， 7．3  】处理系统 【 7．3．！1  一般半导体】及光电产业的挥发】性有机物《废气排放浓》度为100mg/m！3～100》。0mg/m》3（甲烷计）属低度！至中度浓度范—围但排？风量通常很大浓度】在50mg/m【3（甲烷计）以下】挥发性？有机物废气》已基本能满足目【前大气排放标准的要！求从技术经》济的角度除》非是：嗅阈值极低》的物质否则一般【不采：用热氧化的方式因】。此建议采《用活性炭吸附进【行一定程度的—减，排浓度不高于10】00mg/m—3因浓度较低采用】直接氧化《或，蓄热：氧，化需大量添加辅助燃！料运：行，成本高因《此，一般采用转轮浓缩】5倍～？1，5倍一？方面提高气体—浓，度另一方面减—少需氧化处》理的风量热氧化工】艺，包括热？氧，化及热回收系统【、蓄热？氧，化系：统浓度大于10【00mg/m3的气！体，采用：蓄热氧化的方式进】行直接处理一方【面因为蓄热氧化的】热回收效率已—。达9：5％另一方面可【简，化流程？较大程度的节约系】统的投资费用热【氧化工？艺，。包括蓄热氧化—系统、？。催化氧化《系统、？蓄热：。。催化氧？化系统旋转蓄—热氧化？是蓄热氧化装—置中热回收效率【和焚烧效率均较【好，的装置蓄热催化氧化！工，艺则通？过催化剂在较低的温！度，下进行？热，氧化作用《同时也具有》很高的？蓄热换？热效率氮《氧化物的生》成量：相对较少但需要使用！催化剂 《 7．3．！。2  对于低—浓度挥发性有—机物废气的一次【性，活性：炭吸附抛弃》工艺从经济性角度出！发，一般采用投资最【少的固定《床工：艺且：通过接？触时间规定》确保一定的吸附床层！厚度通过规定炭的吸！附率质？量分数可确保—炭具有一《定的吸？附能力颗粒直径较大！的活性炭往往传【质阻力大《且传质区长度相对较！大不利于活》性，。炭的充分利用因此】建议采用3》mm以下的粒径从】工艺控？制的：角度当活《性炭被颗粒物—。。堵塞或？含水量过大时往往】床层压力会变大因此！可以通过安装压差】。。报警装置作》为监控活性炭—床吸：附性：能的手段之一 ！     【由于吸附《为放热过程》同时活性炭含有的】一些金？。属及金属氧》化，物杂质具有一定的】催化：作用活性炭床在吸】附高浓度气体—。、吸附饱《和，或外界高温的—情况下可能会出现自！燃，危险因此活性炭吸附！塔附近需配备消防】系统或放置灭火【器 》     为避】免频繁更换活—性炭吸附剂》其填充量更换周【期一般不低》于3个？月 7】．3：．4  “转轮浓】缩+热氧化”—工艺：流程：如图：1所示？“转轮浓缩＋热氧化！”系统由转轮吸附浓！。缩系：统、热氧化系统和】自动控制系》统等：组成工艺排气在进】入浓缩转《轮，前会分流一定比例】的废气？通入转轮冷却区作冷！却之用其《余的废气进》入吸附处理》区经：吸附处理《达标：后可：直接经排气》筒排至大气 ！ ：    采用—工艺排气《作为：转轮：冷却用气主》要是可？以减：少吸附？处理气体的流量 】 ：     【冷却转轮并使—转轮恢复吸附功能的！。废气将进入换热【。器通：过与：热氧化炉膛内抽出来！一，定流量？烟气换热升温至1】80：℃～2？20℃后《返回进入转轮—的脱：附区将？吸附浓缩在转轮上】的VOCs脱附出来！形成高倍浓缩的废气！气流；浓缩后的【。废气再通过换—热器加热《后进入直燃式热【氧化器被高》温热：裂解为二氧化碳【与水的达标》废气：与前述经吸附处理】。。区，的达标废气合并【后由排气筒排—放至大气《 》 ？。。   —  由于转轮本【身的特性其再生温度！需180℃以上【才，能较好的完成脱附】工作但脱附温度【到300℃以上时】。可能会造成部分挥】发性有机《物裂解焦化污染堵】塞吸：。附剂表面引起—系统：性能下降 —     目！前挥发性《有机物排放限值比较！严格的行业》或地区要《求在50mg/m】3以下浓缩》后气体在热氧化【系统：处，理入口可达50【。00mg/m3【以上因此要求净化】效率不小《于99％在保证热氧！化条件合理的情况下！9，9％：的热氧化效率是【完全可以做到—的 —     由于【氮氧化物《也是目前我国纳入】总量控制《的污染物《因此要？求，在控制挥发性有机】物，。污染的？热氧化过程中要防】止出现氮氧》化物的二次污染 ！ ，  《 ，  热回收效率是】指实际？。预热废气所利用热量！与最大需求热—。量的百分比值计算】公式如？。。下 ！ ：     式中】η热回收《效率； 《     ！  ：  mo氧化—装置排出《气体的质量流量【。（kg/《h）：； 》  ？。      — mi待处理—废气的质量流量（k！g/：h）； 《    】     》Tc氧化装置燃烧室！温度（？℃）； 《  —       【。To氧化《。排，气在热回《收系：统出：口处的气体温—度（：℃）； —       ！  Ti挥发性有】机物：废气：在热回收系统—进口处的气体温【度，（℃） 《 ， 《7．3．5》  “转轮浓—缩＋蓄？热，氧化”？工艺流程如图2【所示“转轮》浓，缩＋蓄热氧化—”系统由转轮吸附浓！。。缩系统？、蓄热热氧》化系统和自动—。控制系统等组—成 】。     ！两塔式？蓄热氧化设备在【气流方向切换时【。存在泄漏的可能【。性因此对切换阀门的！速，度，和密封性均要求较】高从确保热氧化效】率的角度推荐采用三！塔式：或，旋，转式的工《。艺布置方式 ！     从【技术经济的角—度规定了蓄热氧【化，系统的蓄热效率要不！小于9？0％ 》     蓄】热材料因《湍流换热的需要【往往阻力较大—造成运行电耗—。较高：综合换热《和气：流，阻力的因素要求蓄】热材料压力损失要】不大于？350？0Pa？  【   ？。废气进出热氧化炉】由，旋，转阀切换进行旋转】阀的：漏气率？不应：大于1％ ！     与其【他，类型的蓄《热，氧，化设备一样旋装式】蓄热氧化《设备要设《置过热状态时热气】体旁路排放》控制：系统以有效》控制炉膛《过温问题当炉膛【温度超过温》度设定点时》开启热气旁路控制风！门让炉体热量不经过！蓄热床？直接通过排》气筒排放至大气【从而有效降》低和控制《炉膛温度该设备能】有效扩？大，。氧化：设备的进《。气浓：度的允？许操作范《围同时在系统发【生故障？时，亦能有效降低炉温 ！。 7．3．！6  催化氧化一般！在相对较《低的温度条件下完】成热氧化《过程催化剂起着【重要的作用》规定所选取催化剂】的空间速度》一，般不小于1》5000h－—1是要求选用一些】高性：。能的催化剂避免【含，硫、：铅、砷等易造—成催化剂失》活的物质进入系统】。造成催化性能的【下降：。为防止发生不完全】氧化在？工艺中配备催化床预！热，系统在确保催化【剂加热到《正常工？作温度区间》后再通入待处理的挥！发性有机物废气 ！ ？ ，7．3．7  蓄热！。催化氧化系统—（R：CO系统《）是将蓄热》式热交换器与催化氧！化炉的优势结—合起来的一种工【艺与：RTO设备相同先通！过陶：瓷蓄热材料将待【处理气体预热—。然后将V《OCs在《30：0℃左右的催化反】应，中，转化成无害或少【害的物质两塔—式蓄热催《化氧化设备在—气流方向切换时【存在泄漏的可能性】因此对切换阀门【的速：度，和密封性均要求较高！从确保？热氧化效率的—角度推荐采用—三，塔，。式或旋？转式的？工艺布置方》式 7】．3．8  —体积：浓度＞1％沸—点＞1？50℃的剥离—液挥发性《。有机物？废气一般采用冷凝】净，化工艺进行预—。处，理常见的去光阻剥离！液，、去光？阻，工艺所涉及的—挥发性有机物性【能情况分别见表【7和：表8 ？ — ？ —     —冷，凝净化过《程的出口浓度主要取！决于出口《气，体的冷凝温度因此建！议采用？5℃～？8℃的冷却》水通过合《。理，换热面积的冷凝器确！保冷凝？系统的最终排气【温度不？大于1？。2℃：控制：排气中的《气态VOCs—浓度冷凝器后设置的！除雾器主要是用来】将气体中的冷凝液】滴去除冷凝液—应排放至指定—的安全容器内 【 ，