8．4  ！。其他：。特种尾气处理—系统 【 ？8．4．1  尾】气处理设备的处理效！率和：出口浓度应》符，合下列规定》 《     —1  设备的处理效！率不应低于99％；！ 》     2  处！理后的污染》因子浓度宜在PC-！TWA？值以下； —     】3  处理后的燃】烧爆：炸性气体浓度应在爆！炸下限值的25％以！下 ？。 《8．4．2 — 外延设备的—尾气处理设备—的设置？应符合下列规定 】  —   1《 ， 外延？尾气处理系》统应单独设置—； 《     2 ！ 应按防爆》系统设置； 】 ： ，    3  不】应就近设《置在：。外延炉旁《边和下技术夹层【内； 《   —  4 《 尾气处《理设：备应设？置防护罩 【 8《．4．3《  三氟化硼（BF！3）和三氯化硼【（BCl3）宜采】用等离子《和淋洗两级处理方】式，三氟化氯（Cl【F3：）宜采用《热氧化？和淋洗两级处—。理方：式三氯硅烷（Si】HCl3）、—二氯：硅烷（SiH2Cl！。2）宜采用等离子】。式和淋洗两级处理方！式 8】．4．4《 ， 从真空泵至尾气处！理设：备入口之间的—管道应符《合下：列规：定  】   1 》 ，管道：的材质宜采》用不：锈钢304或3【16；？ ？。。 ，     2【  当尾气中—含有遇低温易析出】粉尘的物质时管【道，应采取加热措施【 8【．，4．：5 ： 尾气处理设备出口！之后的？管道应采用》防，腐、：导静电的材质 【 ，