安全验证
3  基】本规定 》 3.0!.1  本条规定】了对:有害物的控制及【工艺设备的要—。求 《    —。 对于产《生有害?物质的工艺》生,产设备采用自动化、!密闭:。、隔离和《在负压下操》作的措施可以避免】直接操作《并改善工作人—员的工?作,条件 】   ? 对生?产过程?中,不可避免产生的【。有害:物质:。。在排放前进行净化】处理以?符合国家现》行标准大气》。污染物综《合,排放标准GB 16!2,。97等有关大气污】染物排放标准的【要求大气排放除执】行污染物最严—格,的,排放:浓度标准外还需【要符合?污染物?总量控制的要求 】 》3.0.2 — 电子?工程中依《废气:污染物种类通—常将工?艺废气划分为酸性废!。气、:。碱性废气、》挥,。发性有机物(VOC!s)废气、》特种废气、含尘废气!、焊锡烟《气、玻?璃窑炉?废气等通常情况【下,同,。类废气可以》合并不相《容的废气分开设【置排风系统 ! 3.0.—3  本条规定【了排风系统》的划分原则是强制性!条文必须严格—执,行 ?   — ,。 1  防止不同】种类和性质的有【害物质混合后引起】燃烧或爆炸事故 ! ,     2】  避免形成新的】毒性:、腐蚀性的混合【物或化合物》或,生成毒性、》腐蚀:性更:大的混合物或化合物!。对,人体造成《危害或腐蚀》设备及?管道如散发氰化物】的电镀槽与酸洗槽】散发的气体混合时生!成氢氰?酸毒害?更大 ?  —。   3  为防止!或减缓蒸汽在风管中!凝结聚积粉尘从【而增加?风管阻?力甚至堵塞风管影】响通风系统的—正常运行 》 《     4  】。避免极?毒和:剧毒物?质通过排风管—道,及风口窜入其他【。房间如将《放散砷?。烷、磷烷、》。乙硼烷、铅蒸气、汞!蒸,气和氰化物等极【毒和:。剧毒气体的排风【与其他房间》的排风设为》同一系统时当系统】停,止运行极毒和剧【毒气体?可能通过风管窜入】其他房间;极毒物】质是指车间空气中】有害:物质的?最高允许浓》度小于?0.1mg/—m3的?物质;?剧,毒,物质是指车》间,空气中有害物质的】最高允许浓》度小于?0.1mg/m3】~1m?。g/m3《的物质 !    5  避】免,燃烧爆炸性》气体通过排风—管道及风口窜—入其他房间 】 3.0.4 ! 规:定,此,条主要是《考虑节能当个别排风!点的需求压力较高】且又出?现在系统后三分之一!管路时势必使整【。个排风系统的需求】压力提高这是—不合理的最好分别】设置系统 — 3》.0.6  本条涉!及排风系统安—全、稳定运行—以及大气污染问题】    ! 1  一些电子工!厂洁:净厂房内使用各类品!种、一定数量的燃】烧爆炸性物质—通常在使用这些物】质的生产设备均设】有局部排风系统为此!要采取技术措施【防止这些物质—的排风系统对所【在厂房的安全造成】危害所以本》款规定为强制性【条,文,必须严格执行 !    — 2  电》子工:厂如芯片制》造生产设备的—局部排风系》统中有毒有害物【质主要有酸》碱类氢?氟酸(HF》)、:盐酸(?H,Cl)、硫(H2S!。O4)、硝酸(【HNO3)、氨(N!H3)等;有机类异!丙醇(IPA)、三!氯,甲烷(?CHCl3)、六】。。甲基二?硅,胺,(HM?DS)、丙酮等;特!种,气,体砷烷(A》sH3?)、硅烷(SiH4!)、磷烷(PH3)!。、硼烷(B2—H6)?、三:氟化氮(NF—3):、六氟?化钨:(WF?6)、三氯》氢硅(SiH—Cl3)、》四氟化碳(CF【4)、六氟化—。硫(SF6)—、一氧化二氮(【N,2O)等这些物质大!部分对人类生—存环境具有巨大的】危害性因《此,要求:需根据国《家和地区《污染物?排放标准进》行净:化处理 《 3—。.0:。。.,7  本条》规定了燃烧爆—炸性:危险物质的排风系统!。风量确定原》则是为了保证安【全 《 3.0.【8  本条规—定了采用《防爆型废气处理【系统设备的条件为强!制性条文必》须严格?执行 《 ?   ?。  直接布》置在有爆《炸,危险场所中的废气】处理:系统设备用于排除】、输送或处理甲、】。乙类物质的废气处】理系统设备以及排】除、输送或》处理含?有燃烧或爆炸—危险的粉尘》、纤维物质其含尘浓!。。度高于或等于其爆】。炸下限的25—%时或?含甲、乙类物质【的浓度高于或等【于其爆炸下》限值的10%时【。由于设备内或—外的空气中》均含有燃烧或爆【炸,危险:性物质遇火花即【可能引起燃烧或爆】炸事故为此规定其废!气处理系统》的设备要采用—防爆型 《 3.0】。。.,9  本条》规定了废气处理系统!的设备、风》管,和配件?的防静电接地要【求,。 《 :    当》静电:积聚到一定程度【时就会产生静电【放电即产生静电火】花使可燃或爆炸【危险物质有引—。起燃:烧或:爆炸:的可能?因此做了如条—文中的有关规—定  】   法《兰跨接系指风管【。法兰:连接时法兰间—密封:垫或法兰螺栓垫圈】。常常采用《橡胶材料故两法兰】之间需用金属线【跨,接 ? ? 3:.0.1《0  本条》规定了?排风风管布置原则】为强制性条文—必须严格《执,行 :  —   有爆炸危险】的厂房、车间发【生事故后火灾容易】通过排风管道蔓【延扩大到建筑的【其他部位因此其排风!管道:严禁:穿过防火墙和有爆炸!危险:的车间隔墙 !。。 3.0.1【1  规定本条【。的目的是为了使【排风:系统:中含有的有毒有害物!。质以及局部排—风系:统中排出的有—。较高浓度的爆炸危】险性物质得以—在大气中扩散稀释以!免降落到建筑物的】空气动力阴影区和正!压区内?污染周?围空气或《导致向?车间内?倒流  !   “《建,筑物:的空气动力》阴影区”指室—外大气气流》撞,击,在建筑物《的迎:风面上?形成的弯曲现象【及由此而导致—屋顶和背风面等处】由于静压减小而形成!的负:压区;“正压区”】指建:筑物迎风面上—由于:气流的撞击》作,用而使静压高于【大气压力的区域一般!情况:下只:有当它和《风向的夹角大于30!℃时才会发生静压增!大即形成正》压区 》 3.0—.12 《 本条规定了通【风系统排除》凝结水的措施—。  【   ?排除潮湿气》体或含水《蒸,气,的排风系统风管内】表面有时《会因其温度低于露点!温度而?产生凝结水为了防止!。系,统内凝结《液腐:蚀或堵塞设备及【风,管影响?排风:系统的?正常:运行:条文中?。规定:水,平敷设的风管要有一!定的坡度并在—风管的低点设置【观察检?修口在风管的最低】点和通?风机:的底:。部设置排除凝结液装!置,对于酸、碱、挥发】性有机物《和特种废气系统产生!的冷凝液需排至相应!的废水管网》中进行?再处理为了防止由】于排风管路》水密性不好而发生】排风管路中的冷【。凝液渗?漏事故所以规定排风!管路:系统要有《防渗漏?措施: 3【.0.13》  本条规定了填料!洗涤式废《气,处理设备的设置原则! : ,    — 1  规》定断面风速》是为了保证废—气与洗涤液有充分】的接触时间从而保证!处理效率《 :   —  :2  填料洗涤式废!气处:理设备的《填料厚度对处理【效率起到至关重要的!作用填料《厚度与断面》风速、?喷淋循环《液流量、待处理污】染因子?、填料形式等有关】。需根据?。。厂家提供《的公式计算》。或曲线查取 —  —   3 》 喷淋液循环量【是保证处理效率【又一重要因素规定】第1项是为了保【证废气?与吸收液进行充分的!。质交换;规定第2】项是为了确保—填,料充分?。润湿这里的》。填料面积指正对【。喷淋方向填》料横断面《面积对于目前工程中!常用的逆向流、交】叉流填料洗》涤式废气《处理设备通常指【填料水平断面面积】 》 ,    4》  规定此款是【为了保证《被处理废气与吸收】液,有足够的接触时间从!而保证处理效—率 ?  》   6、7—  这两款规定是】为了:防,止废气处理》设备发?生冻结 》 , :     》。8  有些工程中】填料洗涤式处理设备!补充:水采用?纯水制备系统的反渗!透浓水结果纯—水制备系统的反【渗透浓水中的钙离】。子大:。。量,结积:在填料?和除:雾器上造《成堵塞另外酸废【气洗涤塔是以循环液!的导电?率来确?定,是否排水《所,以以:含盐量?较高:的纯水?制备系统《的反渗透浓水作为补!水也:是不适宜的》如果酸?废气洗涤《塔内:补充再生水再—生水中残留》。的氨将与酸废气中】氟和氯离《子生:成不易捕集的氟化】铵和氯?化铵:同样理由再生—水也不适宜作为碱】。废气洗涤塔的补水所!以填:。。料洗涤式《处理:设,备的补充水一—般为自来水 【 3》.,0,.14  本—条规定?了压入?式、吸?。。入式、吹《吸式废气处理—系统的采用原—则   !  当排风中含【有酸性、碱性、【特种等?有毒有害污染因子】时如采用《压,入式废气处》理系统一方面排【风,机处于高《浓度污染《因子区?易被腐?。蚀;另一《方面风机出口与废气!处理设备间处于高】正压如?风管:系统密封不好或【软接头破损》。部分未经《处理的废气将会直接!排入:大,气污染环境对于排】风中含有挥》发性有?机物:的,废,气处理?系统综合考虑处理效!率、系统泄》漏等因?素采用吹吸式废【气处理系统》使转轮浓缩机与【。上,游气流风机出口间处!于微负压《或微正压是较—合理的选择 【 ? 3.0.15  !规定此?条主要是为了符合】节,能,要,求处理设《备的压力损失指单】级填料或《单级吸附材料—的压:力损失且《为运行压力损—失本规?定不:适合蓄热氧化设备 ! 《 3.0.16 】 本:条是:针对以往废气处理系!统因设置《旁路会经常》出,现排:放超标?和短路运行》的,现象提出的要—求 — 3.0.1—7  本条为强制】性,条文必须严格执行 ! ,  》   1  —为了:。。避免含有燃烧爆【炸性、毒《性物质的排》气管路向沿程或路】。由区:域泄漏形成安全事故!的发生?本款规定此类排【气,管路内压《力要低于路》由区域?内的压力即》保持一?定的负压值》  【   在美国消【防协会的NFPA】318洁净室消防】标准中的3》.2:.3:条规定含有危险【。化学品的《废气:应经由保持相—对于:建筑内正常使用【区域负?压的:风管系统传输但风】机、:洗涤塔和《处理装置的》下游除外 】     2【。、3、4  这三款!规定是?为了:提高排风《系统和废《气,处,理系统的《运行可靠性防—止因设备故》障或停电等》原因使燃烧爆炸【性、有毒物质未及】时排走?或,未得到有效》处理而发生》事,故或污染环境 【 3.【0.18  —本条是关于废气处理!系统:排,气筒的设计要求 !     】排气:筒的高度不仅要【符,。合国家及地方环境】保护的相关规定【而且还要注意符合本!项目环境影响报【告书的相关要求实际!工程情况表》明往往?后者规定的排气筒】高度远大于前者的】要求 —     第2~!4款规定主要考虑有!毒有害物质虽—。然经废气处理—系统进行了处理并达!到了排放标》准但不等于无害为】了避免该废气—未经充分扩散、【稀释而降落地面被人!员吸入?。所以规定了最低的排!气筒高?度及较高的排放速度!;,。同样的理《由规定了第7—款排气简要远离新风!吸入口废《气处理?系统总体设》计时需考虑此因【素  】   第5款规定】是,为了方便《环保监测人员—测试:废气处理效果及【废气排?放,情况 】3.0.19 【 本条?是,废气处理系》。统风管?的规定?。 ? ,    》 风管的防腐—。性能应?与所接触的腐蚀性介!质相适?应实:际工程?中如:废气中含有HF【当采用普通》玻璃钢风管》。时其骨?架材料玻璃丝布【就,不能抵御《HF的腐《蚀系统运行不久就得!更换另外《即使:同为玻璃钢但不同的!树脂对各种酸性介质!。的抗腐蚀性能—也是不一样的—    ! 经调研《发现近几《年集:成电路前工》序工厂?和平板显示类工厂相!继发生?的几:次火:灾起因基本与工【艺生产有关但多【数情况火《势是:沿着非不燃材料的排!风管道?。扩散、?蔓延引?起,更大:范围内发生火灾造】成巨额财产损失且】有几起火灾甚至造】成部分电子产品供应!中断引发市场价格】发,生波动所以规定集成!电路前工序工厂和平!板显示类工》厂的排风管要—采用不燃材料制作 ! 3.【0.2?1  本《条规定了风管及【配件的绝热措施 】     !1,  :户外安装的》废气处理系统风【管,及配件当《输送的?废气中含有遇—。冷形成凝结物—堵塞或腐《蚀风管的物质如苯】蒸汽、硼蒸汽等将】影响废气处》理系统的正常—工作 《 ? ,    2 — 当除尘风管—内表面?结露时粉尘将—会,。沉积并堵《塞管道 —    — 3  高温风【管如不采取绝热措施!有,烫伤人体的危险 】 : 3《.,0,.,22  洁》净室(区)》内的排风管如直【接采用产《尘的绝热《材料:一方面在施工过程】中保温材《料的纤维《。会在空气中飞—。扬难以?清除:另一方面有些排风系!统的管?道,在运:行过程中难》免需要增《。设接口或拆》开检:修等工作《从而对洁净空气造】成污染影响室—内洁净度等级且【缩短送风末端过滤器!的使用寿命 】 : 3.0《.23  规定【此条主?要是考虑《节能 】3.0.24  】排风机并《联工:作,比,较复杂尤其是对具】有峰值特性的—不稳定区在多—台排风?。机并联工作》时易受到《扰动而恶化其—工,作性能;《因,此,设计时要慎》重对待否则不—但,。达不:到预:期目的还会》无谓地增加能量消】耗为简化《设计和便于运行管理!条文中规定在—排,风机联合工作—的情况下要尽量选】用相同型号、—相同性能的排风机】并联当?排,风机并联安装时要根!据排风机和系统的】风,管特性曲《线确定联合工—况下的?风量和风压另外通】风机并联工作时设置!是否合理《也是:至,。关重要的实际工【程中经?常,出现:由,于并联运行的—风机台?数过多或布置不当】实测结果经》常,达不到预期的—总风量? —3.0.25  规!。定本条是《为了防止防火—阀,的误动作而造成排】风系统的失效—从而引?。发安全和生》产的:。事,。故另外即使发生【火灾:时也不?要将此类排风系统】停止运?行因为一方面—排风系统《可,兼作:。排烟功能《另一方面一旦停【。止运行工《艺生产设备》将向车间内散—发比烟气毒性更【大的:有害物质为了达【到上述要求设计【人员要在前期—方案设?计时合理《规划:并与相?关专业密《切配合尽量》避免风管穿越防【火分区墙 【 3.0.2】6  规定本条是避!免,。频繁更换吸附—剂并减少更换—吸附剂对生产—的,影响所?以吸附?剂填料量要满—足其:更换周期不短于3】个月的要求 【 《3.:0.28《  废气处理系统】的,风机、处理设备【等产生的《噪声影响主要有【两个方面一方面是影!响室内?环境要?尽量用风《管、弯?头和三通等部件【以,及房间的《自然衰减降低或消】除,当仅靠自然衰—减不能?满足室内《噪,声要求?时则需在风机—吸入段?的排风管路系统中】设置消声装置或采取!其他消声《措施如采《用管式消声器等另一!。方面是室《外环境当仅靠自然】衰减不能满足—。厂界和厂区噪声要求!时则要在风机压出】段的排风管路—系统中?设置消声装置必要时!需对风?。机设置隔声罩 ! 3.0.2】9  电子工—业,生产:过程大部分为精密】加工对微振通常有较!严格的要求废气处】理系统中《的风机、水》泵等在运行》时会产生《较强:烈的:振动如不予以妥善处!理将会对工艺生【产产生不《利影响?所以需采取隔振措】施另外对有微振要求!的电子?。工厂:排风管道也是一个不!可忽视的振动—源当排风管道布【置于有微振要求【的,区域内或附》近时:也需采取隔振措【施如采用减振支【。、吊架风《管,下设置隔振》。垫等: 》。 3.0《.30  》排风支干管》设置风量调》节阀是便于各支干管!风量的?调节排?风总管设置测定【。孔,是,。。便于风?量、风压、有害【物浓度等的测试对于!系统较大、》排风支干管较多【的废气处理》系统每个《支,干管末端设置微【压计:是,利于系统风量和压】力平衡以及二次配】管的实?施 【。3.0.《31  考虑风【管的:气流特性、强度【、材料消耗等因【素风管截《面采用圆形是最【为合理的但》考虑到风管安装【。所占:用的空间《某种情况下采用矩形!风,管也是一《个,不错的选择而酸【性、碱性和特—种废气系统的—排风管通常有凝【结液:产生所以风管截面需!为圆:形以利于凝结—液,的收集、排除 ! 3.0—.32?  本?条是关于选择废【气,。处理设备的》要求 —     —1  ?在工业通风系统运行!过程:中由于?风管和设备的漏风会!导致排风口处的风量!达不到?设计值甚至会导致】室内有害物浓度【达不:。到,设计和卫生标—准的要求为了弥补】。。系,统漏风可能产—。生的不利影响选【择末端处《理设备时《需根据系统》的类别(低压—、中压或高压系【统)、风管内的【工作压力《、,。设备布置情况以及】系统:特点等因素附加系】统的:漏风量 》。 ,   》  2?  考虑流量分【配不均匀性等因【素循环泵的流量要在!。系统需求流》量的基?。础上附加10% 】。 》  :  3  规—定此款是为了提高废!气处理?系统的运行》效率保证车间内工艺!设,备排风口的排风量以!及废气?处理系统的》运行安全 》 ,  》 ,  4  规定此】款是为了确保废气】。处理:设备在工作压力下】。运行时不会发生【由于强度问题而变】形另外废气》处理系统在运行过】程中也会发生压力波!动的:情况为确保系统安】全运行所《以考虑了一定的安全!系,数 — 3.0.33  !本条是关于选择【排风机应考虑的因素!及要求 !   ? 1、2  选择风!机的基本特性要求 ! ?  ?   3《 , 工艺设备一般【要求排风口处满足一!定的负压要求如【某些设备酸排—风要:求为-500P【a排:风机风压需包括【此部分?的压力 】     4  规!定本款是考虑系统阻!力计算的不精确【性系统?。计,算工况?与实:。际工程施工后—。的,工况间的差异以及选!用的风机性》能与实?际安装的风》机性:能间的差《异等因素 】 ,     5  当!系统的设计》风量和计算阻—力确定以后》选,择通风机时需—。考虑:的主要问题之一是通!风,机,的,效率在满足给定的】风量和风压要求【。的条件下通风机【在,最高效率点》工作时?其轴功率最小在具】体选用中由》。于通风?机的规格所限不【可,能在任何情》况下都能保证通风机!在,最高:效率点工作因—此条文中《规定通风机的设计】工况效率不要低于】最高:效率的90%一般认!为在最高《效率的?9,0%:以上范围《。。内均:属于通风机的高效】率区根据我》国目前通风机的生】产及供?应情:况做到这一》点是不难的 — 《 3.0.3—。。4  废气》处理设备的入口和】出,口设置采样口以便于!采样检测《 》 3.0.3—5  设置在线污】。染因:子监测装置可以【及时监?测和记?录系统排放情—况 ?