8．3【  全氟化合—物（PFC）尾【气处理系统 】 》8．3．2  由于！中央：废气处理设》备，对全氟化合物的【效率几乎为“—0”所以规定了特】。种尾气设备的效率 ！ 《 8．3．3—  热？。裂解包括等离—子式和热氧化—。式 — 8．3．》4  ？由于全氟化物—。经POU处理—气，体分解后会》产生强腐蚀性的【高，浓度的？氟酸气体故规—。定其：处理设备的塔体【及管道采用耐—腐蚀的？。材料 ？。。 ，