！ ，      —  东莞《兆能：环境科技有》限公司？ ：     】  ：         ！     中国电】子系统工程第—二，建设有限公司 【     ！   ？    《       【  ：上海盛剑《环境系？。统科技？有限：公司 《     】 ，      —        】 唐纳森（中国）贸！易有限公司 — ？       】    《  ：。        上！海点夺电子科技【有限公司 》 ：     本标！。准主要？。起，草，。人，员秦学礼  肖红梅！  江元升  莫金！汉  阎冬》  羌宁  陆崎 ！ 徐刚  杜—宝强  赵海—生  湛云忠— ， 李杨？  ：吴新  何菁  】李朝英  永井【勇 ： 林云  韩—科勇  颜登通  ！曹布：霖  ？云希康  》邱会东  黄桂【超  张作保 【 巫曼曼 》 蒋磊  张伟明】  丁宏《伟  钟平 — ，。  》  ： 本标准主要—审查：。人员：刘俊杰  任兆成】  丁杰  阎宇宏！  刘强  王【素英  李坚  明！慧玲  《张利群 》