4》．2：  污染物控制【 4！．2．1  生【。产工艺？采用先进的》技，术和装备可以减少】。有毒有害物质的产】生量：例，如在半导《体工艺？中通过改进》生产工艺降低—光刻：次数：降低化学品的消耗从！而降低挥《发性有毒有害—废气的排放量；【在平板显示》器件制程的》涂胶工序中可以【采用非甩《胶的工艺设备代替】甩胶工艺设备降【低光：刻胶的使用量—从而降低挥发性有】机物：的，排放量 】 4．？2．2  根—据，走访调研一》些高污染《的典型电子工业下】艺设备？废气排？放压力？设，定见表？3～表？6 ！ ： — ， ： 《 ？