3》  基本规》定 【 3．《0．1  本条规】定了对有《害物：的控制及《工艺设备的要求 】     ！对于产生有害物质的！工艺生产设》备采：用自动化、》密闭、隔《离和在负压下—。操作的措《施可以避免直—接操作？并改：善工作？人员的工作条件 】    】 对生产过程中不】可避：免，产生的有《害物质在《。排放前进行净化处】理，以符合国家现行标】准大：气污染？物综合排《放标准GB 16】297等有关大【气污染物排放标准】的要求大气排放除】执行污染物最严【格，的排放浓度标准【。外还需要符合污【。染物总量控》制的要？求 ？ 3．0．】2， ， 电子工程中依废】气污染物《种类通常将工艺【废气：划分为酸性废—气、碱性废气、挥】发性有机物（—VOCs）》废气、？特种废气、含尘废】。气、焊锡烟气、玻】璃，窑炉废气等通常【情况下同类废气【。可，。以合并不相容的【废气分？开设置排风》系统 【 3．0．》。3  本条规—定了排风系统的划】。分原则是强制性【条文必须严格执【行 【。    1 — 防止不同种类和性！质的有害物质混【合后引？起燃烧？或爆炸事《故，  【   2  避免形！。成新的？毒性、腐蚀》性的混合物或化合物！或，生成毒性、腐蚀性】更大的混合物或化合！。物对人？体造成危害》或腐：蚀设备？。及管道如散发氰【化物的电镀槽—。与酸洗槽散发的气体！混合时生成氢氰【酸毒害更大 —    】 3  为防止【或减缓蒸汽在风管】中凝结聚积粉尘从】而增加风管》阻力甚至堵塞风【管影响？通风系统的正常运行！ 《   《  4？  避免极毒—和剧毒物质通过排风！管道：及风口窜入其他【房间：如，将，放散砷烷、磷—烷、乙硼烷、铅蒸气！、汞蒸气和氰化【物等极毒和剧毒气体！。的排风与《其他：房间的排风》设为同一系统时【当系统停止》运，。行极：毒和剧毒《气体可能通过风【管窜入其他》房间；极毒物质是指！车，间空：气中有害《。物，质的最高允许浓【度小于0．1mg/！m3的物质》；剧毒物质是—。指车间空气中有害物！质的：最，高允许？浓度小于0》．1mg《/m3～1mg/】m3：的物质 】     5  】避免燃烧爆炸性气】体通过排风管道【及风口窜《入其他房间 — 3．0．！。4  规定此条主】要是考虑节能当【个别排？风，点的需求压力较高】且又出现在系统后】三分之一《管路：时势必使整》。个排风系统的需【求，压力提高《这，是不合理的最好分】别设置系《统 《 3《．0．？6  ？本条涉及排》风系：统安全、稳定—运行以及大气—污染问题《 ，    】 1  一些—。电子工厂《洁净厂房内使用【各类品种、一定【。数，量的燃烧爆炸性物质！通，常在：使用这些《物，。质的生产设备均【设有局部排风系统】为此要采取技术【措施防止《这些物质的排—风系统对所在厂【房的安全造成危【害所以本款规—。定为强制《性条：。文必须？严格执行 — 《    2 — ，电子工厂如芯—片制造生产设备【的局部排风系—。统中有毒有害物质】主要：。有酸：碱类氢氟酸（HF）！。、盐酸？（H：Cl）、硫（—H2：SO4）、硝酸（H！NO：3）、？氨（NH3》）等；有机类异【丙醇（I《P，A）、三氯甲烷（C！HCl3）、—六甲基二《硅胺：（HMDS》）、丙酮等》；特：种气体砷烷（A【sH3）《、硅烷（《SiH4）、—磷烷：（PH3）、硼烷（！B2H6）》、三氟化氮（N【F3）、《六氟化钨（WF6）！、三氯氢硅（SiH！Cl3）、》四氟化碳（C—F4：）、六氟化硫（【SF6）、一—氧化二氮《（N2O《）等这？些物：质大：部分对人类生存【。。环境具有巨大的【危，。害性因此要求—。需根：据国家和地区污染】物排：放标准进行净—化处理 】 3．0．》7  本条》规定了燃烧爆—炸性危险物质—的排风系统风量确定！原则是为了保—证安全 — ， 3．0．8【  本？条规定了采用—防，爆型废气处理系【统设备的条件为强】制性：条文必须严格执行 ！。   【 ， 直接？。布置在有爆炸危险场！所中的？废气处理《系统设备用于排除、！。输送或处理甲、乙类！物质的废气处理系统！设备以及排除、【输送：或，处理含有燃烧或【爆炸危险的粉尘、纤！维物质其含尘浓度】高于或等于其爆【炸下：。限的25％时或【含甲、乙《类物质的浓度高【于或等于其爆—。。炸下限值的10【％时由于《设备内或外》的空气？中，均含有？。燃烧：。。或爆炸？危险性物质遇火花】即可能引起》燃，烧或：爆炸事故为此规【定其废气处理系统】的设备要采用防【爆型 【 3．0《．9  本》条，规定了废气处理系】统的：设备、风管和配件的！防，。静电接地要求 】 ？  ：   当《静电积聚到一定【程度时就会产生静电！放电即产生静电火花！使可燃或爆炸—危险物质有引起燃烧！或爆炸的《可能因此做了如【条文中的有关规【定 》     —法兰跨接系指风管法！兰，连接时法兰间—密封垫或法》。兰螺：栓，垫圈常常采用橡胶】材料故两法兰之间需！用金属线跨接— 3．0！．10  本条规定！了排风风管布—置原则为《强制性条文》必须严格执》行 ： 《。   ？ ， 有爆炸危险的厂房！、车间发生事故【后火灾容易》通过排风管道—蔓延扩大到建筑的】其他部位因》此其排风《管道：严禁：穿，。过，防火墙和有爆炸【危险的车间》。隔墙： —3．0．11  规！定本条的目的是为了！使排风系统中含有】。的有毒？有害物质以及—局部排风系》统中排出的有较【高浓度？的爆炸危《。险性物质《得，以在：大气中扩散稀—释，以免降落《。到建筑？物，的空气动力阴影区和！正，压区内污染周—围空气或导致—向车间内倒流— —    《“建筑物的空气动力！阴影区”指室外【大气气流撞击在建】筑物的迎风面上形成！的弯曲现象》及由此？而导致屋顶和—背风面等处》由，于静压减《小，而形成的负》。。压区；“正压区”】指建筑物迎》。风面上？由于气流的撞击作】用，而使静压高于大气压！力的区？域一般情况下只有当！它和风？向的夹角《大于30℃时—。才会发生静压增【大即形成正压区【 ： ， ？3．0．12—  ：本条规定了》。通风系统《排除凝结水》的措施 《 ，  》   排除潮—湿气体或含》水蒸气的排风—系统：风管内表《面有时？。。会因其温度》低于露点温》度而产？生凝结水为了防止】系统内凝结》液腐蚀或堵》塞设备及风》管影响排风系统【的正常运《行条文中《规定水平敷设的风管！要有：一定的坡度并在风】管的低点设置观【察检修口在风管的】最低：点和通风机的底【部设置排除凝结液装！置对于酸、碱、挥】发性有机《物和特种废气系【。统产生的冷》凝液需排至相应的】废水管网中进—行再处理为》了防：止由于排风管路【水密性？。。不好：。而发生排风管—路中：的冷凝液渗漏事【故所以规定排风管】路系统要有》。防渗漏措施 【 3．0．1！3  ？。。本条规定《了填料洗涤式废气】处理设备的设—置原则 ！    1  【规定断？面风速是《为了保证废》气与洗涤液》有充分的接触—时间：从而保证《。处理效率《 ，     ！2  ？填料洗涤式废气处】理设备的《填料厚度《对处理效《率起到至关重要【的作：用填：料厚度与断》。面风速、《喷淋：循环液流量、待处】理，污染因子《、填料形《。式等有关《需根据厂《家提供的公式计算】或曲线查取 ！ ：    3  喷淋！液循环量是保证处理！效率又一重》要因素规定》第1项是为了保【证废气与《吸收液？进行充分的质交【换；规定第2项【是为了确《保填料充《分，润湿这？里，的填料面积指正对】喷淋方向填》料横断面面积—对于目前工程中【常用的逆向流—、交叉流《填料洗？涤式废气处理—设备通常指填料水平！断面：面积 —   《 ， 4  规定此款】是为了保《证被处理废》。气与：。。吸收液有足够的接】触时间从而》保证处理效率 】     6！、7  这两款规定！是为了防止废气处】理设备发生冻结 】    】 8 ？ 有些工程中填料洗！涤式处理设备补充】水采用纯水制备【系统的反渗透浓【水结果？纯水制备系统—的反渗透浓》水中的钙离子大量】结积在填料和—除雾：器上造成《堵塞另外酸废气洗涤！塔是以？循环液的导电率来确！定是否？排水所以以含盐量】较高的？纯水：制备系统的》反渗透？浓，水作为补《水，。也是不？适宜：的如果？酸废气洗涤塔—内补充再生水—再生水中残留的氨】将与酸废气中氟【和氯离子生》成不易捕集》的氟：。化铵和？氯化铵同样理由再生！水也不适宜作为【碱废气洗涤塔的补】水所：以填料洗涤式处理】设备的补充水—一般为自《。来水 》。 3．》0．14 》 本条规定》。了压入式、吸—入式、吹吸》式废气？处理系统的》采，用原则 》    【 当排风中含—有酸性？。、碱：性、特种等有毒有】害，污染因子时如采【用压入式《废气处理系统一方】面排风机《。处于高浓度污染因子！区易被腐蚀；另一方！面风机出口与废气处！理设备间处于—高正压如《风管系？统密封不《好或软接《。。头破损部《分未：经处理的废气—将会直接排入大【气，污染环境对于—排，风中：含有：挥发性有机物的废气！。处理系统《综合考虑处理—效率：、系统？泄漏等因素采用【吹吸式废气处理系统！。使转轮浓缩》机与上游气流—风机出口间》处于微负压或微【正压是较合理—的选择 》 3．—0．15  —规，。定，。。此条主要是为了【符合节能要》求处理设备的—压，。力损失？指单级填《料或单级吸附材【料的压力损》失且为运行压—力损：失本规定不》适合蓄热《氧化设备 ！ 3．0《．1：6  本条是—针对：以往废气处理系【统因设？置旁路？会经常出现排放超标！和短路？运行的现《象提出的要求 【 3—．，0，．17  》本条为强《制，。性条：文必须严格执行 ！ ？     1  】。为，了避：免含有？燃烧爆炸性》、毒性？。物质的排气管路向沿！程或路？由，区域：泄漏形成安全—事，故的发？生本款规定》此类排气管路内【压力要低《于路由区域内—的压力即保持一【定的负压值 【 ， ，   《  在美《国消：防协会？的，。NFPA3》1，8洁净？室消防标准》中的3．2》．3条规定》含有：危险化学品》。的废气？应经由保持相对于】。建筑内正常使用区域！负压的风《管，系统传输但》风机、洗《涤塔和处《理装置的下游除外 ！ ，     2！、3、？4  这三款—规定是为了提—高，排风系统和》废气处理系统的【运行可靠性防止因】设备故障或停电【等原因使燃烧爆【。炸，性，、有毒物质未及时排！走或未得《到，有效处理而发生事】故或污染环境— ， 3—．，0．18  本条是！关于废气处理系【。统排气筒的设计要】求 —     排气筒】的高度不仅要符【合国家及地方环境保！护的相关规定而且】。还要注意符合本项】目环境影《。。响，报告书的相》关要求实际工程【情况表？明往往后者规定的排！气筒高度远大于前】者的要？求  】  ： 第2？～4款规定主—要考虑有毒有害物】质虽然经废气处理系！统进行了处理并达到！。了排放标准但不【等于无害为了避【免该：废气：。未经充分扩散、稀释！而降落地面》被人员吸入所—以规定了最低的【排气筒高《度及较高的排放【速度；同样的理由规！定了第7款排气简】要远离新风吸入口】废气处理系统总【体设：计时需考虑此—因，素  】  ： 第5款规定—是，为了方？便环：保监测人员测试【废气处理效果及【废，气排放情况》 3【．，0．19  本条】是废气处理系统风管！的规定 】     风管的防！。腐性能？应与所接触》的，腐蚀性介质相适应实！际，工程中如废气—中含有HF当采用】普通玻璃钢风管时其！骨架材料玻璃丝布】就不：能抵御HF的腐蚀系！统运行不《久就得更换另外即使！同为玻璃《钢，但不同的树脂对各种！酸性介质的抗腐【。蚀性能也是不—一样的 《  —   经《。调研发现近》几年集？成电路前工序工厂】和平板显示类工厂相！继发生的几次火灾起！因基本与工艺—生产有关但多—数情况火势是沿【着，非不燃材料的排风管！道扩散、蔓延引【起更大范《围内发生火灾—造成巨额财》产损：失且有几起火灾【甚至造成部分—电子产品供应中【断引：发市场价《。格发生波动所以规】定集：成电：。路前工序工厂—和，。平板显示类工厂的排！风，管要采用不》燃材料制《作 3．！0．21《  本条规定—了风管及配》件的：绝热措施 —     1！  ：户，外安装的《废气处理系统风管】及配件当输》送，。的废气中《含有遇冷《形成凝结物》堵塞：。或腐蚀风管的—物质如？苯蒸汽、硼蒸汽等将！。影响废气处理系【。统的正常工作—   】  2？  当除尘》风管内表面结—露时粉尘将会沉积】并堵塞管道 ！   《  ：3  高《温，风管如不采取绝热】措施有烫伤人—体的危险《 3．0！．22  洁净室】（区）内的排风管如！直接：采用产尘的》。绝热材料一方面【。在施工过程中保温材！料，的纤维会在空—气中飞扬难》以清除另一方—面，有些排风系统的管道！在，运行过程中难免需要！增设接？口或拆开检修等工作！从而对洁净》空气造成污染—影响室内洁净度等】级且缩短送》风末端过滤器—的使用寿命》 》 3．0．23 】。 规定此条主要是考！虑节能 》 ： 3．0》．24  排风机并！联工作比较复杂【尤，其是对具有峰值【特性的？不稳定区在多—台排风机并》联工作时易受到【扰动而？恶化其工作性—能；因此设计时要】慎，重对待否则不但达】。不到：预期目的还会无谓】地增加能量》消，耗为简化设》计和便于运行管理】条文中规定在排风机！。联合工作的情况下】要，尽量：选用相？同型号、相同性【能的排风机并联当排！风，机并联安装时—要，根据排？风机和系统的风管】。特性曲线确定—联合工况下的风量】。和，风压另外通风机【并联工？作时设置是否合理】也是：至关：。重要的实际工程中经！常出现由《于并联运行的风机】台数过多或》布置不？。当实测结果》经常达不到预期【。的总风量《 —3．0．25  】规定本条是为了防止！防火阀的误动作而造！成排风系统》。的失效从而引发安全！和生产的事》故另外即使》发生火灾时也—不要将此《类排风系《统停：止运行因为一方面】排风系统《可兼作？排烟功能另一方面】一旦停？止运行工《艺生：产设备将向车间内散！发比烟气毒性更【大的有害物质为了】达到上述要求设【计人：员要在前期方案设】计时合理《规划：并与相关专业—密，。切配合？尽量避？免风管穿《越防火分《区墙 【 3．0．26  ！。规定本条是避—免频繁更换吸—附剂并？减少：更换吸附剂对—生产的影响》所以吸附剂》填料量要《满，。。。足，其更：换周：期不短于3个月的】要求 《 3．0．】。28：  废气处理系【统的风机、处—理设备等产》生的噪声影响主【要有两个方面一方面！是影响？室内环境要》尽，量，用风管、弯头和三】通等部？件以及房间的—自然衰减《降低或消除当仅靠】自然衰减不能满【足室内噪声要求【时则需在风机吸入】段的排风管路—。系统：中，设置消声装置或【采取其他消声措【施如采用《管，式消声器等》另一方面是室外环境！当仅靠自然衰减不】。能满足厂《界和厂区噪声要求时！则要在风机压—出段的排风管路【系统中设置消—声装：置必要时需对风机设！。置隔声罩 — ？ 3：。．0．2《9 ： 电：子工业生产过—程大部分《为精密加工》对微振？通常有较《严格的要《。求废气处理系统【中的风机、水泵【等在运行时会产【。生较强烈的振动如不！予以妥善处理将会对！工，艺生产产生》不利影？响所以？需采取隔振措—。施另外对有微振【要求的电子工厂排】风管道也是一—个不可忽视的振动】源当排风管道布【置于有微振》要求的区域内或附】近时也需采取隔【振，措施如？采用减振支、吊【架风：管下设置隔振垫【等 》 3．《0．30  排【风支干管设置风【。量调节阀是便—于各支干《管风量的调》节排风总《管设：置测定孔是便于风】。量、风压、有—害物：浓度等的测试对于系！统较大、排风支干管！。较多的废气处理系统！每个支干管末端设置！微压计？是利于系《统风量和压》力平衡以《及二次配管的实施 ！ 》3．0．31  】考虑风管的气流【特性、强度、—材料消耗等因素【风管截面采用圆形】是最为？合理的但考虑到风管！安装所占用》的空间？某种情况《下采用矩形》风管也？是一个不错的选择】而酸性？、碱性和特种废【气系：统的排风《管通常？有凝结液产生—所以风管截面需为】圆形以利于凝结液】。的收：集、排除 】 3．0．3【。2  ？本条是关于选择废】气处理设备的要求】 ：。     1！  在工业通风系】统运：行过：程中由于风管和设】备的漏风会导致【排风口处的风量达】不到设计值》甚至会导致室内有】害物浓度达不到设计！和卫生标《准的要？求为了弥补系统漏】风可能？产生的不利影—响选：择末端处理设—备，时，需根据系统的类别（！低，压、中压或高压系】统，）、风管内的—工作压力、设备【布置情况《以及系统特点等因】素附加系统的漏风量！   】  2  考虑流量！。分配不均匀性—。等因素？循环泵的流》量要在系《统需求流量的—基，础上附加10％ 】 《     3—  规定此款是为】了提高废气处理系】统的运行效率保证】车间内？工艺设备排风口【的排风量《以及废气《处，理系统的运行安全】  【   4  规【定此款是为了—确保废？气处理设备在工作】压，力下运行时不—会发生由于》强度问题而》变形另外《废气处理系统在运行！过程中也会发生压】力波动的情况—为确保系统安全运】行所以考虑了一定】的安全系数 【 ？ 3．0《．33  本条【是，关于选择排风—机应考虑的》因素：及要求 — ？   ？ 1、2  选择风！机的基？本特：性要求 ！。   ？ 3  工艺设备】一般要求排风口处满！足一：定的负？。压要求如某些设【备酸排风要》求为－5《00Pa排风机风】。压需包括此部—分的压力《 》     4 【 ，规定本款是考虑系统！阻力计算的不精确性！系统计算工》况与实际《工程施工后的工况间！的差异以及选—。用的：风机：性能与实《。际安装的风机性能间！的差异等《因，素 ？ ？     》5  ？当系统的设》。计风量和计算阻【力确定以后》选择通风机》时需考虑的主要【问题之一是通—风机的效率在满足给！定的风？量和：风压要求的》条件下通风机在最】高效率点工作时其】。轴功率最小在—具体：。选用中？由于通风机的—规格所限不》。可能在任何情况【下都能保证通风【机在最高效率点【工作因此条文中规定！通风机的设计工况】效率不要低于最高效！率的90％一般【。认为：在最高效率》的90％以上范【。。围内均属于通风机的！高效率区根据—我国目前《通风机？的生产及《供应情况做到这【一点是不难的 】。 ： 3．0．3【4  废气处—理设备？的入口和出》口设置采样口以便于！采样检？测 ： ， 3．0．3！5  设置在—。线污染？因子监测装置可以】及时：监测和记录系统排放！情况 《