， ，中华人民共和国【国家标准《 ： 电子工业】废气处理工程设【。计标准 《 Stan！dard f—or： de？sign of【 elect—roni《c， indust【ry emis【sions t【reatm》e，nt eng—inee《。ri：ng —。 ，。。 GB 51401！-，2019 】 主？编部门中华人—民共和国工业和信息！化部：。 —批准部门中》华，人，民共和国住房和【城，乡建设部《 —施行日期2》020年4月1日】 ？ 中华人民共和！国住：房和：城乡建设《部公：告 20！19年 《 第：321？号 住房！和城：乡建设部关于发【布国家标准电子工】业废气处《理工程设计标准的】公告 【。     》现批准电《子工业废气处理工程！设计标准《为国家标准编号为】GB 514—。0，1-2？。019自2020】年4：月1日起实》施其中第3》。．0：．3、3．0．【。6（1）、3．0】．8、3．0—．10、3．—0．17条》（款）？为，强制性条文必—须严格执行 ！。   《  本标准在住房】和城：乡建设部门户—网站（www．mo！hurd《．gov《．，c，n）公开并由住房和！城乡建设部标准定】额，研究所组织》中，国计：划出版社出版发行】 中华人！民共和国住房—。和城乡建设部 【 《 ，2019《年，11月2《。。2日 ？ 前言 ！ ，     【本标准是根据住房】和城乡建设部关于】印发〈201—3年工程建设—标准规？范，制订、？修订计划〉的通知建！标〔2013〕6】号，的要求由《工业和信息化部电子！工业标？准化研究院、中国电！子工程设计院有限】公司：会同有关《单位共同《编制完成 【 ？    在》标准编制过程—中编：写组根据我国—的集：成电路（《。IC：）、薄膜晶体管液】晶显示？。器，（TFT-LCD）！以，。及新：型有机发光显示器（！OLED）》为代表的电子工厂生！产过程中使用—的化学品种》类及废气污染因【子排：放的实际情》。况进：行，了广：泛的调查研》究收集了有关电【子工厂废气》污染因子的种类和设！计，处理要求认真总【结实：践，经验同时考虑—。我国目？前生产的现状参考国！。外，。有关的规《。范标：准广泛征求了全国有！关，单位与个人意见最】后经审查定》稿 ？     本！标准的主要》技，术内容是总则、术】语、基本规定、【工艺及工《艺设备、碱性—废气系统、酸—。性废：气系统、挥发性有】机物废气系统—、，特种废气系统、【除，。尘系：统、电子玻璃窑炉废！气系统、事故通风】、电气设计等—    ！ ，本标准中以黑体字标！志的条文为》强制性条《文必须严格执行【  【   本标》准由住房和城乡【建设：部负责管理和对强制！性条文？的解释由工业和信息！化部负责《日常管理由中—国电子？。工程设计院有限公司！负责具体《技术内容的解释【。执行过？程中如？有意见或建议—请，寄至中国《电子工程设计院有限！公司电子工业—废气处理工程设计】标，准管理组（地址【北京：。市海淀区西四环北路！160号《邮编10014【2传真01》0-881》939？。99邮箱ya—。ndong@ce】edi．cn）【 ？   》  本标准主—编单位工业和—信，息化部电子工业【。标准化？研究院 《。 》     》        】   ？    《中国电子工程设计院！有限公司 】。     —本标准参编》单位世源科》技工程有限公司【 ：      ！。        】       信】息产业电子》第十一设计》研究院科《。技工程股份有限公司！ 》     》   ？     》        】清华：大学 》 ， ，   ？       【         ！  同？济大学 】         ！ ， ，    《  ：    上海—电子工程《设计：研究：院有限公司》 ？     【      —  ：        上！海华懋环《保节能设备有限【。。公司 —        ！  ：。        】 ，  奥意建》筑工程设计》有限公司 》 ？ ，。  ：      — ，        】    北京—京东方光《。电科：技有限公《司 《 ：  ：       【  ： ，      —  ： ，深圳市华星光电【技术有限公司—  【         ！       【   三星工程建】设（上海）有—限，公司： ？    —。         ！        】北，京康肯环保》。。设备有限公》司 ？ ：。      【       【     》 ，  上海华力微【。电子：有限公司 》。     ！  ：   ？      —     》中国：电子科？技集团第五十五研】究所： ：  》 ，       【      —   ？  应用材》料（中？国，），有限：。公，司   ！         ！      —   中国电子系】统工程第四建设有限！公司 ？ 》 ，      —        】     天—津市武？清区环境工程设【备有限公司 】   》  ：     》  ：      —  ： 苏：州，艾特斯环保设—备有限公司 ！。 ，  ：      —   ？        】 ， 爱美？。克环保工业（武汉】）有限？公司 ？。  —   ？         ！   ？。    东》莞兆能环境科—技有限公《司 ？     】     》         ！ ， 中国电子》系统工程第二建设】有限公司 》   【        】       【  ： 上海盛剑环—境系统科技有限公】司 【 ，         ！        】  唐纳森（中【国）贸易有限公【司 ？ ？         ！     》 ， ，     上海点夺！电子科技有限公司 ！  —   本标准主要】起，草人员秦学》。礼  肖红》梅  江元升—  ：莫金汉  阎冬【  羌宁  —陆，崎  ？徐刚：  杜宝强  赵】海生：  湛云忠  李杨！  吴新 》 ，何菁 ？ 李朝英  永【井勇  林》云  韩科勇  】颜登通 《 曹：布霖  云希康 】 邱会东  黄桂】超，。  张作保  巫曼！曼  蒋磊  张伟！明  丁宏伟 【。 钟平 》     】本标准主要审查人】员刘俊杰  任兆成！  丁杰  —阎宇：宏 ： ，刘，强  王素》英  李《坚 ： 明慧玲  —张利群 《 ，