？ 8．4  其他特！种尾气处理系—统 — 8．4—．1：  尾？气处理设备》的处理效率和出口】浓度应符《合下列规定 【 ：     1  ！设备的处理效—率不应低于》9，9％； ！    2》 ， ，。处理后的污染因子】浓度宜在PC-【T，WA值以下；— ， ？    》 3  《处理后的燃烧—爆炸性气《体浓度应在爆—炸下限值的25％以！下 — 8．？4．2  外延设】备的尾气处理—。设备：的设置应符合下【列规定 】     》1 ： ，外延尾气处理系统应！单独：设置：； —    《 2  应按防爆系！统设置； 【     3】  不？应，就近设置在》外延炉旁边》和下：技术夹层内》。； 》     4 】 尾气处理设备应】设，置，防护罩 ！8，．4：．3 ？ 三氟？化硼（BF3）【和三氯化《硼（BCl3）宜】采用：等离子和《淋洗两？级处理方《式三氟化氯（—ClF3）宜—采用：热氧化和《淋洗两级处理方式三！氯硅烷（SiH【。Cl3）《、二氯硅烷（SiH！2Cl2）宜—采用：等离子式和淋洗【两，级处理方式 】 8．4—．，。4  从真空泵【至尾气处理设备入】口之间的管道应符合！下列规定《。 ，    】 1  管道的材质！宜采用不锈钢30】4或3？16； 【   《  2  当尾气】中含有遇低》温易析出粉尘的物质！时管道应采取加热】。措施 8！．4．5 》 尾：气处理设备》出口之后的管—道，应采用防腐、导【静电的材质 — ，