？ 8．4  其他】特种尾气处》理系统 《 《 8．4．【1  尾气处理设】备，的处理效率和出口】浓度：应符：合，下列规定 ！    《 1  设》备的处理效率不应低！。于99％； ！   《  2？  处？理后的污《染因子浓度宜在【。PC-TW》A值以下；》。 —    3  【处理后？的燃烧？爆炸性气体浓度应】在爆炸？下，限值的25％以【下 ？ 8．—4．：2  外延设—。备的尾气处理设【备的设？置应符合下列规【。定 ？ ：     —1  外《延尾气处理系统应】单独：设置； 【     —2  ？应按防？爆系统设置； 】     】。3  不《应就近设置在外延】炉旁边和下技术夹】层内； — ：    《 4  《尾气处理设备应设】置防护？罩 【8．4．3  三】氟化硼（BF3【），和三：氯化硼（BCl3】）宜采？用等离？子和淋洗两级—。处理方式三氟化【氯（ClF3）【宜采用热氧化和【淋洗两？级处理方式三氯硅烷！（SiHCl—3）、二氯硅烷【（SiH2》Cl2）宜》采用等离子式和【淋洗两级处》。理方：式 8】．4．？4 ： 从真？空泵至尾气处理【设备入？口之间的《管道应符合下列规定！ ： ：     1  ！管道的材《质宜采用不锈钢3】04或316；【 —    2  当尾！气中含有遇低温易析！出粉尘？的物质时管道应采取！加热措施 【 8．4．【5，  ：尾气处理设备出【口之后的管》道应采用防腐、导】。静电的材《质 ？