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4.2【 污染物控制 】 《 4.2.1】 :生产工艺采》用,先进的技术和—装备:可以减少有毒有害物!质的产?生量例如《在半导体工》艺中通过改进生【产工艺降低光刻【次数降低化学品的消!耗,从而降低挥发—性有毒有害废气的】排放量;在平板显】示器件制程的涂胶工!序,中可以采用非—甩胶的工艺设备代】替甩胶工《艺设备?降低:光,刻胶的使用》量从而?。降低挥发性有机物】的排放量 】 4.2.2 !根据走访《调研一些高污染【的典型电子工业下】艺设备废气排放【。。压力设定见表3【~表6? ! 【 — : :