《8．：。4  其《他，特种尾？气处理系统 】。 》8．4．1  尾气！。处理：。设备的处理效率【和出口？浓度应符合》下列：规定  ！   1  —。设备的处理效率【不应低于99％； ！   【  2  处理后的！污染因子浓》度，宜在PC-TWA值！以下； 】     》3，  处理后》的，。燃烧爆炸性气体浓度！应在爆炸下限值【的25％以下 ！ ， 8．4》．2  外延设备】。的尾气处理设—备的设置应》符合下？列规定 】   ？ ， 1  外延—尾，气处理系统应单独】设置； — ，     —2  应按》防爆系统设置—； ： 《    《 ，3  不应就近设置！。在外延？。炉旁边和下》技术夹？层内；？   】 ，。 4  尾气处理设！备应设？置防护罩《 8【．，4．3  三—氟化硼（《B，F3）和三》氯化硼（BCl3】）宜采用等离—子和淋？洗两级处理》方式三氟化氯（【ClF3）宜采用热！氧化和淋洗两级处】。理方式三氯硅烷（】SiHCl》3）、？二氯硅烷（S—iH2？Cl2）《。宜采用等离子—式和淋洗两级处【理方式 — 8．》。。4．4 《 从真空《。泵至尾气处》理设：备入口之《间的：管道应？符合下列规》定  】  ：。 1  管道的材】质宜采用不锈—钢304《或316；》 》     》。2  当尾气—中含有？遇低温易析》出粉：尘的物质时管道【应采取？加热措施 》 8．4】．5  《。尾气处？。理设备出口之后的】管，道应采用防》腐、导？静，电的材？质 ？