8  【特种废气系统 】。 ？ ， 8．1  ！一般规定 】 《8，．1．1  本【条规定了《特种废气处理系统】。的设置要求 — 》    《1  特种废气的】尾气处？理设备包《括干法吸附》式、热？氧化式？、淋洗式、》等离子式等 】     3 ！ 尾气处理设备的】入口、设备腔体内】、管路？以及等离《子头：等需：要定期？清理短则2个月～3！。个月长则3个—月～6？个月为了确保稳定生！。。产特种尾气设备【一般考虑备》用 》 8．1》．2  本条规定了！管道连接《的要求 【  ？   1  —不，同工艺设备》及同一工艺设备的不！同，腔体使用相容气【体时一般采用图4、！。图7接？法；工？艺设：备不同？腔体使？用，不相容气《。体时要采用图5接法！不要采用图》4，、图7接法 ！。。 ，     》2  工艺设备【的排出？口与尾气处理—。设备的进入口要【一一对应图4、【图5接法；》图6合并《使，用的接法在》接头：处易：造成堵塞故一般不采！用 ： ， 》。。 ？。 【 8．1．3—  为了减少系【统的阻力以及—。避免冷凝液》和颗粒物的积—聚要减少《管路：中的弯头和变径当】处理气？体有含有自燃—气体（如硅烷）、可！燃气体时为了避免其！余，渗入的氧气混合【。引起燃烧或爆炸要】减少：管路上的接》头 【8．1．5  在】尾，气处理设备的出【口设置取样口以便于！检，测， —8．1？．7  从》安全角度考虑制定了！本条规定 ！ 8．1．8— ， 采用淋洗式尾气】处，理设备时由于—。其排出的气体中含有！水，蒸，气，故，制定了？本，条规定 》