8．4 】 其他？特种尾？气处理系《统 《 8．【4．1  尾—气处理设备的处理】效率：和出口浓度应符【合下列规定 — 《     1  】设备的处《理效率不应低于99！％；  ！ ，。  2？ ， 处：理后的污染因子浓度！宜在PC-》TWA值以下—；， 《  ？   ？3  处理》后的燃烧爆炸性【气体浓度应在—爆炸下限值的—25％？以下 ？。 8—．4．2《  外延设备—的尾气？处理设备的》。设置应符《合下列规定》 ， ： ？  ：。  1 《。 外延尾气处理【系统：应单独？设，置； 《     】2  应按防爆【系统设置； — ：     3 ！ 不应就《近设：置在外？延炉旁边《。和下技术夹层内； ！。 》    《4 ： 尾气处理》设备应设《置防护罩 — 8．4．】。3  三氟化硼【（BF3《）和三氯《化硼（B《Cl3）宜采用等】离，子和：淋洗两级处理方式三！氟化氯（《。ClF？3）宜？采，用热氧化和淋洗两级！处理：方式三氯硅烷（Si！HCl3）、二【氯硅烷（《SiH？。2Cl2）宜采用】等，。。离子：式和：淋洗两级处理方【式 — ，8．4．4》  ：从真空泵至尾—气处理设备》入，口之间的管道—应符合下《列规定？ ： ？     1  】管，道的：材质宜采用不锈钢】304或《316； 【    — 2  当尾气中含！有遇低温易》析，出粉尘？的物质时管道应采】。取加：热措施 【 ：8．4．5》  尾？气处理？设，备出口之后》的管道？应采用防腐、—导静电的材质 】