8．4 】 其他特种尾气处理！。系统 ！ 8．4．1—  尾气《处理设备的处理效率！和，出口：浓度：应符合下《列规定 》   —  ：1，  设备的》处理效率不应—低于99％； ！     2 ！ 处理后的污—染因子浓度宜—在P：C-TWA值—以下；？   】  3  处理【后的燃烧爆炸性气体！浓度：。应在：爆炸下限值的25％！以下 】8．4．《2  ？外延设备的》。尾气处？理，设备：的设置应符合下列规！定 ：。   【  1  外—延尾气处理系统【。应单独设置； 】    【 2  应按防爆系！。统，设置； — ，     3【  不应就近设【置在外延炉旁—边和：下技术夹层内；【 ，    】 4  《尾气处理设备—应，设置防护罩 ！ ：8．4．3 — ，三氟：化硼（BF3）【和，三，氯化硼（B》Cl3）宜采—。用等离？子和淋洗两级—处理方式《。三氟化氯（》ClF3）宜采用】热氧化和淋洗两级处！理，方式：三氯硅烷（SiHC！l，3）、？二氯硅烷（Si【H2Cl2）—宜采用等离》子式和淋洗两级处】理方式 【 8．4．—4  从真空泵至尾！气处理设《备入口之《间的管道应》符合下列规定 ！     【1  管《道，的材质宜采用不锈】钢304或3—。16； 】     2  】当尾气中含》。。有遇低？温，易析：出粉：尘的：物质时？管道应采取加热措施！ ： 《8．：4．5  尾气处】理设备出口之后的】管道应采用防腐、】导静电的《材质 《