6.2【 氮氧化物、高】浓,度酸及电镀》。废气
?
—
6.2《.1 集成电【路和平?板显:示类工厂的》酸性:废气:中含有NO和—N,O2混合的NO【x除:进行酸碱中和反【应外还需进行—氧,化,、还原反应去—除NOx采》用多级处理方法
!
【 ,在去除?NO:x过程?中易产?生有异味或污—染性的?副产物气体需要采取!措施:去除新污染源—
》
6.2.》2 酸《液,喷淋清洗型设—。备、加?热的酸清洗槽—的排气?为高浓度酸废气普通!酸处:。理设备处理效率【低无法满足》。处理要求需进行特】。殊处理
》
— 1 在—产,生高浓度酸废—气的工艺设备—附近:设置:POU?采,用喷淋碱《。液的方法就地—去,除高:浓度酸废气
!
2 !高浓度酸废》气排:入末端集中酸废气】处理系统洗》。涤,塔要根据有害物浓】。度,计算确定填料和喷淋!级数采用多》。级处理方式
—
,