8  【特种废气系统— 》 》8．1  一般【规定： 》 8．1．1 ！ ，本条规定《了特：种废气处理系—统的设置《。要求 【。     》1  特种废—气的尾气处理设备】包括干法吸附式、】热氧化式、淋洗【。式，。、等离？子式等 ！ ，   3  尾气处！理设备的入口—、设：备腔体内、》。管路以及等》离子头？等，需要定期清》理短则2个月～3个！月长则？。3个月～6》。个月为了《确保稳定生产特种尾！气，设备一般考虑—备用 ？ 8．1】．2  本条规【定，了，管道连？接的要求 】     —1  不同工艺【设备及同一》工艺设备的不同【腔体使用相》容气体时《一，般采用图4、图【。7接法；工》艺设：备不同腔体使用不】相容气体时要采用图！5接：法，。不要采用图4、图】7接：。法 ： 》  ：  2  工艺【设备：的，。排出口与《。尾，气处理？设备的进入口要一】一对应图《4、图5接法；图6！合并使用的接—法在接头《处易造成堵塞故【一般不采用 】 《。 《 ： ？ 8．《1．3 《 ，。为，了减少系《统的：阻力以及避免冷凝】液和颗粒物的积聚要！减少管路中的弯头】。。和变：径当处？理气体有含有自燃气！体（：如硅烷）、》可燃气体《。时，为了避免其》余渗入的氧气—混合引起燃烧或【爆炸要减少管路【上的接头 ！ 8：．1．5  在尾】气处理？设备：的出口设《置，取样口以便》于检测 ！8．：1．7  从安【全角：度，。考虑制定了本条规】定 8．！1．8  采用【淋洗式？尾气处理《设备时由于其排出的！气体中含《有水蒸气故制定了】本条规？。定 ？