。。 ， 8  特种】。废，气系统？ 】 8．1  一般！规定 【 8《．1．1  本【条规定了特种废气】处理：系统的设置要求 ！     1！  特？种废气的《尾气处？理设备包括》干法吸附式》、，热氧化式、淋洗【式、等离子式等【 》     》3  尾气处理设备！的入口、设备腔体】内、管路以及等离子！头等需？要定：期清理短则2个月】。～3个月长》则3个月～》6，个月为了确保稳定生！产，特种：尾气设备《一般考虑备用 【 ， 8》．1．2 》。 本条规定了—管道连接的要求【   】  1 《。 不同？工艺设？备及同一工》艺设备的不同腔体】使，用相容气体时一般】采用：图4、？图7：接法；工艺》设备：不同腔体《使用不相容气体时要！采用图5接法—不要采用图》4、图7接法—  【  ： 2  工艺—设备的排出口与【尾气处理设备的进入！口，要一：一对应图4、图5接！法；图6合并使【用的接法《在接头处易》造成：堵塞故一般不—采用 】 【 ， 《8．1．3  为】了减少系统的阻力以！及避免冷凝液和颗粒！物的积？聚，要减少管《路中的弯头和—变径当处理气体有】含有自燃气》体（如硅烷）、可燃！气体时为了避—免，其余渗？入的：氧气混合引起燃烧或！。爆炸要减《少管路上的接头 ！ 《8，．1．5  —在，尾气：处，理设备的出口—设，置取样口以便—于检测？。 8【．1．？7  从安全角【度，。。考虑制定了本—条规定 》 ？ 8．1．8—  采用淋洗式尾】气处理设备时由于其！排出的气体中含有】水蒸气？故制：定了本条规》定 ？