5》 ,。。 碱性废气系统【
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5.1 —一,般规定?。
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5.1.1 碱!性废气包括氢—氧化钾、氢氧—化钠、氨气》、胺等?碱性物质排气如与】。。酸性废气在风管内混!合将会产生结晶【堵塞风?。管同时由于》酸、碱、《挥发性有机物(VO!Cs)废气处理方式!各不相同《没有一种设备能【够同时有效处—理所有?污染物碱《。性废气系统采用专】用,系统能够有》效避免输送管道内】结晶物形成专用【系统针对《性处理碱性》。废气处理效率高能】够降低污染物排【放量
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5.《1.2? 填料《洗,涤式:碱性:废气处理系统—要求连续、稳定【工作对排风》量波动?、污染物组成—。、浓:度的变?化能:迅速调节为确保【污染物达标排—放对系统的基—本组成做《了,规定
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5.1.3 】集成电路工厂、【平板显示《。器工厂等《。大型电子工厂—的工艺生产》是连续性的对排风要!求是连续和稳定的碱!性废气系统需—要定期检《修和维护《。以及保障某》台处理设《备和排?风机发生《故障时?系统仍能够满足【工艺设备排风需【求碱性废气》系统处理设》备和排风《机要设置《备用对于非》连续性?生,产的小型电子工【厂工艺?生产:是非连?续性的或《者碱性?排风系统发生—故障时工艺》生产短期停止运行造!。成损失不大的情【形一:。般,不设置备用处—理设备?。排风机初期》投资小也需要定期】检修因?此要根据工艺—生产:实际需?求,。确定是否《设置备用处理设备
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:。5.1.4 — 电子工业洁净厂房!密闭性强当排—风系统停《止运行时无法依【靠自然通风稀—释污染物将会造【成工艺?。。设备和?排风管道内污染物外!溢至洁净室》内危:害室内人员安—全,碱性废气系统—处理设备和》排风机按一级负荷】供,电的目的《是提高电源可靠性】保障碱性排风—。系统正常运》行保证室《内人员安全和保护环!。境
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5.1.!5 由《于管道?施工原?因碱排风管道内的碱!液容易发《生泄漏腐蚀洁净室】吊顶及FF》U严重的会影—响洁净室《内工艺生产因此建议!排风管道布置—在下夹层内
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