8．4  ！其他特种尾气—处理系统《 ？ 8．【4．1  尾气【。处理设备的处理效】率和出？口浓度应符合下列】规定： 《 ，。  ：  ： 1  设》备的处理效率不应低！于9：9％； 》    【。 2  处理后的】污，染，因子浓度宜》在PC-《TWA值《以下：； 《   》 ， ，3 ： 处理后的燃烧爆炸！。。性气体浓度应在爆炸！下，限值的25％以下】 《 8．4．2【  外延设》备的尾气处理设【。备的设置应符合下】列规定 【     1 】 外延尾气处理【系统应？单独设置；》 ，   【  2  应按防爆！系统设置； 【     3！  不应就近设【置在：外延：炉旁：边和：下技术夹层》内； 》     4 ！ 尾：气，处理设？备应设置防护罩 ！ ， ： 8：．4．3  —三氟化硼（BF3】）和三氯《。化硼（BCl3）宜！采用等离子》。和，淋洗：两级处理方式三【氟化氯（C》lF3）宜采—用热氧化和淋洗两级！处理方式三氯硅烷（！SiHC《l3）？、，二氯硅烷《。（S：iH2Cl2）【宜采用等离子—式和淋洗两级处理】方式 》 8．4．4 ！ ，从真空泵至》尾气处理《设备入口之间的管】道应符合下》列规定 【     1【  管道的》材，质宜采用不锈钢3】04或？316？；  】   2  当【尾气中？含有遇低温易—析，。出粉尘的物》质时管道应采—取加热措施 】 8．4—．5  尾气处理设！备出口之后的管道】应采用防腐、导【静，电的材质 》。 ，