？ 8  《特种废气系统 ！。 》 8．1  【一般规？定 】 8．1．1 【 本条规定了特种废！。气处理？系，统，的设置要求》。 《     1【  特？种废气的尾》气处理？设备：包括干法吸附式、热！氧化式？。、淋洗式、等离【子，式等 《     】3  尾《气，处理设备《。的入口、设备腔体内！、管路以及等离子】头等需要定期清理短！则2个月《～，3个月长则3个月】～6：个月为了《确保稳定生产特种尾！气，设备一般考虑备用】 《 8？．1．2  本条规！定了管？道连：接的要求 》 》    1》  不同工》艺设备及同一工艺设！备的不同腔体使【。用相容气《体时一般采》。用图4、图7接法】；工艺设备不—同腔体使用不相容】。气体时？要采用图5接法【不要采用图4—、图7？接法： ？   》  2  工—艺设备？的排出口与尾气处理！设，。备的进？入，。口要一一对应图4、！图5接法；图6【合并使用的接法在】接头处易造成堵【塞故：一般：不采用 】 — 8】。．，1．3  为了减】少系统的阻》力以及避免冷凝液】。。和颗粒物的》积聚要减少》管路中的弯头和变径！当处理气体有含有】。自燃气体（如硅烷】）、可燃气体时为了！避免其余渗入的【。氧气混合引起燃【烧或爆炸要减少管路！上的：接头 》 8《．1．5  在尾】气处理设《备的出口设置取样口！以便于？检测 — 8？．1．7  从安全！角度考虑制定了本】条规定 — 8．1．【8  采《用，淋洗式尾气处理设】备时：。由于其排《。出的气体中含有【水蒸：气故制定了本条规定！ ：