6.2 】 氮氧化物》、高浓度酸及—电镀:废气
《
6.】2.:1 集成电路【和平:板显示类工厂的酸】性废气?中含有NO和NO】2混合的NO—x除进行酸碱中和】反应外还需进行氧】化,、还原?反应去除N》Ox采用多级—。处理方法
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: 在去除NO】x过:程,。中易产生有异—味或污染性的副产物!。气体需要《采取措施去》除新:污染源
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6?.2.2 酸液】喷淋清?洗型设备、》加热的酸《清洗槽的排气为【高,浓,度,酸废:气,普通酸处理设备【。处理效率低无—法满足?处理要求需》进行特殊处理
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》1 ?在产生高浓度酸废气!的工艺设备附近设】置POU采用—喷淋碱液的方法【就地去除《高,浓度酸废《气
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2【 高浓度酸废【气排入?末,端,集中酸?废气处理系统洗涤塔!要根据有害》物浓度计算确—定填料和喷淋级数】采用多级处理方【式
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