6．—2  氮氧》化物、高浓度酸【及电镀废气 】 》。6．2？．，1  集成电路和平！板显示类工》厂的酸性废气中含】有NO和NO2混】合的NO《x除进行酸碱中【和反应？外，。还需：。进行氧？化、还原《。反，应去除NOx采用】多级：处理方法 》 》    《。在去除NO》x过程中易产生【有异味或污》染性的？副产物气体需要采取！措施去除新污染【源 《 6．2—．2  酸液—喷淋：清洗型设备、加【。热的酸？清洗槽的排气为高浓！度酸：废气普通《酸处理设备处理【效率低无法满—。足处理要求需进【行特殊处理 】     1 ！ 在产生《高浓度酸废气—的工艺设备附近【设，置POU采用—喷淋碱液《的方法就地去除高浓！度酸废气 》     ！2  高《浓度酸废气排入末】端，集中酸废《气处理系统洗涤【塔要根？据有害物浓》度计算确定》填料和喷淋级数采用！多级处理方式 】