8》．3 ？ 全氟化合物（P】FC：。）尾气处理系—统 ？ ， 8．【3．2  由于【中央废气处》。理设备对《全氟化合物的效【率几乎为“0—”所以规定了特种】。尾气：设备的效率 【 8．3．3！  热裂解包括【等离子式和热氧化式！ ： ， 8．3．【4 ：。 ，由于全氟化物经P】OU处理气体分解后！会产：生强：。腐蚀：性的高浓度的—氟酸气体《故规：定其处理设备的塔体！及管道采用》耐腐蚀的材料— ：