8．—。。。3，  全？氟化合物（P—FC）尾《气处：理系统？ 》 8．3—．2  由于中央废！气处理设《备对全氟化合—物的效率几乎—。为“0”所以规定了！特种：。尾气设备的效率 ！ 8．3【．3 ？ 热裂解包括等离子！式和热氧化式 】 ： ， 8．3．4  由！于全氟化物经—POU处理气—体分解后会产生强腐！蚀性的高浓度的【氟酸气？体故：规定其处理设—备的塔体《及管道采用耐腐蚀】的材料 》