7》．3 ？ ，。。处理系统 ！ 7．》3．1  一般半】导体及光《电产业的挥发性有机！物废气排放浓度为】100m《g/m3～1000！mg/m《3，（甲：。烷计）属低度至【中度浓度范》围但：排风量通常很大浓度！在50？mg：/，m，3（甲烷计）以下挥！。发，性有机物废》气已基本能满足目前！大气排放标》准的：要求从技术经济的】角度除非是嗅—。阈值：极低的物质否则一】般，。不采用？。热，氧化的？方式因此建议—。采用活性炭》吸附：进行一定程度的减排！浓，度不高于1》000？mg/m《3因浓度《较，低采用直接氧化【或蓄：。热氧化需大量添加辅！助燃料运行成本高】。因此一般采用转轮浓！缩5倍～《15倍？一方面提高》气体浓？度另一方面减—少需氧化处》理的：风量热氧《化工艺包括热氧化】及热回收《系统、蓄热氧化系】统浓度大于10【0，0，mg/m3的气体】采用蓄热氧化的方式！进行直接处理—。一方面因为》蓄热氧化的热回【。。收效率已达95％另！一方面可简》化，流程较大程度的【节约系统的投资【费用热氧化工艺包括！蓄热氧化系统、催】化，氧化系统、蓄热催】化氧：化系统旋转蓄热氧化！是蓄热氧《化装置中热回—收效率和焚烧效率】均较好的装置蓄热】催化：氧化工？。艺则通过催化剂在较！低的温度下》进行：热，氧化作用《同时也具有很高【的蓄热？。换热效率氮氧化物的！生成量？相对较少《但需要使用催化剂 ！ ： ： 7．3．2  】对于低？浓度挥发《性有机物废气的一次！性活：性炭吸附抛弃工艺从！经济性角度出发一】般采用？投资最少的固—定床工艺且通过【接触时间规定—确保一定的吸—附床层厚度通过【规定炭的吸附—率质量分数》可确保炭具有一定的！。吸附能？力颗粒直径较大【的活性炭往》往传质阻力大且传】质区长度相》对较大不利于活性】炭的充分利用因此】建，议采用3《mm以下《的粒径从工艺控【。制的角度当》活性炭被颗粒物【堵塞或含水量过大】。时往往床层压力【会变大因此可—以通：过安装压《差报警装置作为监控！。活性炭？床吸：附性能的手段—之一 】    《由于吸附《为放热过程同时活】性炭含有的一些金属！及金属氧化物—杂质具有《一定的催化作用活性！炭床：。在吸：附高浓度气体、【吸附饱和《或外：界高温的情》况下可能会》出现自燃危险因【此活性炭吸附塔【附近需配备》消，防系：统，。或放置灭火器 【  —。。   ？为避免频繁》更，换活性？炭吸附？剂其：填充：量更换周期一—般不低？于3个？月 ？ 《7．3．4  【“转：轮，浓缩：+热氧化”工—艺流程如图1—所示：“转轮？浓缩＋？热氧化”系统—由转轮吸附浓缩系】统，、热：氧化系统和自动控】制，系统等？组成工艺排气在【进入浓缩《转轮前会分流一【定，比例的废气通入转轮！冷却区作冷却—之，用其余？。的废气进入吸附【处理区经吸附处理】达标后可《直，接经排气筒》排，至大：气 ？ ：     采用】工艺排气作为转轮】。冷却用气主要是可】以减少？。吸附处？理气体的流量 【  —   冷却转—轮并使转轮恢复【。。吸附功能《的，废气将进入换热器】通过与热氧化炉膛内！抽出来一定流量烟气！换热升温至》1，80℃～2》。。20℃后返回进【入转：轮的脱附区将吸附】浓缩在转轮上的【VOCs脱附出来】形，成高倍浓缩的废气】气流；浓缩》后的废气再》通过换热器加热【。。后进入？直燃：式热氧化器被高温热！。裂解为二氧化—碳与水的达标废气】与前：述经吸附处理区的达！标废气合并》后由排气筒排—。放至大气 【 《 ？ ：    由于—转轮：本身的特性其—再生：温度需180℃【以上才能较好的【完成脱附工作但【脱附：温度到30》0℃以上时》可能：会造成部分》挥发性有机》物裂解焦化污染堵】塞，吸，附剂：。表面引起《系统性能下降 】   —  目前挥发性有机！物排放限值比较严】格的行业或地区要求！在50？mg/？。m3以下浓》缩，后气：体，在热氧？化系统处《理入口可达500】0，mg：/m3以上因此要求！净化效率不》小于：99：％在保证热》氧化条件合理的情况！下99％《的热氧化效》率是完？全可以？做到的 — ，   《  由于氮》氧化物也是目前我】国纳入总量控制【的污染物因此要求在！控制挥发性》有机物污染的—热氧化过程中要【防止出？现氮氧化物的二【次污染 】   ？  热回收效—率是：指，实际预？热废气所《利用热量与最大需求！。热量的百分比—值计算公式如—下 】 ，   —  式中η热回【收，效率：； —     》   ？ mo氧化》装置排出气体的质量！流量（kg/h【）；  ！ ，      —mi待处《理废气？的质量？流量（kg/h）；！ ： 《        T！c，氧化装置燃烧—室温度（℃）； ！   —   ？   To氧化排】气，。在热回收《系统出？口处的气体温度（℃！）； 》    —   ？ ，。 Ti挥发性有机】物废：气在热回收系统进口！处，的气体温度（℃） ！ ： 7．3．5 ！ “转轮浓缩—＋蓄热氧化”工【艺，流程如图2》所示“转轮浓缩＋】。蓄热氧化”》系，统由转轮《吸，附浓缩系统、蓄热热！氧化系统和自动控制！系统等组成 ！ 【     》两塔式蓄热氧化设备！在气流方向切换时】存在泄？漏的可？。能性因此对切—换阀门的速度和【密封性均《要求较高《从确：保热：氧化效？率的角度推》荐采用三塔式—或旋：转式：的工艺布置方式 ！     从！技术经济的角度【规定：了蓄热氧化系统的】蓄，热效率？要不：小于90％ ！     蓄热材！料因：湍流换热的》需要往？往阻力较大造成【运行电？耗，较高：综合：换热：和，气流阻力的因素要】求蓄热材料压—力，损失：要不大于3500】Pa ？  —  ： 废气进出》热氧化炉由旋转【。阀切换进《行，旋转阀的漏气率不】应大于1％ ！。 ：    与》其他类型的蓄—热氧化设备一样【旋装式蓄《热，氧化设？备，要设置过《热状：。态时热气体旁路【排放控制系统以有效！控，制，炉膛：过温问？。题当炉膛《温度：超过温度设定点【时开启热《气旁路？控制风门让》炉体热量不》经，过蓄热床直接—通过：排气筒排放至大气从！而有效降低和控【制炉膛？温度该设备》能有效扩大氧化【设备的？进气浓度的允许操作！范围同时在系统【发生故障时》亦能有效降》低炉温 — 7．3—．6 ？。 催化氧化一般在】相对较低的温—度条件？下完成热氧化过程】催化：剂起着重《要的作用规定—所选取催化剂的【。。空间速？度一般不小于—15：000h－1是【要，求，选用：一些高？性能的催《。化剂：避免含硫、铅—、砷等易造成催化】剂失活的物》。质进入系统造—成催：化性能？的下降为防止—发生不完全氧化在】工艺中？配备催化床预热【系统在确保催化剂加！热到正常工作温【度区间后再通—入待处理的挥发【性有：机物废气 【 7．3．7】  ：蓄热催化氧化—系，统（RCO系统【）是：将，。。蓄，热式热交换》器与催化《氧化：炉的优？势结：合起：来的一种工艺与【R，TO设备相同先【通过陶瓷蓄热材料】将待处理气体预【热然后将VO—Cs：在3：。0，0℃左右的催—化反应中转化—成无害或少害的【物质两塔式》。蓄热催化《氧化设备在气流方向！切换时存《在泄漏的可》能性：因此对？。切换阀门的速度和密！封性均要求较—高从确？保热氧化效率的角度！推荐采用三塔—。式或旋转式的工艺】布置：方式 》。 7．》3．8  体—积浓度＞1％沸点＞！150℃的》剥离液挥发性有机物！废气一般《采用冷凝净化工艺进！行预：。处理常见《的，去光阻剥离液—、去光阻工》艺所涉及的》挥发性？有机物性《。能，情况分别《见表7和表8 】 】。  ！   冷凝净化【过，程，的出口浓《度主要取决于出口】。气，体的冷？凝温度因此建议采】用5℃～8》℃的冷却水通—。。过合理换热》面积的冷凝》器确保冷《凝系统的最》终排气温度》不大：于1：2℃控制排气中的气！态VOCs浓度冷凝！器后设？。置的除雾器主要是】用来将气体》中，的冷凝液滴去除冷凝！液应排放至指—定的安全容器内【 ：