8  特种！废气系统 ！ 8．【1 ： 一般规定 ！ ？ 8．1《．1  本》条规：定了特种废气处【理系统的设》置要求 【     1 】 特种废气的尾【。气处理设备包括干法！吸附式、热氧化【式、淋？洗式、等《离子：式等 —     —3  尾气处—理设备的入口、设备！腔体内、管路以及等！离子头等《需要定期清理—短则2？。个月～3个》月长则3个》月～6个《月为了确保稳定生】产特种？尾气设？备一般考虑备用 】 8．1】。．，2  本《条规：定了管道连接—。。的要求 】     1  】不，同工艺设备》及同一工《艺设备的不同—腔体使？用相容气《体时一般采用—图4、图7接法【；，工艺：设备不？同腔体使用不相容】气体：时要采用图》5接法不要采用【图，4、图7《接法 — ：。    2  工】艺设备的《排出口与《尾气：。处理设备的进入【口要：。。。一一对应图4—、图5接法；—图，6，合并：。使用的接法在接头】处易造？成，。堵塞故一般不采用】 ， ：。 《。 【 8．—1．3  为了【减，少，系统的？阻力以及避免冷凝】液和颗粒物的积【聚要减少管路中的弯！头和变径当处—理，气体：有含有自燃》气体（如硅烷—），、可燃气体》时为了避免其余【。渗入的氧气》混合引起燃烧—或爆炸要减少管【。路上：的接头 — ？。8．1．《5，  ：在尾气处理设—备的：出口设？置取样口以便于【。检测 8！．1．7  —从安全？角度考虑制定了本】条规定 ！8．1？．8  采用淋洗】式尾气处《理设：备时由于其排—出的气体中含有水蒸！气故制定了本—条规定 》