8》．3  全氟化合】物（：PFC）尾气—处理：系统 】 ：8．：3．2 《。 由于中央废气处】理设备对全氟化【合，物的效率几乎为【“0”所以规定了特！种尾：气，。设，备的效率《 8【．3．3 》 热裂解《包括等离子式和热氧！化，式 ？ ， 8．3．4 ！ 由于全氟化物经】POU处理气体【分，解后会产《生强：腐蚀：性的高浓度的氟酸】气体：故规定其《处理设备的塔体及管！道采用耐腐蚀的材料！ ：