。 ： 7．3  【。处理系统 ！ 7．3．1】 ， 一般半导体及光电！产业：的挥发？性有机物废气—排，放浓度为100mg！/m3～1000m！g/m3（甲烷计）！属低度至中度—浓，度范围但排风—量通常很大》浓度：。在50mg/m3】（甲：。烷，计）以？下挥发性《。有机物废气已—基本能满《足目前？。大气：排放标准的要求从技！术经济的角度除非】是嗅阈值《极低的物《质，否，则一般不采用—热氧化的方》式因此？建议采用活性炭吸】附进行一《定程度的减排浓度】不高于1000【mg/m3因浓度】较低采用直接氧化】或蓄热氧化需大量添！加辅助燃《料运行成本高因此】一般采用《转轮浓？缩5倍～15倍【一方面提高》气体：浓度另一方面减少需！氧化处理的风量【热氧化工艺包括热氧！化及热回收》系统、蓄《。热氧化？系统浓度大于1【000mg/m3的！气体采用蓄》热氧化的方式进行直！接处理一方面因为蓄！。热氧化的热》回，收效率已达95％另！一方面可《简化流程较大程度的！节约系统的投—资费用热氧化工【艺包括蓄热氧化系统！、催化氧化系统【、，蓄热催？化氧化系《统旋转蓄热氧—。化，是蓄热氧化装—置中热回收效率和焚！烧效率均较好—的装置蓄《热催化氧《化工艺则通过—催化剂在《较低的温度下进【行热：氧化作用同》时也：具有很高的》蓄热换热效率氮氧化！物，的生成量《相对较？少但需要使用催化】剂 7】．3．2  对【于低浓度《挥发性？有机物废气的一次】。性活性炭《。吸附抛弃工艺从【经济：性角：度出发一般》采用投资最少—的，固定床工艺且通过】。接触：。。时间规定确保一定】的吸附床《层厚度通过》规定炭的《吸，附率质？量分数可确保炭【具有一定的吸附能力！颗粒直径较大—的，活性炭往往传质阻】力大且传质区长【度相：对较大不利于活性】炭的充分《利用因此建》议采用3mm以下】的粒径从工艺—控制的角度当活性】炭被颗粒物堵塞【或含水量过大时往】往，床层压力《会变大因此可—以通过？安装：压差：报警装置作》为监控活《性炭床？吸附性能《的手段之一 【 ，  《   由《于吸附为《放热过？程同时？活性：炭含有的一些金属及！金，属，氧化物杂质具有一】定的催化作用活性】炭床在吸附高浓度气！体、吸附《饱和或外界高温的情！况下可能会出现【自，燃危险因此》。活性炭？吸附塔？附近：需配：备消防系统或—放置灭火器 ！     为避免！。频繁更换活性炭吸】附，剂，其填充量《更换：周期一般不低—。于3个月 — 7．3．】4  ？“转轮浓缩+热氧化！”工：艺流程如图》1所示？“转轮浓缩＋热氧化！”系统由转轮—吸附浓缩系统、【热氧化？系统和自动控—制系统等组成—工艺排气在进入浓缩！转轮：前会分流一》定比例的《废气通入转轮冷却】区作冷？却，之用其余《的废气进入吸附处】理区：经吸附处理达标后】可直接经排》气筒排？至大：气 《     【采用工艺排气作为转！轮冷却用气主—要是可以减》少，吸附处理气体的流量！  【。   ？冷，却转：轮并使转《。轮恢复吸《附功能的废气—将进入换《热器：通过与？热氧：化，炉膛内抽出》来一定流量烟—气换热升温至1【80℃～22—0℃后返回进入转】轮的脱附区》将吸附浓缩在—转轮上的VOCs】脱附出来形成—高倍浓缩的》废气气流《；浓缩后的废气再】通过：换热器加热后进入直！燃式：热氧化器被高温【热，裂解为二氧化碳【与水的达《标废气与前述经【吸，附处：理，区的：达标废气合》并后由排气筒排放】至，大气 ！ ，    【 由于转轮》本身：的，特，性其再生温度需1】。8，0℃以上才能较好的！完成脱附工作—但脱附温度》到3：00℃以上时可能会！造成部分《挥发性有机物裂解】焦化污染堵塞吸【附剂表面《引起：。系统：性能下降 ！   ？  目前挥》发性有机物排放限】值比较严格》的行业或地区要求在！50m？g/m3以》下浓缩后气》。。体在热氧《化系统处理入—口可达500—0mg/m3以上因！。此要：求净化效率不小【。于，9，9％在保证》热，氧，化条件合理的情况】下99％《的热：氧化效率是完全可】以做到？的 《 ，     —。由于氮氧化物也【是目：前我国？。纳入总？量控制的污》染，物因此要《求在控制挥》发性有机物污—染的热氧化过程中要！防止出现氮氧—化，物的二次污染— ： 《    热回收效】率是指实际》预热废气所利—用，热量与最大需求热量！。的百分比《值计：算公式？。如，下 【 》 ，。    式中η热回！收效率？； 《       ！  mo《氧化装置排》出气体的质量流量（！kg/h）； 】 ，       ！  mi待处—理废气的质量—流量（kg/h）】；， 《      【   Tc氧化【装置燃烧室温度（℃！）； ？ 》        T！o氧化排《气在热回《收，系统出口处的气【体温度（℃）； 】 ，   —   ？   T《i挥发？性有机物废气在热回！收系统？进口处的气体—温度（℃） ！ 7？．3．5  “【转轮浓缩＋蓄热【氧化”工艺流程如】图2所示“转轮浓缩！＋蓄热氧化”系统】由转轮吸附浓—缩系统、《蓄热：热氧：化系统？和自动控制系—。统等组成 ！ ： ？     两塔】式，蓄热氧化设备—在，气流方向《切换时存在泄漏的可！能性：因，此对切换阀门—的速度和《密封性？均要求较高》从确保热氧化效【率的角度推》荐采用三塔式或【旋转式？的，工艺：布，。。置，方式 《    【 从：技术经济的角度规定！了蓄：热氧化系统的蓄热效！率要不？小，。于90％ —。。  》   蓄热材料【因湍流换热的需【要往往阻力》较大造成《运行电耗《较高综合《换热和气流》阻，力的因素要》求蓄热材料》压，力损失要不大—于3500Pa【 《。   《  废气进出热氧】化炉由旋转阀切换】进行：旋转：阀的漏气率不应【大于1％ 【     与】其他类型的蓄热氧】化设备一《样旋装式蓄热—氧化设？备要设置过热状态】时热气体《旁路排？放控制系统以—有效控制《炉膛过温问题当【炉膛温度超过温度设！定点时开启热气旁路！控制风门让》炉体热量不经—过蓄热床直接通【过排气筒排放至【大气从而有》效降低和控》制炉膛温度该设备能！有效扩大氧化设备】的进：。气浓度？的允许操作》范围同时《在系：统发生故障时亦【能，有效降低炉温 】 7．3．】6  催化氧化【一般在相对较低的】温度条件下完成热氧！化过程催化剂起着】重要的作用规—。定所选取催化剂【。的空间速度一—般不小于150【0，0h－1是要求选】用一些高性能的【催化剂避免含硫、铅！、砷等易造成催【化剂失活的》物质进入《系统造成催化性【能，的，下降为防止发生【不完全氧化在工【艺中配备催化床【预热系统在确保催】化剂加热到正—常工作温度区间【后，再，通入待处理的挥发性！有机物废气》 —7，．3．7  蓄【热催化氧化系—统（RCO系统）是！将，蓄热式热交换器与催！化氧化炉的优势【结合起来的一种工艺！与RTO设备相【同先通过陶瓷蓄热材！料将待处《理气体预热然后将】V，OCs在300【℃左右？的催化？反应中？转化成无害或少害】的物质两塔式蓄热】催化氧化设备在气】。。流方向切换时存【。。。在，泄，漏的可能性因此对切！换阀门的速度和密】封性均要求》较，高，。从确保热氧化效率的！角，度，。推荐采用三》塔式或旋转》式的工艺布置方【式 7】．3．8《 ， 体：积浓度＞1％沸点】＞150℃》。的剥离？液挥发性《有机物废气一般采】用冷凝？。净化工艺进行预【处理常见的去—光，阻剥离液、去光阻工！艺所涉及的》挥发性有机物性能】。情况分别见表7和】表8 —。 】 《  ？   冷凝净化【过，程的出口浓度主要】取决：于，出口气？体的：冷凝温？。度因：此建议采用5—℃～8℃的冷—却水通过合理换【热面：积的冷凝器》。确保冷凝系统的最】终排气温《。度不：。大于1？2℃控制《排气中的气态VO】C，s浓度冷凝》器，后设置的除》雾器主要是用—来，将气体中的冷凝【液滴去除冷》凝液应排放至—指定的安全容器内 ！ ，