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8.4 其他】特种尾气处》理系统
《
《
8.4.【1 尾气处理设】备,的处理效率和出口】浓度:应符:合,下列规定
!
《 1 设》备的处理效率不应低!。于99%;
!
《 2? 处?理后的污《染因子浓度宜在【。PC-TW》A值以下;》。
— 3 【处理后?的燃烧?爆炸性气体浓度应】在爆炸?下,限值的25%以【下
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8.—4.:2 外延设—。备的尾气处理设【备的设?置应符合下列规【。定
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:
—1 外《延尾气处理系统应】单独:设置;
【
—2 ?应按防?爆系统设置;
】
】。3 不《应就近设置在外延】炉旁边和下技术夹】层内;
—
:
《 4 《尾气处理设备应设】置防护?罩
【8.4.3 三】氟化硼(BF3【),和三:氯化硼(BCl3】)宜采?用等离?子和淋洗两级—。处理方式三氟化【氯(ClF3)【宜采用热氧化和【淋洗两?级处理方式三氯硅烷!(SiHCl—3)、二氯硅烷【(SiH2》Cl2)宜》采用等离子式和【淋洗两级处》。理方:式
8】.4.?4 : 从真?空泵至尾气处理【设备入?口之间的《管道应符合下列规定!
:
:
1 !管道的材《质宜采用不锈钢3】04或316;【
— 2 当尾!气中含有遇低温易析!出粉尘?的物质时管道应采取!加热措施
【
8.4.【5, :尾气处理设备出【口之后的管》道应采用防腐、导】。静电的材《质
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