4.2 !。污染物控制
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4.2.】1 ?。。。生产工艺采》用先进的技术和装】备可:以减少有毒有—害物质的《产生量例如》在半导体《工艺:中通过改进生产工艺!降低光?刻次数降《低化学品的消—耗从而降《低挥发性有毒有【害废气的排放—量,;在平板显》示器件制程的涂【胶工序中可》以采用非《甩胶的工艺设备【代替甩?胶工艺?设,备降低?光刻胶?的使用?量,从而降低《挥,发性有机《物的排放量
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4.《2,.2 《根据走访调研—一些高污染的—。。典型电子工》业下艺设《备,。。废气排?放,压力设定见表—3~:表6
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