6．2  ！氮氧化？物、高浓度酸及电】镀废：气 — ？6．2．1》  集成电》路和平板显示类工】厂的酸性废气中含】有，NO和？NO2混合的N【O，x除进行酸碱—中和反应外》还需进行氧化、还】原反应去除NOx采！用多级？处理方法 】     在去除！NOx过程》。中易：产生有异味或污染】性的副产物气体需要！采取：措施去除新污染【源 《 ， ， 6．2．2—  酸液《喷淋：清洗型设备》、加：热的酸清洗槽的排】气为高浓度酸废【气普通酸《处理设备《处理效率低》无法满足《处理要求需》进，行特殊处理 —   【  1  在产生高！浓度酸废气的工艺】设备附近设置PO】U采用喷淋碱液的方！法，就地去除高浓—度酸废气《   】  ：2  高《浓度：酸废气排入》末端集？中酸废气处理系【。统洗涤塔要根据【有，害物浓度计算确【定填料和喷淋—级数采用《多级处理方式 】