： 7．3  【处理系统 — ， ： ？7．3．1  【一般半导体及光电产！业的挥发性有机物废！气排：放浓度？为10？0m：g/m3～100】0mg/《m3（甲烷计）属】低度至中度浓度范围！但排：风量通常《很，大浓度在50mg】/m：3（甲烷计）以下挥！发性有机物》废气已基本》能满足目前大气【排放：标准的要《。求，从技术经济的—。。角度除非是嗅阈值】极低的物质》否则一般不采—用热氧化的》方式因此建议采用】活性炭吸附进行【一定程度的》减排浓度《不高于1000mg！/m：3因浓度较低采用】直接氧化或蓄热【氧化需大量添加辅】助燃料？运行成本《高因此？一般采？用，转轮浓？。缩5倍～15倍一方！面提高气体浓度另一！方面减少需氧化处理！的风量热氧化工艺】包，括热氧化及》热回收系统》。、蓄热？氧化系统浓度大于1！000mg/m3】的气体采用》蓄热氧？化的方？式进行？直接：处理一方面因为蓄】热氧化？。的热回收效》率已达95％另一方！面可简化流程较【大程度的节约系统的！投资费用热氧化工艺！。包括蓄热氧化系【统、催化氧化—系统、蓄《热催化氧化系统旋】转，蓄热氧化是蓄热【。氧化装？。。置中热回收效率和焚！烧效率均较》好的装置蓄热催【化氧化？工艺则？通，过催化剂《在，。较低的温《度下：进行热氧《化作用同时》也具有很高的蓄热换！热，效率氮氧《化物的生成量相对较！。少但需要使用催化】。剂 ：。。 7．【3．2 《 对于低浓度挥发性！。有机：物，废，气的一次性活性炭】吸附：抛弃：工艺从？经济性角《度出发一般采—用，。投资最少的固定【床工艺？且通过接《触时间规定确—保一定的吸附床层】厚度通过规》定炭的吸附率质【量分数？可，确保炭具《有一定的吸附—能力颗粒直径较【大的活性炭往往【传质阻力大且传质区！长度相对《较大不利于活性炭的！充分利用因此建议】采用3mm以下的】粒径从工艺》控制的角度当活性炭！被颗粒物堵塞或含水！量过大？时，往往：床层压力会变大因此！可以通过安装压差】报警装置作为—。监，控活：性炭床吸《附性能的《手段：之一  ！   ？由于吸附为》放热过程同时—活性炭含有的—一，些金属及金》。。属氧化物杂质具【有一定的催》化作用活性》炭床在？吸附高浓《度气体、吸附饱和】或外界高温的情况】下可能？会出现自燃》危险因此活》性，炭，吸，附塔附？近需：配，备消防系统或—。放置灭火器 】     【为避：免频繁更换活性炭吸！。附剂：其填充量《更换周期一般不低】于3个月 》 7．3】．4：  ：“转轮浓缩+热【氧化”工艺流程如图！1所示“转轮浓缩＋！热氧化”系统由转】轮吸附浓缩》系统、热氧》化系统和自动控【制系统等组》成工艺排《气在进入浓缩转【轮，前会分流一定比【例的废气通入转【轮冷却区作冷却之】用其余？的，废气进入吸附处【。理区经？吸附处理达》标后可直接经排气筒！排，至大气 — ：     采用工】艺排气作为转轮冷】却用气主要》是可：以减少吸附处理气体！的流量 》 ：     冷却转！。轮并使？转轮恢复吸附功能】的废：气，将进：入换热器通过与【热氧化炉膛内—抽出来？。一定流量烟》气，换热升温至1—80℃～《2，2，0℃后返回进入转轮！的脱：。附区将吸附》浓缩在转《轮上的VOCs【脱附：出来形成高》倍浓缩？的废气气流；浓【。缩后的废气再—通过换热器加热后进！入直燃式《热氧化器被高—温热裂解为二氧化】碳与水的《达，标废气与前述经【吸附处理《区的达标废气合并后！。由排气筒排放至大气！ 》 ：  — ，  由于转轮本身】的特性其再》生温度需1》80℃以上才—能较好？的完成脱附工作【但脱附？温度到？300℃以上—时可能会造》成部分挥发性有【机物裂解《焦化：。污染堵？塞吸附剂表面引起】系统性能《下，。降 【    目前挥发性！有机物排《放限值比较严—格的行业或地—区要求在《50mg/m3【以下浓缩后气体【在热：氧化系统处理入口】可达5？000mg》/m：3以上因此要求净】化效率不小于—99％在《保证热氧化条件合理！的情况下99％的】热，氧化效率是完—全可以做到的 ！   》 ， 由于氮氧化物也是！目前我？国纳入总量控制【的污染物因此—要求在控《制挥发？性有机物污染—的热：氧化过程中》要防止？出现：氮氧化物的二次污染！ ： ？     热回收效！率是指实际预热废】气，所利用热量与—最大需求热量的百分！比，值计算公式》如下 ？ ！   《  式中η热—回收效率； — 》    《。  ：  mo氧》。化，装置排出气体的【质量流量《（kg？/h）； 】      【  ： mi？待处理废气的—质量流量（k—g/h）； 【 ，。      】   ？。。Tc氧化装置燃烧室！温度（℃）； ！。。  《     》  To氧化—排气在热《回收系？统出口处的气体温度！（℃）； 【     【  ： ， Ti？挥发性有机物废气】在，热回收系统进口【处的气体《温度（℃） 】 7．3—．5  “转轮浓缩！＋蓄热？氧化”？工艺流程如》图2所示“》转轮浓缩＋蓄热氧化！”系统由转轮—吸附浓缩系统、【蓄热热？氧化系统和自动控】制系：统等组成 》 ？。 ： 《。     两【塔式：蓄热氧化设备在气】流方向切换时存在泄！漏的可能性》因此对切换阀门【的速度和《密封性均要求—较高从确《保热氧化《效率的角《度推荐？采用三塔式或旋转式！。的工艺布置方式 ！ ，  《。   从技术—经济的角度规—定了蓄热氧》化系统的蓄热效率要！不小于90％—。 —。 ，   蓄热》材料：因湍流换热的需要】。。往往阻？。。力较：。大造成运行电—耗较高综《合换热和气》流阻力的因素要求蓄！热材料压力损失要不！大，于3500》Pa： 《  ？   废气进出【热氧化？炉由旋？转阀切换进行旋转阀！。的漏气率不应—大于1％ 】    》 与其他类型的【蓄热氧化设备—一样旋装式蓄热氧】化设：备要设置《过热状态时热—气体旁路排放控制系！统以有？效控制炉膛》过温问？题当炉？膛温度超过温度设定！点时开启热气旁路】。控制风门让炉体【热，量不经过蓄热床【直接通过排》。气筒排放至大气【从而有效降》低和控制炉膛温度】该，设备能有效扩大氧】化设：备的进气浓度—的允许操《作范：围同时在系统发生故！障时亦能有效降低炉！。温 ？ 7》．3．6 》 催：化氧化一般》在相：对较低的《温度条件下完成热氧！化过程催化剂起着重！。要的作用规》定所选取催》化，剂的空间速度一般】不小于1《5000《h－1是要求—选用一些高》性，能，的催化剂《避免含硫、铅—、，砷等易造成催化剂失！活的物质进入系统造！成催化性《能的下降为防止发生！。不完全氧化在工艺】中，配备催化床预热【系统在？确保催化剂加—热到正？常工作温度区间后再！通入待处《理的挥？发性有机物废气【 ， 7．3．！7  ？蓄热催化氧化—。系统（RCO系【统）是将蓄热式热交！换器：与催化氧化炉的优势！结合起来的一种工艺！与RTO设备相【同，先通过陶瓷蓄热材】料将待处理气—体预热然后将V【OCs在300【℃左右的催》化反应中转化成【无害或少《害的物质两》塔式：。蓄热：催化氧？化，设备在气流方向切】换时：存，在泄漏的可能性因】此对切换阀门的速】度和密封性均要求较！高从确保热氧化效率！。的角度推荐采用三】塔式或旋《转式：的工艺布置方式 】 7．【3．8  体—积浓度＞《。1％沸点＞1—50℃的剥》。离液：挥发性有机物—废气一？。般采用冷凝净—化工艺进行预处理常！见的去光阻剥离【液，、去光阻工艺所涉及！的挥发性有机物性】能情况分《。别见表7和表—8 ！ 》 ， 《    冷凝净【化过程的《出，。口浓度主要取决于】。出口气体的冷凝温度！因此：建议采用5》℃～8℃的冷却水】通过合理换热面【积，。的冷凝器确》保冷凝系统》的最终排气》温度：。不大于1《2℃控制排》气中：的气态VO》Cs浓度冷凝器后设！置，的除雾器主要是【用来将气体中的冷凝！液滴：去除冷凝《液应排？放至指定的》安全容器内 【