8．4 】。 其：他特种尾气》处，理，系，统 《 ？。 8．4》．1  尾气处理设！备的处理效率和【出口浓度应符合下】列规定 —     【1  设备的处理】效率不？应低于99％； ！ ，     2】 ， 处理后的污染因】子，浓度宜在PC-TW！A值以下； ！。     —3  处理后—的燃烧爆炸性气体】浓度应在爆》。炸下限值的25【％以下 ！8．4．2  外】延设：备的：尾气：处，理，设备的设置应符【合下列？规定：   】  1？  外延尾气处理】系，统应单？。独设置； 》 《     》2  应按防爆系统！设置：； —     3— ，。 不应就近设—置在：。外延炉旁边》和下技术夹层内【； 《  《   4《 ， 尾气处理设备应】。设置防？护罩 》 8．》4，．3  三氟化硼】（BF3《）和三氯《化硼（BCl3）宜！采用等离子和淋洗两！级处理方式三氟化】氯，（ClF3）宜【采用热氧化和—淋洗两级处》理，方式三氯《硅烷（SiHCl3！），、二氯硅《烷（S？i，H，2，Cl2）宜采—用等离子式和淋洗两！。级，处理方式 》 8．4】．4 ？ 从真空泵至尾气】处理设备入口—之间的？管道应？符合下列规定—。    ！ 1 ？ ，管道的材质宜采用】不，锈钢304或3【16：；， 《   《  2？  当尾气中含有遇！低温易析出粉—。尘的物质时》管道：应采取加热措施【 《 8．4．5 】 尾：气处理？设备出口之后的管】道应：采用防腐、导静【电的：材质 《