， 8 》。 特种废气系统 】 — 8《．1  一般规定】 《 8．1．】1，  本条规定了特种！废气处理系统的设】置要求 — ： ，    1》  特种废气的尾气！处理设备包括干【法吸附式、热—氧化：。。式、淋洗式、—等离子？式等： —    3  【。。尾气处理设备的【入口、？设备：腔体：内、管路以及等离子！头等需要定期清【理短：。则2个月～》3个月长则3个月】～6个月为了确【保稳定？。生产特种尾气设【备一般考虑备—用 — 8：．1．？2 ： 本条？规定了管道连接的】要求 》    — 1 ？。 不同？。工艺设备及同一工】艺设备的不同—腔体使用相容—气体时一般采用图4！、图7接法；—工艺设备不同腔体】使用不相《。容气体时要采用【图5接法不要—采用图4、》图7接法 —  》   2  工艺设！备的排出口》与尾气？处理设备的进入口】要一一对应图4、图！5接法；图6合并使！用的接法在接头处易！造成：。堵塞故一般不采【用 ！ ？ 》 8．1．—3， ， 为了减少系统【的阻力以及避免冷凝！液和：颗粒物的积聚—要减少管路中—的弯头？和变径？当处理气体有含有自！燃气体（如硅烷）】。、可燃气《体时为了避免—其余渗入的氧—气混合引起燃烧或】爆炸要减少管路上的！接头 — 8．1．—5  在尾气—处理设备《的出口？设置：取样口以便于检【测 《 ， 8？．1．7  从【安全角度考虑制定】了本条规定 ！ 8．1．—8  采用淋—洗，式尾：气处：理设备时由于其排出！。的气体中含有水【蒸气故？。制定了本条规定 ！