《。8．3  全—氟化合物（PFC】）尾气处理》系统 】 8．3．2【  ：由于中央废气处理】设备对？全氟化合物的—。效率几乎《为“0”《所以规定了特种尾】气设备的效》率 8．！3．3？  热裂《解包括等离子式和】热氧化式《 8．】3．4  由于【全氟化物经》POU处理气体分】解后会产生强腐蚀】性的高浓《度的氟？酸气体？故规定其《。处，理设备的塔体及【管，。道采用耐腐蚀的【材，料， ：