《3  ？基本规定 ！ 3．》。0．1  本—条规定了对有害物】的控制及工艺设备】的要求 ！    对于产【生有害物质》。的工：艺生产设备采用自动！。化、密闭、》隔离和在《负压下操《作的措施《可，以避免直接》操作并？改善工作人员—的工作条件》 ： ，   》  对生产过程中】不可避免产生—的有害？物质在排《放前进行净》化处：理以符合国》家现行标《准大：气污染物综合排放标！准GB 16297！等有关大气污染【物排放标准的要【求，大气排放除执—行污染物最严格的】。。排，放浓度？标准外还需要符【合污染物总》量控制的《要求 【 3．？0．2？  电子工程中依】废气污染物种类通】常，将工艺废气划—分为酸？性废气？、碱性废气、挥发性！。有机物（VOCs）！废气：、特种废气》、含尘？废气、焊锡烟气、玻！璃窑炉废气等通【常情况下同类—废气可以合》并不相容的废气【分开设置排风—系统 《 3．—0．3  本条【。规定了排风系统的划！分原则是《强制性条文》必须严格执》。行  】   1  防【止不同？种，类和性质的》。有害：物质混合《后引起燃烧或爆【炸事：故 》     —2  避免形—成新的毒性、腐蚀】性的混合物或—化，合物或生《成毒：性、腐蚀性更大【。的混合物《或化合物对人—体造：成危害或腐蚀设【备及管道如散发氰】化物的？电镀槽与酸洗槽【散发的气体》混合时生成氢氰酸】毒害更大 ！     3— ， 为防止或减缓蒸】汽在：。风管：中凝结聚积粉—尘，。从而：增加风管阻力—甚至：堵塞风管影响通风系！统的：正，常运行 ！    4  【避免极毒和剧毒物】。质通过排风管道及】风口窜入《其他：房间如将放散砷【烷、磷烷《、乙硼烷、铅—蒸，气、汞蒸气》和氰化物等极—毒和：剧，毒气体？的排风与其他房【间的排风设》为同一系统时当【系统停止运》行极毒和《剧毒气体可能通过】风管窜入《其他房间；极毒物】质是指车《间空气中有》害物质？的，最高允许《浓度小于《0，．1mg/m3【的物质；剧毒物质是！指车间空气》中有害物质的最高允！许浓度小于》0．1mg/m3】～1mg/》m3的物质 ！   《  5 《 避免？燃烧爆？炸性气体通过—排风管道及风口窜】入其他房间 — 3．0．！4  规定此条主】要是考虑节能当个别！排风点的需求压力较！高且又出现在系统后！三分之一管路—时，势必使整个排风【系统的需求压力【提，高这是？。不合理的最好—分别设？置，。系统 ？ 3．0．！6  本《条涉及排《风系统安全、—稳，定运行？以及大气污染—问题 《 ，    — 1 ？。 ，一些电子《工厂洁净厂房内【使用各类品种、一定！数量的燃烧爆炸【性物质通常》在使用这《些物：质的生产设》备均设有《局部排风《系统为此要采—取，技术措施防止这些】物质的排风系统【对所：在厂房的安全造成】危害所以本款规定】为强制性条文—必须：严格执行《。 ？ ，   《。  2  电子工】厂如芯片制》造生产？设备的局《部排风系统中有【。毒有害物质主要【有酸碱类氢氟—酸（HF）》、盐酸（HCl【）、硫（H》。2SO4）、硝酸】（HNO3）、【氨（NH3）等【；有机类异丙醇【（IPA）、三【氯甲烷（C》HCl3）、六甲基！二硅胺（HMD【S）、丙《酮等；？特种气体砷》烷（A？sH3）、》硅烷：（SiH4）、磷烷！。（PH3）、—硼，。烷（B2H》6）、三氟》化氮（NF3—）、六氟化钨（【WF6）、三氯氢】硅（SiHCl3）！、，四氟化碳（C—F4）、《六氟化硫（SF6】）、一氧化》二氮：（N2O）等这些物！质大部分对人—类生存环境具有巨】大的危害性因此要求！需根据国家和地区污！染物排放标》准进行净化处—理 ： 3．0】．7：  本条规定—了燃烧爆炸》性危险物质》的排风系统风量确定！原则是为了保证安全！ 3．】0．8  》本，条规定了采用—。防爆型废《气处理系统设备【。的条件为《强制：。性条文必须严格执】行  】   直接布—置在有爆炸危险场】所中的废气》处理系统设备用于排！除、输送或处理甲、！。乙类物质的废—气处理系统设备【以及排除、输送【或处：理含有燃烧或爆炸危！险的粉尘、》纤维物质其含尘浓度！高于或等于其爆炸】下，限的2？5％时或含甲、乙类！。物，质的浓度高于或等】。于其：爆，炸下：限，值的10％》时由于设备内或外】的空：气中均含有燃—烧或爆炸《危险性物质遇火【花即可能引起燃烧或！爆炸事故为此—规定其废气处理系】统的设备要采—。用防爆型 【 3．0．【9  本条规—定了废气《处理系？统，的，设备：、，风，。管和配件的》防静电接地》要求 —    》 ，当静电积聚到一定】程度时就会产生静电！放电即产生静电火】花使可？燃或爆炸危险—物质：有引起燃烧或爆【炸的可？能因：此做了？如，条文中？的有关规《。定   ！ ， ，法，兰跨接系指风—管，法兰连？接时法兰间密封【垫或法兰螺》栓垫圈常常采用橡】胶，材料故两法兰之间需！。。用金属线《跨接： 3【．0．10  本条！规定了排风风管布】置原则为强制—性，条文必须严格—。执行 ？ 《    《。 有爆？炸，。。危险的厂房、车间】发生事故后火灾【容，易，通过排风管道蔓延扩！大到建筑《的其他？。部位因？此其排风管道严【禁，穿过防火《墙和有爆炸危险的车！间隔：墙 — 3：．0．11 — 规定本条的目的是！。为了使排风》系，统中含有《的有毒有害物质以】及局部排风系统中排！出的有？较，高浓度的爆炸危险】性物质得以在大【气中：扩，。散稀释以免》降落到建筑》物的空气动力阴影】区和：正压：区内污染周围空气】或导致向车间内倒流！ 《     “【建筑物？的空气动力阴影区”！指室外大气》气流撞击在建筑物的！迎风面上形成的弯曲！现，。。象及由此而导致【屋，顶和背？风面等？处，由于静压《减小而形成的负压】区；“正《压区”指建筑物迎风！面上：由于气流的撞击作】用而使静压高于大】气压力的区域—一般情况下只—有当它和风向的【夹，角大于30℃—时才会发生》静压增大即形成正压！区， 3．0！．12 《 本条？规定了通风系统【排除凝结水》的措：施 ： ：     排除！潮湿气体或含水蒸】气的排风系统风管内！表，。面有时会因其温【度低于露点温度而产！。生凝结水为了防【止系统内凝结液【腐蚀或堵《塞，。设备及风管影响排】风系统？的正常运行条—文，中规定水平》敷，设的风管要有一【定，的坡度？并在风？管的低点《设置：观察检修口在风管的！最，低点和？通风机的底部设置】排除凝结液装—置对于酸、碱、挥】发性有机物和特种】废，气系统产生》的冷凝液《。需排至？相应的废水管—网中进行再处理【为了防止由于排风】管路水密性不—好而发生排风管【路中的？冷凝液渗漏事故所】以，规定排风管路系统】。要，。有防渗漏措施 【 3—．0．13  本条！规，定了填料洗》。涤式废气处》理设备的《设置原则 》    】 ，1  规定断—面风速是为了—保，证，废气与洗涤液有充分！的接触时间》从而保证处理效率 ！ 《   ？  ：2  ？填料洗涤《式废气处理设备【的填：。料厚度？对处理效率起到至关！重要的作用》填料：厚度与断《面风速、喷淋循环】。液流：量，。、待处理污染因子】、填料形式等—有关需根据厂—家提供的公》式计算或曲线查取 ！  —   3  喷淋】液循环量是保证【处理效率又一—重要：因素规定第1项是为！了保证废气与—吸收：液进行充分的质交换！；规定第2》项是为了确保填料充！分润湿这里的—填料面积指正对【喷淋方向填料横断】面面积？对，于，目前工程中常用的】逆向流、《交叉流填料洗涤【式废气处理》设备通常指填料水平！断面：面积 《 ？     4—  规定《。。。此款是为了保证被处！理废：气与吸收液有足够的！接触时间《从而保证处理—效率 》    — ，。6，、7  这两款【规定是为了防—止废气处理》设备发生冻结 【 》 ，  ： 8 ？ 有些工程中填【料洗涤式处理设备】补充水采用纯水【制备系统的反渗透】浓水：结果纯水制备系【统的反？渗透浓水中的—钙离子大量》结积在？填料：和除雾器上造—成堵塞另外》酸废气洗涤》塔是：以循环液的导电率来！确定是否排水—所以以含盐量—较高的纯水制—备系统？的反：渗透浓水作为补水】也是不适宜》的如果酸废气洗涤塔！内补充再生水再【生水中？残留的氨将与酸废气！中氟和氯离子生成不！易捕集？的氟化铵和》氯化铵同样理由再生！水，也不适？。宜作：为，碱废：。气洗涤塔的补水所以！填，。料洗涤式处理设备的！补充水一般为自来水！ ： 3．0．1！4  本《条规定了压》入，式、吸入《式、吹吸式废—。气处理系统的采用】原则 《     当！排，风中含有酸性、碱性！、特种？等有毒有害污染【。因子时如采用压入式！废气处理系统一方】面排风机《处于：。高浓度？。污染：因子区易被》腐蚀；？。另一方面风机—出口与废气处—理设备间处于—高正压如风》管系：统密：封不好或软接头破损！部分：。未经处？理的废气将会直【接排入大气污染【环境对于《排风中含有挥发【性有机物《的，废气处理系统—综合考虑《处理效率、系统泄】漏等因？素采用吹吸式废气】处理系统《使转轮浓缩机与上游！。气流：风机出口间处—于微负压或微—正压是较合理的选择！ 3．0！．15  规定此】条，。主要是为了符合节】能要求处《。理设备的《压，力损失指单级填料或！单级吸附材料—的压力损失且为运行！压力损失本规定不适！。合蓄热氧化设备【 3【．，0，。．16  》本条是针对》以往：废气处理《系统因设置旁路会】经常出现排放—。超，标，和短路运行的—现象提出的要—求 ： 3—．0．17》  本条为强制性条！文必须？严格：执，行 —     1  为！了避免含有燃烧爆炸！性、毒性物质的【。排气管路向沿程或路！由区域泄漏形成【安全事故的发生【本款规定此类排气管！路内压？力要低于路由区域】内的压力即保持【一定：的负压值 】 ，     》在，美国消防《协会的NFP—A31？8洁净？室消防？标准中的3．2．】3条规？定含有危险化学品】的废气应经由保【持相对于《建筑内正常使用【。区域负？。压的风管系统—传输但风机》、洗涤塔和处—理装置的下》游，除，外 【    《2、3？、4  这三款【。规定是为了提高【排风系统和废—气处：理系统的《运行可靠《性防止因设备故障】。。或停电？等原因使燃》烧爆炸性、有毒【物质未及时排走或】未得到有效处理【而发生？事，故或污染环》境 3】．0：．18 《 本条是关于废气处！理系统排气筒的【设计要求 》 ？ ，  ：   排气筒—的高度？。不仅要符《合国家？及地方环境保护的相！关规：定而且还要注—意符合？本项目环境影—响，。报告书的《相关要？求实际工程情—况表明往往后—者规定的排气筒高度！远大于前者的要求 ！ 《     第2～4！款规定主要考—虑有毒有害物质虽】然，。经废气处理》系统进行了处理并达！到，了排放标准但不等】于无害为了避免【该废气？未，经充分？扩，散，、稀释而降落地面】被人员吸《。入所以规定》。了最低的排》气筒高度《及，较高的排《放速度；同样—的理由规定了第7款！排气简要《远离新？风吸入口废气处理系！统总体设计时需【考虑此？因素 【     第—5款规定是为了方】便，环保监测人》员测试废气处理【效，果及废气排放情况 ！ 3．0．！19  《本条是废气处理系】统风管的《规定  ！。   风管》的防腐性能应与所】接触的腐蚀性介质相！适应实？际工程中《如，废气中含有》HF当？采用普通玻璃钢风管！时其骨架材料玻璃】丝布就不能》抵御HF《的腐蚀？系统运行不》久，。就得更换另》外，即，使同为？玻璃钢但不》同的树脂《对各种酸《性介质的抗腐蚀性能！也是不一样》。的 ？ ，    — 经调研发》现近几年集成电【。路前：工序工厂《。和，平板显示类》。工厂相继《发生的几次》火灾起因基本与【工艺生？产有关但多数—情况火势是沿着非不！燃材料的排风—管，道扩散？、蔓延引起》更大范围内发生火】灾造成巨额财产损】失且有几起火灾甚】至造成部分电—子产：品供应中断引—发市场价《。格发生？波动所以规定集成电！路前工序工厂和【平板显示《类工厂的排风管要】采用不燃《材料制作 — ？ ，3．0．《21：  本条规定了风管！及配件的《。绝热措施 》 》    1 — 户外安装》的废气处理》系，统风管及配件当输】送的废气《中含：有遇冷形《成凝结物堵塞—或腐蚀风管的物【质如苯？蒸汽、硼蒸汽等将】影响废气处理系【统，的正常工作 【   —。。  2  当除【尘风管内表》面结露？。时粉尘将会沉积【并堵塞？管道 —  ？   3  高温】风，管如不采取绝热措】施有烫伤《。人体的危险 】 ？3．0？．22  洁净室（！区）内的排风管【。如直：接采：用产尘的绝热材料】一方面在施工过【程中：保温材料的纤维【。会，在空气中飞扬难以】清除另一方面—有些排风系统的管道！在运行过程中难【免需要增设接—口或拆开检修等工作！从而对洁《净空：气造成污染影响室内！洁净：度等级且缩短—送风末端过滤器【的使：用寿命 《 《 3．0．2—3，  规定此条—主要：是考虑节能 — 《 3．0．》24  《排风：机并联工作比较复杂！尤其是对具》有峰值特性的不【稳定区在多台排【风机并联工作时易】受到扰动而恶化其】。工作性？能；因此设计—时要：慎重对待否则不但】达不到预期目的【还会无谓地增加能】量消耗为《简，化设计和便》于运行管理条—文中规定在》排风机？。联合：工作的情况下要尽量！选用相同型号、相】同性能的排风机【并联当排风机并【联安：装时要根据》排风机和系统—的风管特《性曲线？确定联合工况—下的风？量，和风压另外通风【机并联工作时设【。置，是否合理也是—至关重要《。的实：际工程？。中经常出现由于并联！运行的风机台—数过多或布置不【当实测结果经常【达不到预期的—总风量 《 3．【。0．25  规定本！条，是为了？防止防火阀的误动作！。而造成排风系统【。的失效从而引发安全！和生产的事》故另：外即使？发生火灾时也不要】将此类？排风系统停》止运行因为》一方面排风》系，统可兼作排烟—功，能另一？方面一旦停止运行工！艺，生产设？备将向车间内散发】比烟气毒性更大的有！害物质为了达到上】述要求设计人员要】在，前期方案设计时合理！规划并与相》关专业密切配合尽】量避：免风管穿越防火【分区墙？ —3，．0．26  规】定本条是避免频繁】更换吸附剂并减【少更：换，吸附剂对生产—的影响所以吸附剂】填料量要满足其【更换周期不短于3】个月的要《求 【3．0．《。28：  废气处理—。系统：的风机？、，处理设备等产生的】噪声影响主要有两】个方面一方》面是影响室内环境要！尽，量用风管、弯头和三！通等部件以及房间的！。。自然衰？减，。。降低或消除当仅靠】自然衰减《不能满足室内—噪声：要求时则需在风机吸！入段的排风管路系】统中：设置：消声：装置或采取》。其他消声《措，施如采用《。管式消声器等另【一方面是室外环境】当仅靠自然衰减不】能满足厂界和厂区噪！声要求？时，则要在风机压出段】的排风？管路系？统中设置消声装置必！要时需对风》机设置？隔声：罩 — 3．0．29 】 电子工《业生产过程大部【分为精密《加工对微振通常【有较严格的》要求废气处理—系统中的风》机、水泵《。等在运行《时，会产生较强烈的振】动如不予以》妥善处？理将会对《工艺生产《。产生不利影》响所以需采取隔振】措施：另，外对有微振》要，求的电子工厂排【风管道也是一个不】。。可忽视？的振：动源当？排风管道《。布置于有微》振要求的《。区域：。内或附？近时也需采取隔振】措施如采《用，减振支、《吊架风管下设置隔】振垫等 》 ： 3？．0：。．30  排风支】干管设置风》量调节阀是》便于各支干管风量】的调节？排风总管《设置测定孔是—便于风量、风压、有！害物浓度等》的测试对于系统【较大、排风支干管较！多的废气处》理系统每个》支，干，管末端设置微压【计是利于系统风量和！压，力平衡？以，及二：次配：管的实？施 — 3．0．3—1  考《。虑风管的气流—特性、强度、—材料消耗等因—素风管截《面采用圆形》是最为合理的但【。考虑到风管》安装所占用的空【间某种情况下采【用矩形风管也—是一个不错的—选，择而酸性、碱性【和，特种废气系统的【排风管？通常有凝《结液产？生所以风管截面需】。为圆形？以，利于凝结液》。的收集、排除 ！ ， 3．0．3【2  本条是—关，于选择废气处理设备！的，要求  ！   ？1  在工业通风系！统运：行过程中由于风管和！设备：的漏风？会导致排风口处【的风量达《不到设计值甚—至会导？致室内有害物浓度达！不到：设计和卫生》标，准的要？。求为了弥补》系统漏风可能产生的！不，利影：响选择末端处—。理设备？时需根据系》。统的类别《（低压、中》压或高压系统—）、风？管内的工作压力、设！备布置情况以—及系统特点等因素】附加系统《的漏风量 —    【 2  考虑流量】分配不均匀性等因素！循环泵的流量要【在，。系统需求流量—的基础？上附加？10％ ！ ，   ？3  规定》此款是为了提高【废气处理系统的【运行效率保证车【间，内，工艺设备排风口【的排风量以及废气处！理系统？的运：行安全 —    — 4  规定此款】是为了确保废气【处理设备在工作压】力，下，运行时不会发—生由于强度问题【。而变形另外废气【处理系统在运行过】程中也会《发生压力波》。动的情况为确保【系统安全运行所以】考，虑了一定的安—全系：数 — 3．？0．33《  本条是关于【选择排风机应考虑的！因素及要求 【     】1、2  》选择风机的基本特】性要求 《。 》   ？ 3  工》艺设：备一般？要求排风口处满足一！定的负压《要求：如某些设《备，酸排风要求为—－5：。00Pa排》风机风压需包—括此部？分的：压力 —  ？   ？4  规定本—款是考？。虑系统阻力》计算：的不：。精确性系统计算工】。况与实？际工程施工后—的工况间的差异以】及选：。用的：风机性能《与实际安装的风机】性能：间的差异等因素【  【   5《  当系统的设计】风，量，。和，计算阻？力确：定以：后选择？通风机时需》考虑的主要问题之一！是通风机《的，效率在满《足给：定的风？量和风压要求的条件！下通风机在最高效率！点，工作时其轴功率最】小在具体选》用，中，由于通风机》的规格所限不可能】在任何情况下都能保！。证通风？机在：最高效率《点工作因此条文中规！定通风机的设计工】况效率不要》低于最高效率的90！％一般认为在最【高，效率的90％以上范！围内均属于》通，风机的高效率区根】据我国目前通风机】的生产及供》应情况做到这一【点是不难的 【 3．—0．34《 ， 废气处理》设备的入口和出口设！。置采样口以便于采样！检测 ？ 3—．0．35  设置！在线污染因子监测】装置可以及时—。监测和记录》系，统，排放：情况 《