3  【基本规定 【 3—．0．1  本【条规定了对》有害物的控制—及工艺？设备的要求》 ， ？     对于】产生有害物质—的工艺生产设备采】用自动化、》密闭：、隔离和在负压下操！作的措施可以避【免直接操作并改善工！作人员的工作—条件：。   】  对生产过—程中不可避免产【生的有害物质—在排放？前进行净《化处理以符合国家】现行标准大气污染】物综：合排放标《准G：B 1？。6297等有—关，大气污？染物排放标准—的要求大气排放【除执行？污染物？最严格的排放浓【度标准外《还需要符合污染物】。。总，。量控制的要》求 《。 3．0．2】  ：电子工？程中依废气污染物】种类通常将工艺废气！划，分为酸性废气、碱】。性废：气、：挥发性有《机物（VOCs【）废气、特种废气、！含尘废气、焊锡烟】气、玻璃窑炉—废气：等通常情况下同类】废气可以合并不相】。容的废气分开—设，置排：风系统？ 3．0！．3：  本条《规定了排风系统【的划分原则是强【制性条文必须—严格：执行 ？ ？  ？ ，  1  》。。防，止不同种类和—。性质的有害》物质混合后》引起燃烧《或，爆炸事故 】。   《  2  避免形成！新的毒性《、腐蚀性的混合物】或化合？物，或生成毒《性、腐蚀性更大的】混合物或化合物对人！体造成危害或—腐蚀设备及管道如散！发氰化？物的电镀槽与—酸洗槽散《发的气？。体混合时《生成氢氰酸毒害更大！   】。  3？  为防止或减缓】蒸汽在？风管中凝结》聚积：粉尘从而增加—风，管阻力甚至堵塞风管！。影响通风系》统的正常运行 【 ， ， ，。     4 】 避免？极毒和剧毒物质通】过排风管道及风口窜！入，其他房间如将放散】砷烷、磷烷》、乙：硼烷、铅蒸气、汞】蒸，气和氰化物等—极毒和剧毒》气体：的排风与其他房【间的排风《。设为同一系》统时：当系统停止运行【极毒和剧毒气体【可能通过风管—窜入其他房间—；极毒物质是指车】间空气中有》害物质的最高允【许浓度小于0．1m！g/m3的》物质；剧毒物质【是指车？间空气中有害物质的！最高允许浓度小【于0：．1mg《/m3～《1mg/m》3的物质 【    —。 5  避免—燃烧：爆炸性气体通过【排风管道及》风口窜入其》他房间 《 3—。．0．4  规定此！条主：要是考虑节能—当个别排风》点，的需求压力较高且又！出现在？系统后三《分之一？管，路时势必《使整：个，排风：系统的？需求压力提高这是】不合理的最好分别】设置系统 】 3？．0．？6，  本条涉及排【风，系统安全、稳定【运行以？及大气污《染问题 —   》  1  一些电子！。工，厂洁净？厂房内使用各类品种！、一定数量的—。燃烧：。爆炸性物质通常【在使用这些物质的】生产设备均设有局】部排风系统为此要采！取技术措施防止这些！。物质的？排风：系统对所《在厂房的安全造成】危害所以《本款规定为强制性】条文必须严格执行 ！   【  2  电—子，工厂：如芯片制造生产设备！的，。局部排风系统中有毒！有，害物质主要有—酸碱类？氢氟酸（HF）【、盐酸（H》Cl）？。、，硫（H？2SO4）》、，。硝酸（HNO3【），。、氨（NH》3）等；《有，机类异丙醇（—IPA）、三氯【甲烷（C《HCl3）、六甲基！二硅胺（HM—D，S）、丙酮等—。；特种？气体砷烷《（A：sH3）、硅—烷（SiH4）【、磷烷（PH3）】、，硼，烷（B2H》6，）、三氟化》氮，（NF3《）、六氟化钨（【WF6？），。、三氯？氢硅：（SiHCl3【），、四氟化碳（—CF4）、六—氟化硫（S》F6）、一氧化二】氮（N2O）等【这些物质大》部分：对人类生《存环：。境，。具有巨大《。的危害性因》此要求需根据国家】和地区污染物排【放标准进行净化【处理 ？ 3．0】．7  本条—规定了燃烧》爆炸性危险物质的】。排风：系统风量确定—原则是为了保证安全！ 《 3？．0．8  本条】规定：了采用防爆型废气】处理系统设备的条件！为强制性条文必须】严格执行 【     直】接布置在有爆炸【危险场所中的废【。气处：理系统设备用于排】除、输送或处—理甲、？。乙类物？。质的废气处理系统设！备以及排除、输【送或处理含有燃【烧或：爆炸危？险的粉尘、》纤维物质其含尘浓度！高于或等于其爆炸】下限的25》。％时或含甲、乙【类物质的浓》度高于或等》。于其爆炸下》限值的10％时由】于，设备内？或外的空气中均【含有燃？烧，或爆炸危险性—物质遇？火花即可能引起【燃，烧或爆炸事故为此规！定其废气处理系【。。统的设备要采用防爆！型， 3【．0．9  —本条：规定了废气处理【系统：的设备、风管—和，配件的防静》电接地要求 【     当！。静电积？聚到一定程度—。时，就会：产生静电放电即产生！静电火花使可燃【。或爆炸危险》。物质有？。引起燃烧或爆炸的】可能因？此做了如《。条，文中的有《关规定 【     法兰】跨接系指风管法兰】连接时法兰》间密封垫或法兰螺栓！垫圈常常采用橡胶材！料故两法兰之间需】用金：属线跨？接 ？ ：。 3．0．1【。0  ？本，条规定？了排风风管布—置原则为强制—性条文必须严格执行！ —    有爆炸危】险的厂？房、车间发生事故后！火灾容？易，通过排风《管道蔓延扩大—到建筑的《其他部？位因此其排风管道】严禁穿过防》。。火墙和有爆炸危险的！车，间，隔墙 【 3．0．1—。1  ？规定本条的目的是为！了使排风系统—中含有？的有毒有害物质以】及局部排风》系统：中排：出的有较高浓—度的爆炸危险性【。物质得以在大气【中扩散？稀，释以免降落到建【筑物的空气动力阴影！区和正压《区内污染周围空气】或，导致向车间内倒流】 》 ，    “建筑物】的空气动力阴影区”！指室外大气》气流撞击在建—。筑物的迎风面—。上形：成的弯曲现象及由此！而导致屋顶和—。背风面等处由—于静压减小而—形成的负压区；【“，。正，压区”指建筑物迎】风面上由于气流的】撞击：。作用而使静压—高于大？。气压：力的区域一般情况】下只有？当它和风向的夹角大！于30℃时才—会发：生静压增大》即形成正压区 】 3》．0：。．12  本—条规定了通风系【统排：除凝结水的》措施 》 ：   ？  排除潮湿气【体或含水《蒸气的排风系—统风管内表面—有时会因其》温度低于露点温度而！产生凝结水为了防】止系统内《凝结液腐蚀或堵【塞设备？及风管影响排风系统！的正常？。运，行条文中规定—水平敷设《的风管？要，有一定？。的坡度并在风—管的低点设置—。观，察，检修口？在风管的最低点【和通风机的》底部：设置排除凝结液装】置对：于酸、？。碱、挥发性有机【物和特种废气系统】产生的冷凝液需排至！相应的废《水管网中进》行再处？理为了？防，止由：于排风管路》水，密性不好而发生排风！管路：中的：冷凝液渗漏事故所】。以规定？排风管路系统要有】防渗漏措《施， ， 3．【0，．13？  本条规》定了填料洗》涤，式废：气处：理，设备的设置原则 】。 》   ？ 1：  规？定断面风速是为【。了保证废气与洗涤】液有充分的接触时】间从而保证处理效率！   】  2？ ， 填料洗涤式废气处！理设：备的填料厚度对处理！效，率起到至关重要的】作用填料《厚度与断面风速、】。喷淋循环液流量、】待，处理污染因子、填】。料形式等有关需【根据厂家提》供的公式计算或曲】线查取 ！ ，。   3  喷淋】。液循环量是保—。证处理？效率又一重要因素规！定第1项是为了保证！废气与吸收》液进行？充分：。的质交换；规—定第：2项：是为了？。确保填料《充分润？湿这里的填料—。面积指正《对喷淋方向填料横】断面：面积对于目前工程】中常：用的逆向《流、交叉《流填：料洗涤式废》气，处，理设备通常指填料】水平断面面积—   】  4  规定此款！是为了？保证被处《理废气与吸收液有】足够的接触时间从】。而保：证处：理，效率 —     6、7！  ：这两款规定是为了防！止废气处理设—备发生冻结 【    【 ，8  有些》工程中？填，料洗涤式处理—。设备补充水采用【纯水制备系统的【反渗透浓水结果纯】水制备系统的反渗】透浓水中《的钙离子大量结【积在填料和除雾器上！造，。成堵：塞另外酸废气洗涤塔！是以循？环液：。的导电率来》确定是否排》水所以以《含盐量较高的—纯水制备系统的【反，渗透浓水作为—补水也是不适—宜的如果酸废气洗】。涤塔内补充》再生水再生水中【残留的氨将》与酸废气中氟和氯】。离子生成不易—捕集的氟化》铵和氯化《铵同：样理由再生水也不适！宜作为碱废》气洗涤塔的补水【。。所以填料洗》涤式处理《设备的？。补充水一般》为自来水 【 ： 3．0．》14  《本条规定了压—入式：、吸入式、》。吹吸式废气处理【系统的？采用原则 》 《。     当排风中！含有酸性、碱性【、特种？等有毒有害污染【因子：时，如，采用压入《式废气处理系—统一方面《。排风机？处于高浓《度污染因子区易被】腐蚀；另一》方面风机《。出口与？废气处理设备间处】于高正压如》风，管，系统密封不好或【软接头破损部分未经！处理的？废气将会直接排入】大气污染环》境对于排《风中含有挥发—性有机物的废气【处，理系统综合考虑【处理效率《、系统泄《漏等因素采用吹【吸式：废气处理系统—使转轮浓缩机与上】游气：流，风机出口间处于微负！压，。或微正压是较合【理的选择《 ， ， 《。3．0．15—  规定此条—。主要是为了符—合节能要求处理设】备的压力损失指单级！填料或单级吸附材】。料的压？力损失？且为运？行压力损失》本规定不适合—蓄热氧化设备 【 3．0】．16？  本？条是针对以往废气】处理系统因设置旁路！。会经：常出现排放超标【和短：。路运行的现象提【出的要求 —。。 3．0．1！7  本《条为：强制性条文必—须，严格执？。行， ，。 》    1》  为了避免含有燃！烧爆：炸性、？毒性物质《的排气管路向沿程或！路由区域泄》漏形：成安全？事，故的发生《本，款规：定此：类排气管《路内压力要低于路】由区域内的压力即】保持一？。定的负压值 ！ ：    在美国消】防协会的NFP【。A318洁净室消】防，标准中的3．2【．3条规《定含有？危险化学品的废【气应经由保持相【对于：建筑：内正常？使用区域《。。负压的风《管系统传输但风机】、，洗，涤塔和处《理装置的下游—除外 】    2》、3、？4  这三款规定是！为了提高《排风系统和废气【处理系统的》运，行可靠性防止因设】。备，故障或？停电等原因使—燃烧：爆，炸性、有《毒物：质，未，及时排走或未得到】有效处理而》发生事故《或污：染环境 】 3．0．18  ！本条是关于废气处】理系统？排气筒的设计要求】 ？   》  排气筒的高度不！仅要符合国家及地】方环境保护的相【关规：定而且还要注意符合！本项目环境》影响报告书》的相：关要：求实际工程情—况表明往往后者规】定的排气筒》高度远大于前者的要！求， ，     ！第2～4款规定【主要考虑有毒有害】物质虽然经废气处】理系统进行了处理并！达到了排放》标准但不等于无害为！了避免该废气未经充！分扩散、稀》。释而降？落地：面被人员《。吸入所以规定—了最低？的排气筒高度—及较高的排放速【度；：同，样的：理由规定了》第7款排《气简：要远离新风吸—入口废气处理系统】。总体设计时需考虑】此因素 《。。 》 ，   第5款—规定是为了方便环保！。监测人员测》。试废气？处理效果及废气排放！情况 3！．0．19  本】条，是，废气处理系》统风：。管，的规定 — ： ，    风管的【防腐性能应与—所接触的腐蚀性介质！相适应实际工程中如！废气中？含有：HF当采用》普，通，玻璃钢风管》。时其骨架材》料玻璃丝《。布就不能抵御HF】的，腐蚀系统运行不久】。就得更换另》外即使同为玻璃钢】但不同的树脂—对各种酸《性介质？的抗：腐蚀性能《也是不？一样的？  【   ？经调研发现近几年】集成电路前工序工】厂和：平，板显示类工厂相继发！生的：几次火灾起因基本】与工：艺生产有关但多【数情况火势》是沿着非不燃材料】的排风管道扩散、蔓！延引起更大范围内】发生：火灾造成《巨额财产损失且有】几起：火灾甚至造成—。部分电子产品—供，应中：断，引，发市场价《格发生波《动所以？规定集？成电路前工序—工厂和平《板显示类工厂的排风！管要采用不燃材料制！作 【3．0．21 【 本：条规定了风管及【配件的绝热措施 】 ？    》 1  户外安装】的废气处理系统风管！及配件当输送的废气！。中含有遇《冷形成凝结物堵【塞或腐蚀风管的物】质如苯蒸汽、硼蒸】汽，等将影响废气处理】系统的？正，常工作 — ：。  ：   2 》 当除尘风管—内，表面结露时粉尘【将会沉积并》堵塞管道 】    》 3  高》温风管？如不采取绝》热措施有烫伤人体】的危：。。险 【。3．0．22  洁！净，室，（区）内的排风【管如：直，接采用产尘的—绝热材？料一方面在》施工过程中保—温材：料的纤维《会在空？气中：飞扬：难以清除另一—方面有些排风—系统的管道》在运行过程中—。难免需要增设接【口或拆开检》修等工作从而对洁净！。空气造成《污染影？响室内洁净度等【级且缩短送风末端过！滤器的使用寿命 】 3—．0．23  【规，定，此条：主要：是考虑节能》 ， ？。 3．《。0．24  排【风，机并联工作比较复杂！尤其是对具》。有，。峰值：特性：的不稳定区》在多台排风》机并联？工作时易受到—扰动而？恶化其？工，作，性能：；因此设计时要慎】重对待否《则不但达不到预【期目的还会》无谓地增加能量消耗！为简化设计和便于】运，行管：。。理条文中规定在【排风机联合》工作：的情况下《要尽：量选用相同型号、相！同性能的排风机并联！当排风机《。并联安装《时要根？据，排风机和系统的【风管特性曲线—确定联合工》况，下，的风量和风压另【外通风机《并联工作时设置是否！合理也是至关重要】的实际？工程中经常出现由于！并，联，。运行的？风机：台数：。过多或布《置不当实测结果【经，常达不到预期的总风！量 》 3．0．2【5 ：。。 规定本条是为【了防止？防火阀的误动作而造！成，排风系统的失效【从而引发安全和生产！的事故另外即—使发生火灾时—也，不要将此类排风系统！停止运行因为一方】面排风系统可—兼作排？烟功能另一方面一】旦，停止：运行工艺《生产设备将》向，车间内？散发：比烟气毒性更—大的有害物质为【了，达到上述要求设计人！员要在前期方案设计！时合理规划》。并与相关专业密切】配，合尽量避免风管穿】越防火分区墙 】 ， 3．0—．26  规定【本条是避免频—繁更换吸附剂并减少！更换：吸，附剂：对生产的《影响所？以吸：附剂：填料量要《满足其更《。换周期不短于3个月！。的要求 — ， ，。 3．0．28【  废气处理系统】的，风机、处理》设备等产生的噪【声，影响主要有两个【方面一？方面是影响室—内环境要尽量用【风管、弯头和三通等！部，件以及房间的自然衰！减降低或消》除当仅靠自然—。衰减不能《满足室？内，噪声要求《时则需在风机吸入段！的排风管路系统中】设置消声装置或采】取其他消《声措施如采》用管式消声器等【另一方面是》室外环境当仅靠自然！衰减不能满足—。厂，。界和厂区噪声—要求时则要在风【机压出？段的排风管路系统】中设置消声装—。置，必，要时需对《风机设置隔声罩 】 3．0】．29  》电子：。工业生产《过程大部分为精密】加工对？微振通常有较严格】的要求废气》处理：系统中的风机、水泵！等在运行时会产【生，较强烈的振动如不予！。以妥善处理将—。会对工艺生产产生不！利影响所以》需采取隔振措施另】外对有微振要求【的电子工厂排—风管道也是》一个不可忽视的振动！源当排风管》道，布置：于有微振要求的区】域内或附《近时也需《采取：。隔振措施如采用减振！。。支、：吊，架风管下《设置隔？振垫等 【 3．0》．30  排风【支干管设《置风量调节阀是便于！。各支干管风量的调】节排风总管设—置测定孔《是便于风量、风压】、有害物浓度等的测！。试对：于系统较大》、排风支干管—较，多，。的废：气处理系统》每个：支干管末端设—置微压计是》利于系统《。。风量和压力平衡以】及二次配管的实【。施 3．！0．31  考【虑风管的《气流特性、强—度、材料消耗—等因素风管截面【采用：圆形是最为合理的但！考，虑到风管安装—所占用的空间某种】情况下采用矩—形风管也是》一个不错的选择而】酸性、碱性和特种废！气系统的排》风管通？常有凝结液产生所以！风管截面《需为圆？形以利于凝结液的收！集、排除 】 ：3．0．32  本！条是关于选择废气】。处，。理设备？的要求？   】  ：。1  在工业—通风系统运》。行过程中《由于风管《和设备的漏风—会导致排风口处的】风量达？不到：。设计值？甚至会？导致室内有害物浓】度达不到设计和【卫生标准的要求为】了弥补系统》漏风可能产生的不】利影响选择末—。端处理设《备时需根《据，。系统的类别》（低压、中》压或高压系统）【、风管内的》工作压力、设—备，布置情况以及—系统特点等因素【附加系统的漏风量】 —    2 — 考虑流量分配不】均匀性？等因素循环泵的流量！。要在系统需求流量的！基础上？附加10％ —     ！3  规定此—款是为了提高废【气处理系统的运行效！率保证车间》内工艺设备排风口的！排风量？以及废？气处理系统》的运行安《全 【    4  【规定此款是为了【确保废气处理—设备在工《作压力下《运行时不会》发生由于强度问题】而变形另外废—。气，处理：系统在运行过—程中也？会发生压《力波动的情况—为确：保系统安全运行所】以考虑了一》定的安全系数— 3【．0．33  【本条是关于选择【排风机应考虑的【因素及要《求 《 ？    1、—2  选择风机的基！本特性要求 【 ：  ？   3  —工，。艺，设备一般要求排风】口处满足一定的负压！要求如？某些设备酸排风要】求为－？5，00：Pa排？风机风压《需包括此部分的【。压力 《 《    4  规定！本款是考虑系—统阻力计《算的不精确性系统】计算工况与实际工】程施工后的工—况间的差异以及选用！。。的，。风，机性能与实际安装的！风机性能间的差异等！因素  ！   5  当系】统的设计风量和计】算阻力确定》以后选择《通风：机时需？考虑的主要问题【之一：是通风机的》效率在满足给—定的：风量和风压要—求的条件《下通风？机在最？高效率点工作时【其轴功？率最小在具体选用】中，。。由于通风机的规【格所限不《可能在任何情况【下都能保证》。通，风机在最高效率点】工作因此条文中规】定通风？机的设计工况效【率不要？低于：最高效？率的90《％一般认为》在，最高效率的9—0，％，以，上范围内《均属于通风机的高效！率区：根据我国目前—。通风机的生》产及供应情况—做到这一点是—不难的 《 3—．0：．34  废气处】理设备的入口和出口！设置采样口以便于】采，样检测？ 3【．0．35  设置！在线：污，染因子监测装置可以！及时监测《和，记录系统排放情况】 ：