7．3  ！处理系统 ！ ， 7．《3．1  》一，般半导体及光电【产业的挥《发性有机物》废气排放浓度为1】00mg/m3【～，1000m》g/m3（》。甲烷计）《属低度至中》度浓度范围但排【风量通常很》大浓度在50m【g/m3（甲烷【计）以下挥发性有】机物废？气已基本能满足目前！大，。气排放？标准的要求从技【术经济的角度除【非是嗅阈值极低的物！质否则一般不—采用热氧化的—方式因？此建议？。采用活？性炭吸附进行一定】程度的减排浓度不高！于，。1000mg—/m3因浓》度较低采《用直接氧化或蓄热】氧化需大量添加辅】助燃料运行成本【高因此一般》采用转轮浓缩5倍】～1：5倍一方《面提高气体浓度另一！。方面减？少需氧？化处理的风》。量热氧化工艺—包，括热：氧化及热回》收系统、蓄热氧化】。系统浓度大于1【000mg/—m，。3的气体采用蓄【热氧：化的方式《进行直接处理—一方面因为蓄—热氧化的热回—收效率已达9—5％另一《。方，面可简化《流程较大《程，度的节？约系统的《投资费用《热氧化工艺》包括：。蓄热氧化系》统、催？化氧化系统、蓄热催！化氧化系统旋转蓄】。热氧化是蓄热氧【化装置中热回—收效率和焚烧—效率均较好》的装：置蓄热催化氧—化工艺则通过催【化剂在较低的温度】下进行热氧化—作用同时也具有【很高的蓄热换热效率！氮氧化？物的生？成量相对较》少但需要使用催化】剂 ： 《 7．3．2  】对于低？浓度挥？发性有机物废—气，。的一次性活性炭吸附！抛，弃工艺？从经济性角》度出发一《般采用投资》最少的固定床—工艺且通过接触【时间规定确保一定】的吸附床《层厚度通《过规定炭的吸附率】质量分数可确保炭具！。。有一：定的吸附《能力颗粒《直径较大的活—性炭往往传质阻【力大且？传质区？。。长度相对较大不利于！活性炭的《充分利用因此建【。议采用3《mm以下的粒—径从工艺《控制的？角度当活性炭—被颗粒物堵》塞或含水量过—大时往往《床层压力会变大因】。此可：以通：。。过，安装压差报警装置作！为监控活性炭床吸附！性能的手段之—一  】 ，  由于《吸附为放热过—程同时活性炭含有】的一些金属及金属氧！。化物杂？质具有一定的催【化作用活性》。炭床在？吸附高浓度气—。体、吸附饱和或外】界高温的情》况下：可，能会出现自燃危险因！。此活：性炭吸附《塔附近？需配备消防》系统或？放置灭？火，器 ？    【 为避？免，频，繁，更换：活性炭吸附剂—其填充量更》换周期一般不—低于3个月 【 7．3【．4  《“转：轮浓：缩+热氧化”工艺】。流程如图《1所示“转》轮浓缩＋《热氧：化”系统《由转轮吸附》浓缩系统、热氧【。化系统和自动控制系！统等组成工艺排气】在进入浓《缩转轮前《会分流一定比例的】废气通入转轮冷却】区作：冷却之用《其余的废气进入【吸附处理区经—吸附处理达标—后可直？接经排？气筒排至大气 】 ：  ？   采《用工：艺排气作为转轮冷】却用气主要》是可以？减少吸附《处理气体的流量【    ！ 冷却转轮》并使：转，轮恢复吸附功能的】废气将进入换热器通！过与热氧化炉膛内】抽出来一定流量烟气！换热：升温至18》0，℃，～2：20℃后返回进【入，转轮的脱附区将【吸附浓缩在转轮上】的VOCs》脱附：出来形成高倍浓【缩的废气气流—；浓缩后的废—气再通过《换热器加热后进【入直燃式热》氧化器？。被高温热裂解为二】氧，化碳与水的达—标废：气与前述经吸—附处理区《。的达标废气》合并后由排气筒排】放至大气 》 — ？    》 由于转轮本身的特！性其再生温度需【180℃《以上才能较好的完】成，脱附工作但脱—附温度到300℃以！上时可能会》造成：部分挥发性》有机物裂解焦化污染！堵塞吸附剂表面引起！。系统性能下降 【 ， ？ ，    目》前挥发性有机—物排放限值》比较严格的行业或】。地区要求在50m】g/m3以》下浓缩？后气体在热》氧化系统处理入【口，可达：500？0m：g，/，m3以上因此要【求净化效率不小【于99％在保证热】氧化：条件合理的情—况下99％》的热氧化效率是完】全可以？做到的 《  —   由于氮—氧化物也是目—前我：国纳入总量》控制的污染物因【此要求在控制挥发】性有：机物污染的热氧【化过程中要防止出现！。氮氧化物的二次污】染 【    热回收效】率是指实际预热废】气所利用热量与最】大需求热《量的百分比值—计算公式如下 ！ 【  ？   式中η热回】收效：率； 】        】mo氧？化装置排出气体的质！量流：。量（kg《。/h）； 【 ，  ？   ？  ：  mi待处理废】。气的质量流量（kg！/h）； ！  ：。     》  T？c，氧化：装置燃烧室温度（℃！）； 】。   ？ ，    To氧化】排气在热回收系统出！口处的气体》温，度（℃）； 【 ？        】 Ti挥《发性：有机物废气在热【回收系统进》口，处的：气体温度（℃） 】 ？ 7．3．—5  ？“转轮浓缩》＋蓄热氧化”—。工艺流？程如图2所示“【转轮浓缩＋蓄热氧化！”系统由《转轮：吸附：浓缩系统、蓄热热氧！化系统和自动—控制系统等》组成 ？。 ： 【 ： ，   两塔式蓄【热氧化设备》在，气流方向切换—时存在泄漏的可能】性因此对切换阀门的！速度和密封性—均要求较高从—确保：热氧化效率的—角度推荐采用三塔式！或旋转？式的工艺《布置方式 【   》  从技术经—济的角？度规定？了蓄热？氧化系统的蓄热效】率，要不小于90％ ！。     蓄！热材料因《湍流换？热，的需要往往阻力较】大造成运行电耗较】高综合换热和—气流阻？力的因？素要求蓄热材料压力！损失要不大于—3500P》。a ：     ！废气进出热氧化【。炉由旋转阀切—。换进行旋转阀的【漏气率不应大于【1％ ？     ！与其他类型》的蓄热氧化设备一】样旋装式蓄热氧化设！备要设置过热状【态时热气体旁路【排放控制系统以有】效控制炉《膛过温问《。题当炉膛温度超过】温度设定《点时：开，启热气旁《路控制风门让炉体】热量不经过蓄热床】直接通过排气筒排】放至大气从而—有效降？低和控制炉》膛温度？该设备能有效扩【大氧：化设备的《进气浓度《的允许操《作范围同时》在系：统，。发生：故障时？亦能有效降低—炉温 《 7．3．】6 ： 催化氧化一般在】相，对较低的温度条件下！完成热氧《化过程催化剂起着重！要的作用规》定所选取催化—剂的空间速度一【般不小于1》5000h－1是要！求选用一些高性【能的催？化剂：避免含硫、铅、砷】等易：。造成催化《剂失活的物质进【入系统造成催—化性能的下降为防】止发生不完全—氧化在工《艺中配？备催：化床预？热，系统在？。确保催化剂》加，热到正常工》作温度区间后—再通入待处理—的挥发性有》机物废气 ！ 7．3．7—  蓄热催化氧【化系统（RCO系统！）是将蓄热式—热交换器与催化氧】化，炉的优势《结合起来的一种工艺！与RTO《设备相同先通过【陶瓷：。蓄热：材料将待处理气体】预，热然后将VOCs】在300℃左右的】催化反应中转化成】无害或少害的物质两！塔式蓄热催化—氧化设？备在气流方向切换】时存在泄漏的—可，能性因此对切换阀】门，的速度和密》封，性均要求《较高从？。确保热氧化效—率的角度推荐采【用三塔式或旋转式的！工艺布置方》式 ？ 7》．，3．8  体积【浓度＞1％沸点【＞，150℃的》剥离液挥发性有机】物废气一般》。。。采，用冷凝净《化工艺？进行预处理常见【的去光阻剥离液【、去光阻工艺—所涉及的挥发性有】机物性能情》况分别见表7和【。表8 】 】   —  冷凝净》化过程？的出口浓《。度主要取决于—出口气体的冷—凝温度？因此建？议采：用5℃～8℃的【冷却水？通过合理换热面【积，的冷：凝器确保《冷凝系统的最终排】气温度不大于12℃！控，。制排气中的气态【。VOCs《浓度冷凝器后设【。置的除雾器主—要是用？来将气体中的冷凝液！滴去除冷凝液应排】放至指？定的安全容器内 】 ，