？ 8  特种废气】系统 】 8．1【  一般规定 ！ 8—．1：．1  本条—规定了特《种废：。气，处理系统的设—置要：求 【   ？ 1  特种废【气的尾气处理—设备包括干法吸附】式、热氧化》式、淋洗式、等离】子，式等 ？ 《   ？  3  尾气处】理，设备的入口、—设备腔？体内、管《路以及等《离子头等需要定【期清理短则2个【月，～3个月长则3个】月～6？个月为了确保—稳定生？产特：种尾气设《备一：般考虑备用 【 8．1．】。2 ： 本条规定了管【道连接的《要求 》     1 ！ 不同工艺设备及同！。一工艺设备》的不同腔体使用相容！气，体时一？般，采用图4《、图7接《法；工？。艺设备不同》腔体使用不》相容气？。体时要采用图5【接法不？要采用图《4、图7接》法 ？ 《    2 — 工艺？设备的排《出口与尾《气处：。理设备？的进：入，口要一一对应—图4、图《5接法；图》6合并使用的接【法在接？头处易？造成堵塞故一般不采！用 【 — 8【．1．3  —为了减少系统的阻】力以：。及避：免冷凝液和颗粒物】的积聚要减少管【路中的弯《头和变径当处理气】体有含？有自燃气体（如硅烷！）、：可燃气体时为了避】免，其余渗入的》氧气混？合引起燃烧或爆【炸，要减少管路》上的接头 】 8？．1．5  在尾】气处：理设：备的出口设置—取样口以便》于检测 ！8．1．7  【从安全角度考虑制定！了本条规定 — 8．【1．8  》采用淋洗式尾气【处理设备时由于【其排出的气体—中含有水蒸》气故制？定了：本条：规定 《