8．—3，  ：全，氟化：合物（？PFC）尾气处【理系：统 》 8．3【．，2  由《于中央废气》处理设备对全氟化】。合物的效率几乎为“！。0”所以规定了特】种尾：气设备的效率 【 ： 8．3．3】  热裂《解包括等离》子式和热氧化式【 ： ， 8．》3．4  由—于全氟化物》。。经P：OU处理气》体分解后会》产生强腐蚀性的【高浓度的氟》酸气体故规定—其处理？。设备的塔体及管道】采用耐腐蚀的材【料 ？