7．3【  处理《系统 》 7．【3．1？  ：一，般半导？体及光？电产业的挥》发性：有机物废气排放【浓度为1《00：mg/m3～10】00mg/》m3（？甲烷计）属低度至中！度浓度范围但排风】量通：常很大？浓度在50》mg/m3（—甲烷计？）以下挥发性有【机物废？气，已基本能满足目前大！气，排放标准的要求【。从技术经济的—角度除非是嗅—阈值极？低的物质否则—一般不？采，用热氧化的方—式因此建议采用【活性炭？吸附进行《一定程度的》减排浓度不高于10！00mg《/m3因浓》度较低采用直—接氧化或《蓄热氧化《需大量添《加辅：助燃料运行成本高】。因此一般采用转【。轮浓缩5倍～—15：倍一方面提高气体】浓度：。另一方面减少需氧化！。处理：的风：量热氧化工》艺包括热氧》化及热回收》系，。统、蓄热氧》化系统浓《度大于1《000mg/—m，3的气体采》用蓄热氧化的方式】进行直接处理一方】面因为蓄热》氧，化的热回收效率【。已达95％另一方】面可简化流程—较大程度的》节约系统的投资费用！热氧化工艺包括蓄热！氧化系统、催化氧化！系统、蓄热催化氧化！系统旋转蓄热—氧化是蓄热氧化【装置中热《回收效率和》焚烧效率均较好的装！置蓄热催化氧—化工艺则通过催化】剂在：较，低的：温度下进《行热氧化作用同时也！。具有很高的》蓄热换？热效率氮氧化物的生！成量相对较少但需要！使用催化剂 【 ， 7．3．2】  ：对，于低浓度挥发性【有机物废气的—一次性活性炭吸【附抛弃工《艺从经济性角度出发！。一般采？用投资最少的—固定床？工艺且通过接—触时间规定》确保一定的吸—附床层厚《度通：过，规定炭的吸附率质量！分数可确保》。炭具有？一定：的吸附能力颗—粒直径较大》。的活：性炭往往传质阻【力大且传质》区长度相对》较大不利于活性【炭的充分利用—因，此建议采用3m【。m以下的粒径—从工艺控制》的角度当活性炭被颗！粒物堵塞或含水【量过大时往往床层】压力会变大》因此可以通过安【装压差报警装置【作为监控活性炭床】吸附性能的》手段之一 ！     由于吸】附为放？热过程同《。时，活性炭含有的一些】金属及金属氧化物杂！质具：有，一定的催化》作用活性炭床在吸附！高浓度气《体、：吸附饱和或》外界高温《的情况下可能—会出现自《燃危险因此》活性炭吸附塔—。附近：需配备消防系统或放！置灭火器《    ！ 为避免频繁更换活！性炭吸？附剂其？填，充量更换周期一般不！低于3？个月 — 7？．，3．4  “—转轮：浓缩+热氧化”工】艺流程？如图1所《示“转？轮浓缩＋热氧化”】系统由转轮吸—附浓缩系统、热氧】化系统和自》动控制系统》等组成工艺排气【。在进入浓缩转轮【前，会分流？一定比例的废气通】入转：轮，冷却：区作冷却《之用其余的废气【进入吸附处理区经】吸附处理达标后可】直接经排《。气筒排至大气 【 》    采用工艺】排气作？为转轮冷却用气主】要是可以减少吸附】处理气体的》流量： —  ：  冷却转轮—并使转？轮恢复吸附功能的废！气，将进入换热器通【过与热氧《化炉膛？内抽出？来一定流量烟气换】热升：温至180℃～22！0℃后返回进—入，转轮的脱附区将吸】。。附浓缩在《转，轮上的VOCs【脱附出来形成高倍】浓缩的废《气气流；浓缩后的废！气再通过换热器加】热后进？入直燃式热氧—化器被？高温热裂解为二【氧化碳与《水的达标废气与【前述经吸附处理【区，的达标废气合并【。后由排气筒排放至大！气 — 》 ：    由于转轮本！身的特性《。其再生？温度需1《80℃以上才能较好！的完：成，脱，附工作？但脱附温度到300！℃以：上时可能会造成【部分挥发《性有机物《裂解焦化污》染堵塞吸附剂表【面引起系统性能下】降 —    《 目前挥发性—有机物排放》限值比？较严格的行业—或地区要求在50】mg/m3以—下，。浓，缩后气体在》热氧：化，系统处理《入口可达500【0mg/《m3以上因此—要求净化效率不【小于99％》在保证热氧化条件合！理的情况下99％的！热氧化效率是—完，全可以做《。到的 【  ：   由于氮氧化物！也是：目前我国纳入总【量，控制：。的污染物因此要求在！控，制挥发性有机—物污染？的，热氧化？过程中要《防止出现氮氧化物】的二次污染 【 ，     热回！收效率是指实—际，预热废气所利用热】量与最大需求热【量的百分比值计算公！式如下 ！  【   式中η热回】收，效率； ！       【 mo氧化装置排】出气体的《质，量流量？（kg/h）； 】  —       【mi待处理废气的质！量流量？（kg/h）； ！ ： ， ，   ？ ， ，   Tc》氧化装？置，燃，烧，室温度（《℃，）； 【        】 To氧化排气在热！回收系统《出口处的气体温度（！℃）；？    ！   ？ ， ，Ti：挥发：性，有机：物废气在热回收【系统进口《处的气体温度（【。℃） 】7．3．5  “】。转轮浓？缩＋蓄热氧化”工艺！流程如图2所—示“转轮《浓缩＋蓄热氧化”】系统由转轮吸附浓】缩，系统、蓄《。热热氧化系统和【自动控制系》统等组成《 ： 《 》     两塔式】蓄热：氧化设备在气流【方向切换时》存在泄？漏的可能性因—此，。对切换阀门的速度和！。密封性均要求较高从！确保热氧化效率的】角度推荐采用三塔】式或旋转式的工艺】布置方？。式 ：  — ，  从？技术经济的角度规】定了蓄？热氧化系统的蓄热效！。率要不小于》90％ 】     蓄热材】。料因湍？流换热的需要往【往阻力较大造成运】行电耗较高综合换】热和气流阻力的因】素要：求蓄热材料》压力损失要》不大于？350？0Pa 《 ？ ：    废气进出热！氧化炉由旋转阀【切换进行《旋转阀的漏气率不】应大于1％ ！  ？   与其》他类型的蓄热—氧化设备一样旋【装式：蓄热氧化设备要【设，。置过热状态时—热气体旁路》排放：控制系统以有—效控制炉膛过温问题！当炉膛温度》超过温度设定点【。时开启热气旁路【控制：风，门，。让炉体热量》不经过？蓄热床直接通过排】气筒排放至大气【从而有效降低和控制！炉，膛温度该设备能有】效，扩大氧化设备的进气！浓度的允许操—作范围同时》在，系统发生故障—时亦能有《效降：低炉温？ —7．3．《。6  催化氧化【一般在相对较低【的温度条件》。下完：成热氧化过程—催化剂？起着重要的作用规定！所选取催化》剂，的空：间速度一般》不小：于15000h【－1是要求选用一】些高性能的催化【剂避：免含硫、铅、砷等】易造成催化剂失活的！物质进？入系统造成催—化性：能的下降为防止发生！不完全氧化在工【艺中配备催化床预】热系统在确保—催化剂加《热到正？。常工作温《度区间后再通—。入待处理的挥发【。性有机？物废：。气 ： 》7，．3．7 》 蓄：热催：化氧化系统（RCO！系统）是将蓄—热，式热：交换器与《催化氧化炉的优势】结合起来的一—。种工艺与R》TO设备相同—先，通过陶瓷《蓄热材料《将待处理气体预热】然后将VOCs【在，300℃左右—的，。催化反应中转化成】。无害或少《害，的物质两塔式蓄【热，催化氧化《设备在气流》方向切换时存在【。泄漏：的可能性因此对切】换阀门的速度和【密封性？。均要求较高从确保热！。氧化效率的角度【推荐采？。用三塔式《或旋转？式的工艺《布，置方式 《 7—．3．8  —体积浓度＞1％沸】点＞15《0℃：。的剥离液挥发性有机！物废气一般采用冷凝！净化工艺《进行预处《理，常见的去《光阻剥离液》、去光？阻，工艺所涉及的挥发性！有机物？性能情况分别见表7！和表8 ！ ？ 】   ？。  冷凝《净化过程的出口浓度！主要取决于出—口气体？的冷：。凝温度因此》建议采用《5℃～8℃的—冷却水？通过合理换热面【积，的冷凝器确》保冷凝系统》的，最终排气温》度不大于12℃控制！排气中？的气态VOCs浓】度冷：凝器后设置的除雾器！主要是用来将气体】中的冷凝液》滴去除冷凝》液应排？放至：指，定，的安全容《器内 《