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4.2 污染!物控制
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,4.:2.1 《 生产工艺采用【。先进的?技术和装备可以减】少,有毒有害物》质的产生量例如在半!导体工艺中通过改进!生产工艺降低光刻次!数降低化学》品的消耗从》而降低挥发》性有毒有害废气的排!放,。量,;在:平板显示器件制程的!。涂胶工序中可—以采用非《甩胶的工艺设备【代,替甩胶工艺设—备降低光刻》胶的使用量从而降低!挥发性有机》物的排放量
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4.2.【2 根据走访【调研一些高污染的】典型电子工业下艺设!备废气排放压力【设定见表3~表6
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