， 3  基本规！。定 》 3》．0．1《 ， 本：条规：。定了对有害物的【控制及工艺设—备的要求 】 ， ，。    对于—。产生有？害物质的工艺生产】设备采用自动化、】密闭、隔离和在负压！下操作的措施可以】避免直接操作—并改善？工作：人员的工作条件 】 》。    对生—产过程中不可避免】产生的？。有害物？质在排放前进行【净化处理以符合国】家现行标准大气【污染物综合排放标准！GB： 16297等【有，关大气污染物—排放标准的要求【。大气排放除执—行污：染物最？严格：的排放浓度标准外】还需要符合污染【物总量控制的要【求， ？ ： ，3，。．0．？2 ： 电子？工程中依废气—污染物种类》通常：将工艺废气划—分为：酸性废气《、碱性废气》、挥发性有》机物（？VO：Cs：）废气、特种废【气、含尘废气、焊】锡烟气、玻》璃窑炉废气等—通，常情：况下同类废气可以】。合，并不相容的废气分】开设置排风》系统 【 3：．0．3  本条规！定了排风系统的【。划分原则是强制性】条，文必须严格》执行 】    《1  防止不同【种类和性质的有害物！质，混合后引起》燃烧或爆《炸，事故 【 ，    2 — 避免形成新的毒】性、腐蚀性的混合】物或化合物》或生成毒性》、腐蚀性更大的混合！物或化？合物对人体造成【危害或腐蚀》。设备及管道如散发氰！化，物的：。电镀槽与《酸，洗槽散发的气体【混合时生成氢氰酸毒！害更大 【    》 3 ？ 为防止或减缓【蒸汽在？风管中凝结聚积粉】尘从而？增加风管阻力甚【。至堵塞风管影响通】风系统的《正，常运行 — ，。     4  ！避免极毒《。和剧毒物质通—过排：风管道及风口窜【入其他房间如将放散！砷烷、？磷烷、？乙硼烷？、，铅蒸气、汞蒸—气和氰化物等极【毒，和剧毒气体的—排风与其他》。房间的排风设为【同一系统时》当系统？停止：运行极毒和剧毒气】体可能通过风管窜入！其他房间；》。极毒：物质是指车间空【气中有害物质的最】高允许浓《度小：于0．？1mg？/m3的物质；剧】。毒物质？是指车间空气—中有害物《质的最高《允许浓度小》于0：．1mg/m3【～，。1mg？/，m，3的物质 —   —  5 《 避免？燃烧爆炸《性气体？通，过排风管道及风【口窜入其他房间 】。 》3．0．《4  规定》。此条主要是考虑节能！。当个别排风点的需】。求压力较高且又出现！在系统后三分之一】管路时势必使整个】排风系统的需—求压力提高这是不】合理的最好分别设置！。系统 》 ： 3．？0．6  本—。条涉及排风系统【安全、稳定》运行以及《大气污染问题 ！   》 ， 1  《一，些电子工厂洁净厂】房内使用各类品种、！一定：。数量：的燃：烧，爆炸性物质通常在使！用这些物质的生产】设备均设有》局部排？风系统为此要—采取技？。术措施？防止：这些物？。质的排风系统对所】在厂房的《安全：造成危害所以本款规！定，为强制性条文必须】。严格执行 【 ？    2  电子！。工厂如芯片制—造生产设《备的局部排风系【统中有毒有害—物质主要有酸碱【类氢：氟酸（HF）、盐酸！（HCl）》、硫（H2SO【4）、？硝酸（HN》O3）、氨（NH】3，）等；有机类—异丙醇（IP—A）、三氯甲烷（C！。HCl3）、六【甲基二硅胺（H【MD：S，）、丙酮等》；特种气体》砷烷（？。AsH3）、硅烷（！SiH4）、磷烷（！PH3）、硼烷（】B2H6《）、三氟化氮（NF！3）、六氟》化钨（WF6）、三！氯氢：硅（SiHCl3）！、四：氟，化碳（CF》。4）、六氟》化硫（SF6）【、一氧？化二氮（N2O【）等这些物》质大部分对人—类生：存环境具有》巨，大的：危害性因此》要求需根据国家和】。地区污染物排放标准！进行净化处》理 — 3．0．7  本！。条规定了燃烧爆炸】性危险物《质的排风系统—风量确定原则是为】了保证？安，全， 3【．0．8  本【条规定了采用—防爆型废气处—理系：统设备的《条件为强制》性条文必《须严格执行 ！ ，     直接布置！在有爆炸危险场所】中的废气《。处理系统设备用于排！。除、输送《或处理甲、乙类【物质的废气处—理系统？设备以及排除—、输送或处理含有燃！烧或爆炸危险—的粉尘？、纤维物质》其含尘浓度高于或等！于，其爆：炸，下限的？25％时或含甲【、乙类物《质的：浓度高于或等—于其爆炸下限值【的10％时由于设备！内或外的空气—中均含有燃烧或爆炸！危险性物质遇火花】即可能引起燃烧或】爆炸事故为此规定其！废气处？。理系统的设备要【采用防爆型》 3．】0．9  》。本条规定了废气处理！系统的？设备：。、风管和配件—的防静电接地要求】 《     当静】电，积聚到？。一定：程度：时就：会产生？静电放电即产—生静电？火花使可燃》或爆炸危险》物质有引起燃烧【或爆：。炸的可能《因此做了《如条文中的有关规定！  【   ？法兰：跨接系指风管法兰】连接时法兰间密封】垫或法兰螺栓垫【圈常常采用橡—胶材料故《。两法兰？之间需用金属线【跨，接 【3．0．10 【 本条规《定，了排风风管布置原】则为强制性条文必】须严格？执行 】    有爆—炸危险的厂》房、车间发生事【故后火灾容易通过排！风管道蔓《延扩大？。到建筑？的其他部位因此【其排风管道严禁穿】过防火墙和有爆炸危！险的车间隔墙 】 3．0【。．11  规定本】条的目的《是，。为了：使排风系统》中含有的《有毒有害物质以【及局：部排风系统中排出】的有较高浓》度的爆炸《危险性物质得—以在大气中扩散【稀，释以免降落到—建筑物？的空：气，动力阴影区》和正压？区内：污染周围空》气或：导致向？车间内倒流》 —   ？ “建筑物的空【气动：力阴影区《”指室外大气气流撞！击在建？筑物的迎风面上【形成的弯曲现象及】由此而导致屋顶和背！风面等处由于静压减！小而形成的负压【区；“正压》区”指建筑物迎【风面上由《于气流的撞击作用】而使静？压高于大气压力的区！域一般情《。况下只有当它和【风向：的夹：角，大于30《℃时才会发生静【压增大即形成正【压，区 【3．0．12—  本条规定了通风！系统排除凝结水的】措施 【     排除【潮湿气体或含水蒸】。气的排风系统风管内！表面有时会因其温度！低于露？点温度而产生—。凝结水为了防止系统！内凝结液腐蚀或堵塞！设，备及风管影响—排风系统的》正常运行条文—中规定？水，平敷设的《风管要有一定的坡】度并在风管的—低点设置观察检修】口在风？管的最低点和通【风机的底《部，设置排除凝结—液装置对于酸、碱】、挥发性有机物【和特：种，废气系统产生的冷凝！液，。需，。排至相应的废水管】网中进行再处理为】了防止？由于排风管路水密】性不好而《发生排风管》路中的冷凝液渗漏】事故所以规定排风管！路系统要有防渗漏】措施 ？。 《 3．0．13 】。 本条？。规定了？填料洗涤式废气处】理设备？。的设置？原则  ！   1《  规定断面风速是！为了保？证，废气与洗涤液—有充分的《接触时间从而保证】处理效率 ！     2 【 ，填料洗涤式》废气处理设》备的填料厚度对【处理效率起》到至关重要的作用】填料厚度与》断面风速《。。、喷淋循《环液流量、待处理】污，。染因：子、填料形式等有关！需根据厂家提—供的公式计算或曲线！查，取 》  ？   3  喷【淋，液循环量是保证【处理效率又一重要因！素规定第《1项是？为了保证废》气与：吸收液进行充分的】质交换；《。规定第2项是为了】确保填料充》分润湿这里的填料面！积指正对喷淋方向填！料横断？面面积？对于目前工程中【常，用的逆向流、交【叉流填？料洗：涤式废气处理设备通！常指填料水平断面面！。积 ？     】4， ，。 规定此《款是为了保证被【处理废？气与吸？收液有足《够的接触《时间从而保证处【理效率 】。    《 6、7  这两款！规，定是：为了防止废气—处理设备《。发生冻结 》 ， ：     —8 ： ，。有些工程中填料【。洗涤式处《理，设备补充水采用【纯水制备系统的反】渗，透浓水结《果纯水制《备，系统的反渗透浓水】中的钙离子大量结积！在填料？和除雾器上》造成：堵塞另外酸》废气洗涤塔》是以循环液》的导电率来》确定是否排水所【以以含盐量较—高的纯水制备系统】的，。反渗透？浓水作为补》。水也是不适宜的如】果酸废气洗涤塔【内补充再生水再生】水中残留《的氨将与酸废气【中氟和？氯离子生成不易【捕集的氟化》铵和氯？化铵同样理由再生水！也不：适宜作为碱废气洗涤！塔的补水所以填料洗！涤式处理设备的补充！。水一般为《。自来水？ 3【。．0．14》  ：本条规定了》压入式、吸入式【、，吹吸式废气处理【系统的？采用原？则   ！  当排风中含有】酸性、碱《性、特种等有毒有】害污：染因子时如采用压】入式：废气处理系统—一方面排风机—处于高浓度污—。染因子区易》被腐蚀；另一—方面风机出口与废气！处理设备间处于高正！压如风管系统—密封：不好或软接》头破损部分未—经处理的废气将【会直接排入大—气污染？环，境对于排风中—含有挥发性有—机物的废《气处理系统》综合考虑处》理效：率，、系统？。泄漏等因素采用吹吸！式废气？处理系统使转—轮浓缩机与》上游气流风》机出口间《处于微负压或微【。正压是较合理—的选择？ 3．】0．1？5  ？规，定此条主《要是为了符》合节能？要求处理设备的压力！损失指单《级填料或单》级，吸附材料的压—力损失且为运—行压力损失本—规定不适合蓄—热氧化设备 【 ： 3．0．16】  本？条是针对以往废【气处理系《统因设置《旁路会？。经常出现排放—超标：和短：路运行？。的现象提出的要求】 3．】0．17 》 ，本条：为强制性《条文必须严格执行】 ？  《   1  为了避！免含有燃烧爆炸性、！毒性：物质：的排气管路向沿【程或路由区域泄【漏形成安全事故的发！生本款？规定此类排气—。管路内压力要低于】路由区域内的压【力即：保持一定的负压值 ！   【  在美国消防协会！的NFPA318】洁净室消《防标准中的3．2．！3条：规定含有危》险化：学品：的废气应经由保持相！对于建筑内正常使】用区域负压》的风管系统传输【但风机、洗》涤塔和处《理装置的《下，游除外 【   《  2、3、4【  这三款规定是】为了提高《排风系统和》废气：处理系统的运行【可靠性防止》因，设备：故障或停电》等原：因使燃烧爆》炸性、？有毒物质未及—时排走或未得到有效！处理而发生事故或】污，染环境？。 3．】0，．18  本条是关！于废气处理系统【排气筒的设计—要求： ？ ，。  ？   排气筒的高】度不：仅要符合国家及地】。方环境？保护的相《。关规：定而且还《要注意符合本—项目环境影响—报告书的《相，关要：求实际工程情—。况表明往《往后者规定》的排气筒高度远大于！前者的要求 】    — 第2？。～，4款规定主要考虑有！毒有害？物质虽然经废气处】理，系统进行了处理【并达：到了排放标准但不】等于无害为了—避免该废气》未经充分扩散、【稀释而降《落地面？被人员吸《入所以规《定了最低的排气筒高！度，及较高的排放速度】；同样的理》由规定了第7款【排气简要远离新【风吸入？口废气处《理系统总体设计时需！考虑此因素 —。  —   第5款规【定是为了方便环【保，监测：人员测试废气处【理效果及废》气排：放情况 — ，。 3．0．—19  本条是废气！处理系统《风，管的规定 【。     风管！的防腐？性能应与所接触的】腐蚀性？介质相适应》。实际工程中如—废气中含有HF【当采用普通玻璃钢风！。管时其骨架》材料玻？璃丝布就不能抵御】HF的腐《蚀系统？运，。行，不久就得更》换，另外即使《同为玻？。璃钢但不同的树脂】。对各种酸性介质【的抗：腐蚀性能也是不一样！的 》     经调研！。发现近几年集—成电路前工序工厂和！平板显？示类工厂相》继发生的几次—火灾起因基本与工】艺生产有关但—。多数情况火势是【沿，着非不？燃材：料的排风管道—扩散、蔓延引起更大！范围内发生火灾造成！巨额财产损失且有】几起火灾甚至—造成部分电子产【品供应中断》引发市场价格发生】波动所？以规定集成电—路前工序工厂—和平板显示》类工厂的排风—管要采？用不燃材料制作 ！ ： 3．0．2【1  本条规定【了风管及配件—的绝：。。热措施 ！   ？ 1  《户外安装的废气处理！系统风管及配—件当输？送的废气《中，含有遇冷形成凝结】物堵塞或腐蚀风管的！物，。质如苯蒸《汽、硼蒸汽等将影】响，废气处理系统的正常！工作 — ，。。     2 【。 当除？尘风管内表面结露】时粉尘将会沉积并堵！塞管道？   】  3？  ：高温风管如不采取绝！热措施有《烫，伤，人体的危险 —。 》3．0．《22  洁净—。室，（区）？内，的排风管如直接【采用产尘的绝—热材料？一方面在施》工过程中保温材料】的，纤，维会在空气中飞扬】难，以清除另《一方：面有些排风系统的管！道在：运行过程中难免需】。要增设接口或—。拆开检？修等工作从》。而对洁净空气造成】污染影响室内洁净】度等级且缩》。短送风末端过滤器的！使用寿命 【 3．0．【23  规定—此条主要是》考虑节能 ！ ，3．0．24  】排风机并联工—作比较复杂》尤其：是对具有峰值—特性的不《稳定区？在多台排《风机并联工作—时易：受到扰？动而恶化其工作【性能；因此设计时要！慎重对待否则不但】达，不到预？期目：的还会无谓》地增加能量消耗【为简化设计》和便于运行管理【条文中规定在—排风机？联合工？作的情况下要尽量选！用，相同型？号、相同性》能，的排风？机并联当《排风机？并联：安装时？要根据排《风机：和系统的风管—特性曲线确定—联合工？况下：的风量和风压—另外通风机并联工作！时设置是否合理也】是至关重要的实【际工程中《经，常出现由于》并，联运行的风机台【数过多或《布置不当实》。测结果经常达不【到预期？的总风量《 ， ？ ：3．0？．25  》。规定本条是为了防】止防火？阀的误？动作而造成排风【。系统的失效》从而引发安全—和生产的《事故另外即使发生】火灾时也不要将【此类排风系》统停：止运行因为》一方面排风系统可兼！作排烟功能另一【方面一旦停止运行】工艺生产设》备将向车间内散发】比烟气毒性更大【的有害物质为—了达：到上述要求设计【人员要在前期—方案设计时合理【规划并与《相关专业密切—配合尽量避免风管穿！越防火分区墙 】 ： 3．0．26 ！ 规定？本条是？避免频繁更换吸【附，剂并减少更换吸附】剂对生产的》影响所以吸》附剂填料量要满足其！更换周期《不短于3个月—的要求 】 3．0．28【  废气处理系统的！风机、处理设—备等产生的噪声影响！主要有两个方面一】方面：是影响室《内环境要尽量—用风管？、弯头和三通等【部件以及《房间的自然》衰减降低或消除当仅！靠自然衰减不能满】。足室内噪声要—求时则需在》风机吸？入段的排《风管路系统》中设置消声装置【或，采取其他消声措施如！采用管？式消：声器等另《一方面？。是，室外：环境当仅靠自—然衰减不《能，满足厂界和厂区【噪声要求《时则要在风机压出】。段的排风管路系【统中设置消声—装置必要《时需对风机》设置：隔声罩 】 ，3．0．29  电！子工业生产过程【大部分为精密加工】对微振？通常有较严格的要】求废气处理系统中的！风机、水泵等在运行！时会产生较强—。。烈，的振动如不予—。以妥：善处理将会对工【艺生产？产生不利影响所以】需采取？隔振措施《。另，。外对有微《振，要求的电《子工：厂排风管道也—是一个不可忽视【的振动源当排风【。。管道布置于》有微：振要求的区域内【或附近时《也需采取隔》振措施如采》用减振支、吊架风管！下设：置隔：振垫：等 3．！0．3？。0  排风》支干管设置风量【调节阀是便于各支】干管风量的调节【。排风：总管设置测》定，孔是便于风量、【风压、有害物浓度】。等的测试对于系统】较大、？排风支干管较—多的废气处理系统每！个支干管末端—设置微？压计：是利于系统风量和】。压力平衡以及二次配！管的实施 — ？ 3．？0．31  考【虑风：管的气流特性、【强度、材料消耗等】因，素风：管截面采用圆形【是，最为合理的但—考虑到？风管安装所》占用的空间某—种情况？下采用矩形风管也】是一个不错的—选择而酸性》、碱性和《特种废气系统的排风！管通常有凝结液【产生所以《风管截面需为—圆形以利于凝—结，液的收集、排除 ！。 3．—0．32  本条】。是，关于选？择，废气处理设备的要求！ 《    》 1  在工业通风！系统运行过程中由】于风管和《设备的漏风会—导致排风口处的风量！达不到设计》。值甚至会导致室内有！害，。。物浓度？达不：到设计和《卫生标准的》要求为？了弥补系统》。漏风可能产生的不】利影响选择末端处理！设备时需根据—系，。统的类别（低压、】中压或高压系统）】、风管内的》工作压？力、设备布置情【。况以：及，系统特点等因—素附：加系统的漏风量 】     ！2  考虑流量分】。配不均匀性等因素】循环泵的流量要在系！统需：求流量的《基础上附加10【％ 《 ，     3 】 规定此款是为【了提高？废气处？理系统的《运行效率保证车【间内工艺设备排风】。口，的排风量《以及废气处理系统】的运行安全 】     【4  规定此—款是为了确保废气】处理设备《在，工作：压力下运行时不会】发生由于强度问题】而变形另外废气处】理系统在《运，行过程？中也会发生》压力波动的情况【为确保？系统安全运行—。所以考虑了一—定的安全系》数 3】．0．33  【本条是关于选择排风！机应考虑的因素及要！。求，    ！ 1、？2 ： 选择风《。机的基本特》性要求 【     3  ！工，。艺设备一《般要求排风口处满足！一定的负《。压，要求如某些设备酸】排风要求为》－5：00Pa《排风机风压需—。包括此部分的压【力 【    《4，。  规定《本款是考虑系统阻力！。。计算的不精确性系】统计算工况与—实际工程施工后【的工况？间，的差异以及选用的风！机性能与实》际安装的《风机性能间的差【异等因素 ！   ？  5 《 当系统《的设计风量和计【算阻力确定以后选择！通风机时需考虑【的主要问题之—一是通风机的—效率在？。满，足给定的风量—和风压要求》的条件下《。通风：机在最高效》率点工作时其轴功】率最小？。。在具体选用中由于】通风机的规格所限不！。可，能在任何情况下都】能保：。证通风机在最高效】率点：工作：。因此条文中》规定通风《机的设？计工况效率》不要：低于最高效率的90！％一般认为》在最高效《率的9？0％以上范围内均】属于通风机》的高效率区根据我国！目前通风机的生产及！供应：。情况做？到这一？点是不难的 ！ 3？．0．34  【废，气处理设备的—入口和出口设置采】样口以便《于采样检《测 《 3．》。0．35《  设置在》线污染因子监测【装，置可以及时监测【。和，。记，录系统排《放情况 》