8  【特种废？气系统？ 【。 8．1  一！般规：定 》 8．1．1！  本条规定—了特种废气》处理系统的设置要求！ ：     1！  特种《废气的尾气处理设备！包，括干法吸附》。式、热？氧化式？、淋洗？。式，、等离子《式等 《     3！  ：尾气处理设备—的入口、设备腔体】内、管路以及等离子！头等需要《定期清理短则2个】月～3个月长—则3个月～6个【月，为了确保稳定—生，产特种尾《气设备一般》考虑备用 ！ 8．？1．2  》本条规定了管道连接！。的要求 —  《   1  不同工！艺设备及同》一工艺设备的不同腔！。体使用相容》。气体时一《般采用图4、图【7接法？；工：艺，设备不？同腔体使用不—。相容气体时要采用图！5接法不要采用图4！。、图7接法 【。 ，    — 2：  工？艺设：备的排出口与尾气处！。理设备的进》入口要一《。一对应图4、图5】接，。法；图6合并使【用的接法在接头处易！。造成堵塞故一般【不采用 【 】 ？ 8《．1．3《  为了减少系统的！阻力以？及避免冷凝液和颗】粒物的积《聚要减少管路中的】弯头和变径当处【理气体有含》有自燃气体（如硅烷！）、可？燃气体时为》了避：免其余渗入的氧气混！合引起燃烧》或爆炸要减少管路】上的接头 — ， 8．1—。．5  《在尾气处理》设备的出口设置取样！口以便于检测— 》 ，8，．1．7 》 从安全角度考【。虑，制定：了，本条规？定 — 8．1．8 【 采用淋洗式—尾气处理设备时由于！其排出的气》体中含有水蒸气故】制，定了：。本条规定《 ：