， 8  —特种废气系统— ， 【 8．1》  ：一般规定 》 ？ 8．1．1！  ：本条规定了特种废】气处理系统的设置要！求  】   1 》 特种废《气的：。尾，。气处理设备包括干】法吸附式《、热氧化式、淋【洗式、等离子—式等  ！   3 》 尾：气处理设备》的入口、设备腔体】。内、管路以》及等离子头等—需要定？期清理短则2个月～！3，。个月长则3个—月～6个月为了确】。保稳：定生产特种尾—气设备一般考虑【。备用 】8．：1．2  本条规】定了管道连接的【要求 【 ，    1》  不同工》艺，设备及同一》工艺设备《的不同？腔体使用相容—气体时一般采用图】4、图7接法；工艺！设，备不：同腔：体使用不相容气【体时要采用图—5接：法不要？采用图4、图—7接法 》。    【 2  工》艺设备的排出口与】尾气处？理设备的进入口要一！一对应图4、图5】接法；？。图6合？并使用的接法在接头！处易造成《堵，塞故一般不采用【 》 ？ ： 《 《8，．1．3  为了】减少系统的》阻力以及避》免，冷凝液和颗粒—物的积聚要减少【管路中的弯头和变】。径当处理气体有含有！。自燃气体（如硅【烷）、可《燃气体时为了—避免其？余渗入的氧气混【。合引起燃烧或—爆炸要减少管路【上的：接头： —8，．1：．5 ？ 在尾气处理设备的！出口设置取》。样口以便《于检测 【 8？．1．？7  从安全角度】考虑制定了本条规定！ 《 8．1．8【  采用《淋，洗式尾？气，处理设备时由—。于其排出的气体中】含有水？蒸气故制定了本条规！定 ？