7．3【  处？理系统 】。 7．3—．1  一》般半：导体及光电产业【的挥发性《有机物废《气排放浓度为1【00mg/》m3：～1000mg【。/m3（甲烷计）】属低度至中度浓度】范围：但排风量通常很【大，浓度在5《0mg/m3（【甲烷计）《以下挥发《性有机物废气—已，基本能？满足目前大气—排，。放标准的要》。求从技？。。术经济的角度除非是！嗅阈值极低的物【质否则？一般不采用热—氧化的方式》因此建议采用—活性炭吸附进行一】定程度的减》排浓度不高于100！0mg？/，m3因浓度较—低采：用直接氧化或蓄热】氧化需大量》添加辅助燃》料运行成《本高因此一般采【用转轮浓《缩5倍～1》5倍一方面提高气体！浓度另一方面减少】需氧化处《理的风量《热氧化工艺》包括：热氧化及热回—收系统、蓄热—氧化系统《浓度大于1000m！g/m3的气—体采：用，蓄热氧化的方—式，进，行直接处理》一方面因为蓄—热，氧化的热回》收效率已达》95：％另一方《。面可简化流》程较大程《度，的节约系统的投【资费用热氧》化工艺包《。括蓄热？氧化系统、催化氧】化系统、《蓄，。热催：化氧化系统旋转蓄热！氧，化是蓄？热氧化装置中热回收！效，率，。和焚烧效率均—较好的装置蓄热催】化氧化工艺》则通过催化》剂在较低的温—度下进？行热氧化作用同时也！具有很高的蓄热换】热效率氮氧》化物的生成量相对】较少但需要使用催化！剂 【7．3？．2 ？ 对于低浓度挥发】。。性有机物废气的一】次，性活性炭吸附抛弃工！艺从经济性角度出】发一般？采用投？资最少的固定床【工艺且通过》接，触时间规定确保一定！的吸附床层厚—度通过规定》炭的吸附率质量分】数可确保炭》具有一定《。的吸附能《力颗粒直《径较大的活性—炭往往传质阻力大且！传质区长度》相，对，较大不利于》活性：炭的充分利用因【。此建议采《用3mm《以下的粒径从—工艺控制的角度当】。。活性炭？被，。颗，粒，物堵：塞或含水《量过大时往往床【。层压力会变》大因此可《以通过？安装压？差报警装置作为【监控活？性炭床吸附》性能的手段之—一   ！  由于吸附为放热！过程：。同时活性《炭含有的一些—金属及金属氧化物杂！质具有一《定的催化作用—活性炭床在》吸附高？浓度：。气体、吸《。附饱和或外》界高温的《情况下可能》会出现？自燃危？险因此活性炭吸附】塔附：近需：配，备，消防系统或》放置灭火器》 — ，   为避免频繁更！。换活性炭吸附剂【其填充量更换周期一！般不低于3个月 】 7．【3．4  “转轮浓！缩+热氧化”工【。艺流程如图1所示】“转轮浓《缩，＋热氧化”系统【由转轮吸附》浓缩系统、热—氧，化系统和自》动控制系统等组成工！。艺排气？在进入浓缩转轮【前会分流一定比例】的废：气通入转轮冷却区作！冷却：之用其余的废气【进入吸附处理—区经吸附处理—达，标后可直接经排气】筒排至大气 】 ， ：  ：  采用工艺排【气作为转轮》冷却用气主要—是可：以减：少吸附处理气—体，的流量 【  ？   冷却转—轮并使转轮恢复吸附！功，能，的废气将进入换【热器通过与》热氧化炉膛内抽出来！一定流量烟气—换热升温至1—80℃～2》20℃？后返回进《。入转轮的脱附区将】吸附浓缩在转轮上】的VOCs脱—。。附出：来形成高倍浓—缩，的废气气流；浓缩后！的废气？再通过换热器加热后！进入直燃式》热氧化器被高温【热，裂解为二氧》化碳：与水的达标废—气与前述《经吸：附处理区的达标废气！合并后由《排气筒排放》。。至大气 — ！ ， ，  ：由于：转轮本身的特—性其再生温度需18！0℃以上才能较【好的完成脱附工【作但脱附温度—到300℃以上时】可能会造成部—分挥：发性有机物裂—解焦化污染堵塞吸附！剂，表面：引起系统性能下【降 》 ：    目》前挥发性有机物排放！限值比？较严格的《行业或？。。。地区要求《在50mg》/m：3以下浓缩后气体】在热氧化系统—处理入口《可，。达5000》mg/m3以上因】此要求净化效—率不小于99％【在保证热氧化条件合！理的情况下99【。％的热氧化》效率是完全可以【做到的 —  《   由于氮氧化】物也是？目前我国纳入总量】控制：的污染物因此要求】在控制挥《发性有机物污染【。。的热氧化过程中要】防止出现氮氧—化物的二次污染 ！ ：    》 热回收效率是指】实际预？热，废气所？利用热量与最大需求！。热量的百分比值【计算公式《如下 】 》   ？。  式中η热回【收效：率； 】        】mo氧化装置排出】气体的质量流—量（kg/h—）； 》 ：       【  mi待》处理：废气的质《量流量？（kg/h）； 】 《 ，  ：      Tc】氧化装置燃烧室温度！（℃）；《 ： ，  《       T】o，氧化排气在热回【收系统出口处—的气体温度（—℃）；？ 》   ？      Ti挥！发性有机物废气【在热回收系统—进口处的《气体：温，度（℃） ！。 7：．3．5  —“转：轮，浓缩＋蓄热氧化【”工艺流程如图2所！示“转轮浓缩＋蓄热！氧化”系统由—转，轮吸附？浓缩系？统、蓄热热》氧化系统和自—动控制？系统等组成 — 》 ， 《。     两塔【式蓄热氧化设备在气！流方向切换时存在泄！漏的可能性因此对切！换阀门的速度和密封！性均：要求：较高从？确保热氧化效—率的角度推荐采【用三塔？式或：。旋转：式的工艺布置方式】 —    从技术【。经济的角度规定了蓄！热氧化系统的—蓄热效率要不小于9！0，％， 《  ？   蓄热材料因湍！流换热的需要往往阻！力较大造成运—行电耗较高》综，合，换热和？气流阻力的因素要】。求蓄：。热材：料压力损失要不【大于：3500Pa ！  《   废气》进出热？氧化炉由旋转阀切换！进行旋转阀的漏气】率，不应大？于1：％  】   与其他—类型的蓄热氧化设】备一样旋装》式蓄：热氧化设备要设【。置过热状态》时热气体旁路排放】控制系统以》有效控制炉膛—。过温：问题当炉膛温—度超过温度设定点】时开启热《气旁路控制》。风门让炉《体热量不经过蓄热床！。直接通过排气筒【排放至？。大气从而有效降【。低，和控制炉《膛温度该设备能有】效，扩大氧化设备—的进：气浓度的允许—操作范围同时—在系统发生故障时】亦能有效降低炉温】 ？ 7．3—。。．6  催化氧化一！般在相对较低—的温：度条件下完成热【。氧化：过程催化剂起—着重要的作用规定】所选取催化剂—的空间速度一般不】小于1？5000h－1是】要求选用一些—高性能？的催：。化剂避？免含硫、铅、砷【等易造成催化剂【失，活的物质进》入系统造成催—化性能的下降—为防止发生不—完全氧化在工艺中配！备催化？床预热？系统在确保》催化剂加热到正常】工作温度区间后再通！入，待处理的挥发性有机！物废气 ！7．3？．7  蓄热催化氧！化系统？（RCO系》统）是将蓄》热式热交换器与催化！氧化炉的优》势结合？起来：的一种工艺与R【。TO设备相同先通】过陶瓷蓄热材料【将待处理气》体预：热然后将《VOCs在30【0℃左右的》催化反应中》转化成无害或少害】的物质两塔式蓄热催！化氧化设《备在气？。流方向切换》时存在泄漏的可能】性因此对切换阀【门的速度和密封性】。。均要求较高从—确保热氧化效率【的角度？推荐采用三塔式或旋！转式的？工艺布？置方式 】 7．3．》8  体积浓度【＞1％沸点＞1【50：℃的剥离液挥发性】有机物？废气一般采用冷凝净！化工艺进行预—处理常见的去光阻】剥，离液、去光阻工艺】。所，。涉及的挥《发性有机物》性，。能情况分别见表7和！表8 — ？ ！     冷【凝净：化过程的出口—浓度主？要，。取决：于出口气《体的冷凝温度因【此建：议采用5℃～8℃的！冷却水通过合—理，换热面积的冷凝器】确保冷凝系统的【最终排气温度—不，大，于12？℃控制？排气中的气态V【OCs浓度冷凝【器后设置的除雾器】主要是用来将气【体中的冷凝液滴去除！冷凝液应排放至指定！的安：全容：器内： ：