5 【。碱性废气《系统
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5.1 】 一般?。规定
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5.1》.,1 碱性废气包】括氢氧化钾、氢氧】化钠、氨气、胺等碱!性物质排气如—。与酸性废《气在风管内混合【将会:产生结?晶堵塞风管》同时由?于酸、碱、挥发性有!机物(VOC—s)废?气,处理方式各不相同没!。。有,一种设备能够—同时有效处理所有污!染物:碱性废气系统—采用专用《系统能够《有效避免输送管【。道内结晶《物形成专用系统针】对,。性处理碱性废气处】理效率?高能够降低污染物】排放量
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:5.1.2 填料!洗涤式?。碱性废气处理系统】要求连续、稳定工作!对,排风量波动、污【染,物组成?。、浓度的变化能【迅速调节《为确保污染物—达标排放《对系统的基本组成做!了规定
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5.1.3 !集成电路工厂、平】板,显示器工厂》等,大型电子工》厂,的工:艺生产是《连续性?的对排?风要:求是连续和》稳定的碱性》废气系统需》要定期检修和维护】以及保障某台—处理设备和排风机】。发生故障时系统【。仍能:够满足工艺设备【排风需求碱性废气】系统处理设》备和排风《。机要设?置备用对于非连续性!生产的小型》电子工厂工艺生【产是非连《续,性的:或者碱性排风系统】发生故障时》工艺生产短期停【止,运,行造成损《失,不大的情形一般【不设置备《用处理设备排—风机初期投资小【也需要定《期检修因此要—根据工艺生产实际】需求确定《是否设置备用处理设!备
5】.1.4 电【子工业洁《净,厂房密闭性强当【排风系统停止—运,行时:。无法依靠自然—通风稀释《污染物将会造成【工艺设?备和排风管道内污】染物外溢至洁—净室内危害室内人】。员安全?碱性废气系统—。处,理设备和排》风机按一级负荷【供电的目的是—提高电源可靠—性保:障碱性排风系统【。正,常,运行保证室内人员】安全:和保护环境
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5.1.5 !由于管道施工原【因碱排风管道内的碱!。。液容易发《生泄:漏腐蚀洁《净室吊顶《及,FFU严《重的会影响洁净室内!工艺生?产因此建《议排风管道布—置在下夹层内
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