8》 ， 特种废气》系统 】 ， 8《。．1  一般规【定 —。 8．1．1 ！ ，本条规定了特种废】气处理系统》的设置要求 【 ？     1  】特，种废气的尾气处【理设备包《括干法吸附式、热氧！化式、淋洗》式、等离子式—等， 》 ，   ？ 3：  尾气处》理设备的入口—、设备腔《。体内、？管路：以及等离子头等【需要定？期，清理短则2个月～】3个月长则》3个月～6个月为了！确保稳定生》产特种尾《。气设备一《般，考，虑备用 — 8．1—．2  本条规【定了管道《连接：的要求 —   》  1  不同工艺！设备：。及同一工《艺设备的《不同：腔体使用相容气体时！一，般采用图4、图【7接：。法；工艺设》备不同腔体使用不相！容气体时要采用图】5接法不要采—用图4、图7接【法 ？ ：     2  ！工艺设备的》排出口与尾气处理】设备的进入口要一一！对应图4、》图5接法《；图：6合并使用的接法在！接头处？易造成堵《塞故一般不采—用 》 ， ？ 【 8《．1．？3  为了减少系统！的阻力以及避免【冷凝液和颗粒物的积！聚要减少管路中【的弯头和变径—当处理气体》有含有自燃气体（】如硅烷）、可燃【气体：。时为了避免其余渗入！的氧：气混合？。引起燃烧或爆炸要减！少管路上《的，接头： ， 8．【。1．5  在尾【气处理设备》的出：口设置取样》口以便于检测 ！ 8．》1．7 《 从：安，全角度考虑制—定了本条规定 【 《 8．1《．8  采用—淋洗式尾气处理设备！时由于其《排出的气体》中含有？水蒸气故制定了本条！。规，定 ？