8  特】。种废气？系统 【 8．1 ！ 一般规定 【 ：。。 《8．1．1》  本条规定了【特种废气处理—。系统的设置要求【 》 ，    1 — 特种废气的—尾气处理设备包括干！法吸附？式、热？氧，。化式：、淋洗式、等离子】式等 【     3— ， 尾气？处理设备《的，入口、设《备腔体内、管路以】及等离子头等需要定！期清：理短则？2个月～3个月【长则：。3个月～6个月为了！确保稳定生》产特种尾气设—备一般考虑备用 】 》8．1．2  本条！规定了管道连接的要！求 【    1  不】同工：艺设备及同》一工艺设备的不同】腔体使？用相容？气体时一《般采用图4》、图7接法；工艺设！备不同？腔体使用《不，相容气体时要采用图！5接法不要》采用图4、图7接法！ —。    《2 ： 工艺设备的排出】。口与尾气处》理设：备的进？入口要一《一对应图4》、图5接法；图6合！并使用的接法在接】头处易造成堵塞【故一般？不采用 《 ： ！。 8．】1．3  为了减少！系统的阻力以及【避免冷凝液》和颗粒物的积聚要】。减少管路《中的弯头《和变径？。当处：理，。气体有？含有自燃气体—（如硅烷）、可燃气！体时为了避免其【余，渗入的氧气混—合，引起燃烧或爆—炸要：减少管路上的接头 ！ ： 8《．1．5  在【尾气处理《设备的出口》设置取样口以便【于检测 — 8．1．7】 ， ，从安全角度考虑制定！了本条规定 【 8．1．8！  采用淋洗式尾】气处理设《备时由于其排—出的：气体中？含有水蒸气故—制定：了，。本条规？定 ？