8  特】种废气？系统 【 8．1 ！ ，一般规定 》 ，。 8．】1．1  》本条规定了特—种废气？处理系统的设置要】求 —     1  特！种废气的尾气处【理设备？包括干法吸附—式、热氧化式、【淋洗式、《等离子式等 】 ？    3  尾】气，处，理设备的入口、【设，备腔体内、管路以及！等离子头等需要定】期清理短则》2个月～《3个：月长则3个月～6】个月为了确保—稳定生产特种尾气设！备一般考虑备用【 ： 8》．1．？2 ： 本条规定》了管道连接的要求 ！ ：     【1 ： ，不同工艺设备及同】一工艺设备的不同腔！体使用相容气体【时一般采用图4【、图7接《法；工艺《设备不？同腔体使用》不相容气体时要【采用图5《接法不要《采用图4、》图7接法 【 ？   ？ 2： ， 工艺？设，备的排？出口与尾《气，处理设备的进—入口：要一一对《应图4、图5接法】；图6？合并使用的》接法在接头处易造成！堵塞故一般不采用】 ，。 ！。 8！．1：．，。3，  为了减少系统的！阻力以及避免冷凝液！和颗粒？物的积聚要减少管路！中的弯头《和变：径当处理气体有【含有自燃气体（【如硅烷）、可燃气体！时为了避免其余渗】入的氧？气混合引起燃烧【或爆炸要减少管路上！的接头 — 8．1．5】  在尾气处—理设备的出口设【置取：样口以便于》检测 ？ 8—。．1．7  从安】全角度考虑》制定了本条规定 ！ ？ 8．？1．8  》采用淋洗式尾气【处理设备《时，。由，于，其，排出的气《体，中含：有水：蒸气故制定了本条规！定 ？