4．3  ！应，急设施 】 ？4．3．1  【工艺：设备的安全》保，护系统通《过配备紧急状态侦测！切断装置控》。制有毒有《害气体的《扩散 ？ ，。 ：。 ，     固定式安！全保护？系统：指该系统就》地，设置：在工艺设备上—不可移动供其他设】备使用 ！    工艺设备包！括，工艺设备《主体和？。附属部件如气体储气！柜、分配《箱、：封，。闭箱体、《密闭：反应腔室等 】 4．3．2】  ：有毒有害《。物质的化学品和【特，气分配？供应：系统应该《有泄漏和排风压力下！。限报警连锁和—切断特种气》体、化学品供—应的功能当排风风】压降低？至预：先的设定值》时发出警报信—号并且将工艺设【备置：于安全待《机状态同时切断特】。种气体、化学品【的供应 《 》4．3．3  化】学品和特殊气体在意！外泄漏情况下首先要！避，免化学品和》特殊气体向环境扩】散，以保证附近》操作人员的人身安全！。；，其次要切断》设备运行《以保证设备》自身的安全性—；最后考虑》加工：产品的？产品质量 — 《   ？ 工艺设备一—般配置如下接口以便！接受报警信号 ！   》  （1）预留【接口联通至》本地气体泄漏—侦测报？警装置接《受外部异《常报警？信号；？ —    《（2：）预留接《口联通至本地废气】处理装置《接受该装置的异【常报警信《号，；  】  ：。。 （：3，）预留接口》联通至本机废气排出！装置（如干泵—）接受该装置—。的异常报警信号； ！ ： ：     （4）预！。留接口联通》至本机附属的其【他需排？风的装置《（，如工艺气体》柜、密闭主机—台外罩等）接受【该部：分的异常报警信【。号； ？。 ？     （5）！在操作位置附近安】装紧急制动开关确保！工，艺设备的紧急切【断； —     （6】）在侦测到》以上外部报》警信号？时，需启动本《机安全互锁切断本】机工艺气体输送【发出：代表本？机异常？声，光报警？信号并向《生产：控制计算机系—统发送指《。定的警报代码 】