8 — 特种废《气系统？ — ？ 8：．，1  一般规定 】 ： 8．1】．1： ， 本条规定了特种】废气处理《系统：的设置要求 ！  ？   1  特种废！气的尾气处》理设备包括干法吸附！式、热氧化》式，。、，。淋洗式、等离子式】等 【。 ，  ： 3  尾气处【理设：备的入？。口、设？备腔体？。内、管路以》及等离子头》等需要定期》清理短则2个—月～3个月长—。。则3个月～6个月为！了确保？稳定生产特》种尾气设备一般【考虑备？用 《 8．1．2 ！ 本条规定了管道连！。接的要？求 ？  》   1《  ：不同工艺设》备及同一工》艺设备的《。不同腔体使用—。。。相容气体时一般采】用图4、图7接法】；，工艺设备不同腔体使！用不相容气体时要采！用图5接法不要采】用图4？、图7接法 ！  ？   2  工艺设！。备的排出口与尾气处！理，设备的进入口—要一：。一对应图4、—图5接法；图6【合并使？用的接法在接头【处，。易造成堵塞故—一般不采用 【 】 】。。8，．1．3 》 为了减少系统的阻！。。力以及避免冷凝液和！颗粒物的积》聚要减少管路—中的弯头和变—径当处？理气体有含》有，自燃气体（如—硅，烷）、可燃气体时为！了避免？其余渗入的》氧气混合引》。起燃烧或爆炸要减少！管路：上的接头《 ？ 8．1．5 ！ 在尾气处理设【备的出？口设置取样口以便】于检测 】 ，8．1．《7，。  从安全角度考】虑制：定了本条规定 】 8．1【．8  采用淋洗式！尾气处理设备时由于！其排出的气体中含】有水：蒸，气故制定了》本条规？定 ？