3 — 基本？规定 ？ 》 ， 3．0．》1  本条规定【了对有害物的控【制及工？。艺设备的要求 】  》  ： 对：于产生有害物质【的工艺生产设备采用！自动化、密闭、隔】离和在负压下操作】的措施可以避—免，直接操作并改善工】作人员的工》作条件 】     》对生产过《程，中，。不可：避免：产，生的：有害物质在排放【前进行净化》处理以符合国家现行！标准大气污染—物综合排放》标准GB 162】97等有关大气污】染物排放标准的要求！大气排放除执行【污染物最严格—的排放浓度标准外】还需要符合污染物总！量控制的《要求 3！．0．2  电子】工程：中依：废气污染物种类通】常将工艺废》气，。划分为酸性废气【、碱性废气、挥发性！。有机物（《VOCs）废气【、，特种废气、含尘废气！、焊锡？烟气、玻璃窑炉【废气等通《常，情况下同类废气可以！合并不相容》的废气分开设置【排风系统 — ？。 3．0《．3  本条规定了！。排风系统的划—分原则是《强，制性条文必须严【格执行 】 ，    1》  防？止不同种类和性质】的有害物质混合后】引起燃？烧或爆炸事故 【     ！2 ：。 避免形成新—的毒性、腐蚀性的】混，合物或化合物或【生成毒性、腐蚀【性更大的混合物或】化合物对人》体造成危害或腐蚀设！备，及管道如散发氰【。化物的电镀槽与酸】洗，槽，散发的气体混合时生！成，氢氰酸毒《害更大 》。 ？   ？  3  为防【止或减？缓蒸汽在风》管中凝结聚积—粉尘从而增加—风管阻力甚至—堵塞风管影》响通风系统的正常】运，行 《     4 ！ 避免？极毒和剧毒物质【。通过排风《管道及风口窜入其他！房间如将放散—砷烷：、磷：烷，、乙硼烷《。。、铅蒸气、汞蒸气】和氰：化物等？极，毒和剧毒气体的排风！与其他房间的—排风设为同一系统】时，当系统停止运行极】毒和剧毒气体可能通！过风管窜入其—他房间；极毒物质】是指车间空》气中有害物》质，。的，。最，。高允：。许浓度小《于0．1《m，g/m3《的物：质；剧毒物质是指】车间：空气中有害物质的】最，高允许浓度小于0】．1mg/m—3～1？mg/m3的物【质 ？ ？     》5  避免》燃，烧爆：炸性：。气体通？。过，排风管道及风口窜入！其他房？间 》 ：。3，．0：。．4  规定此【条主要是考虑节【能当个别排风点【的需求压力较高且又！出现在系统后三分之！一管路时《势必使整《。个排风系统的需求压！。力提高这是不合【理的最好分别设置】系，统 ： 3．0】．6  本条涉【及排风系统安全【、稳定运行以—及大气污《染问题 ！    1  一】。。些，电子工？厂洁净厂房内使用各！类品种、《一定数量的燃烧爆炸！性物：质通常在使用这些物！质的生产设备均设】。有局部排风》系统为此要采—取技术措施》防止这些物质的排风！系统对所在》厂房的？安全造成危》。害所以本款规定【为，强制：。性条文必须严—格执：行   ！  2  电子【工厂如芯《片制造生产设备的】局部排风系》统中有？毒有害物质主—要有酸？碱，类氢氟酸（H—F）、盐酸（H【Cl）、硫（—H2SO4》）、硝酸（HNO3！。）、氨（《NH3）等；有机】类异丙醇（IPA）！、，三氯甲烷（C—HC：l3）、六》甲基二硅胺（—HMDS）、丙酮】等，；特种？。气体砷？烷，（AsH3）—、硅烷（SiH4】）、磷烷（PH3）！、硼烷（《B，。2H6）、三氟【化氮（N《F3）、《六氟化钨《（WF6《）、三？氯氢：硅（Si《HCl3）、四氟化！碳（：CF4）、六氟化】硫（SF6）、一】氧化二氮（》。N2：O）等？这些物？质大部分对人类生】存环境具有巨大的危！。害性因此《要，求需根据国家—和地区污染物—排，放标准？进行净？化，处理 》 3．0．7】  本条规定了【燃烧：爆炸性危《险物质的排风系统风！量确：。定原则？是为了保《证安全 【 3？．0．8  本条规！。定了采用防爆—型废气处理系—统设：备的条件为》强制性条《文必：须严格执行 ！  ？   直《接，布置在有爆》炸，危险场所中的—废气处理系》统设备用于排除【、输送或处理甲、】乙类：物，质的废气处理系统设！。备以及排除、输送或！处，理含有燃烧》或爆炸危险的—粉尘、？纤维物质其含—尘浓度高于或等【于，其爆炸下限的25％！时或含甲、乙类物】质，的浓度高于或—。等于其爆《炸下限值《。的10？％时由于设备—内或外的空气中均】含，有燃：烧，或爆炸？危险性物质遇—火花即可能引起【燃烧或？爆炸事？故为此规定其废【气处：理系统的设》备，要采用防爆》型 ？ 3．0．】。9  本条》。规定了废气处—理，系统的设备、风管】和配件的《防静电接地要求【 ？    — 当静电积聚到一定！程度时就会产生静电！。放电：即，产生静电火花使【可燃或爆《炸危险物质有—引起：燃烧或爆炸的可能】因此做了如条文中】的有关规定 【    【 法兰跨接系指风管！法兰连接时法兰间密！。封垫：。或法兰螺栓垫圈常常！采用橡胶《材料故两法兰—之间需用金》属线：跨，接 ？ 3．0．1！0  本条规定了排！风风管布置原则【为强制性条》文必须严格执行 ！   —  有爆炸》危险的厂房、车间】发生事故后火灾【容易通过排风—管道蔓延扩大到建】筑的：其，他部位因此》其排风管道》。严禁穿过防》火墙：和有爆炸《。危险的？车间隔墙 【 ， 3．0．—。11  规》定本条的《目的是为了使排风】系统中含有的有毒】有害物质以及局部排！风系统？中排出的有较—高浓度的爆炸危险】性物质得以在大气】中，扩散稀释以免降【落到建筑物的空【气，动力阴？影区：和正：压区内污染周围空】。气或：导，致向车间内倒流 】 ， 《   ？ “建筑《。物的：空气动力阴影区”】指，。室，外大气气流撞击【。在建筑物《的迎风？面上：形成的弯曲现象【。及由此而导致屋顶】和背：风，面等处？由于：静压减小《而形成的负压区【；“正？压区”指《建筑物迎风面上由于！气，流的撞击作用而【使静压高《于大气压力的区【域一般情况下只有当！它和风向的》夹角：大于30《℃时才会发生静压增！大即形成《正压区 《 3．0】。．12  本条【规定了通风系统【排除凝结水的措施】。。 —    排除—潮湿气体或含水蒸气！。的排风系统》风管内表面有时会】因，其温度低于露点温度！而产生凝结水为了防！止系统内《凝结液腐蚀或堵塞设！。备及风管影》响，排风系统的正—常运行？条文中规定水—平敷设？的风管要有一—定的坡？度并在风管的低点】设置观察检》修口：在风管的最低点和通！风机：的底：部设置排除凝—结液装置对于酸、碱！、，挥发性？有机物和特》种废气系《统产生？的冷凝液需排至【相应的废水管—网中进行再处理为】。了，防止：由于排风管》路水密性不》好而发生排风管路中！的冷凝液渗》漏事故所以规定【排风管路系》统要有防渗漏措施】 3．】0．：13：  本条规定了【填，料洗涤式《废气：处理设备的设—置，原，则 ？     1！  规定断面风【速是：为了：保证：废气与洗涤液有充】分的接触时间—从而保证处理效率 ！ 》    2 — 填料洗涤式废气】处理设备的》填料厚度对处理【效率：起到至关重》。要，的作用填料厚度与】断面风速、喷淋循环！液流量、待处理污染！因子、填料》形式等有《关需根据《厂家提供《的公式？计算或曲线查取【 《 ：。 ，   3  喷【淋液循环量是—保证处理《效率又一《。重要因？。素规：定第1？项，是为了保证废气与吸！收液进行充分的质】。交，。换；规定第2项【是为了确《保填料充《分润湿这里的—填料面积《指，正对喷淋方向填料】横，断面：面积对于目前工程】中常用的逆》向流、？交叉流填料洗涤式】废气处理设备通常指！填料水平《断面面？积 ？     】4  ？规定此款是为了保证！被处：。理废气？与吸：收，液有足够的接触时间！从而保证处理效率】 《     6、】7  这两款规定是！为了防止废气处【理设备发《生冻：结 ？  》  ： 8  有些工程中！填料洗涤式》处理设备补充—。水采用纯水制备系统！的反渗透《浓水：结果纯水制备—系统的反渗》。透浓：水中的？钙离子大量结积在】填料和除雾器上【造成堵塞另》外酸废气洗涤塔是以！循环液的导电—率来：确定是否排水所以】以含盐量较高的【纯，水制：备系统的《反渗透浓《水作：为补水？也是不？适宜：的，。。如果酸废《气洗涤塔《内，补充再生《水再生水中残留【的，氨将：与酸废气中氟和氯离！子生成不易捕集【的氟化铵和氯化铵】同样理由再生水【也不适宜作为碱【。废气洗涤塔的补【水所以填料》洗涤式处理》设，备的补充《水一般为自来水【 3【。．0．14》  本条规定了压】入，式、吸入式、—。吹，吸式废气处理系【统的采用原则— ，。 《    《。 当排风中含有酸】性、碱性、特种等】有毒有害污染—因子：时如采用压入式【废气处理系统一方】面排风机《处于：。高浓度污染因子区】易被腐？蚀；另一方》面风机出《口与废气处理设【备间处于高正压【如风管系统密封【不好：或软接头破损部【分未经？处理的？。废气将会直接排入】大气污染环》。境对于排风中含有】挥发性有机物—。的废气处《理系统？综合考虑处理—效率、系统泄漏等】因素：采用：。吹吸式废气处理系】统使转轮浓缩—机与上游气流风机出！口间处于微负压或】微正压是较合—理的选择 ！ 3：．0．15  【规定此条主》要是为了符合节能要！求处理设备的压【力，损失指单级填—料或单级《。吸附材料的压力损】失且为运行压力损】失本：规，定，。不适合蓄热氧化设备！ ？ 3．0—．16 《。 本条是针对以【。往废气处理系统因设！置旁路会《。经，常出现？排放超？标和短路运行的现】象，提出的要求 】 ？3，．0．1《。7 ： 本条？为强制性条文—必须：严格执行 —。  》   ？1  为《了避免含有燃烧【爆炸性、毒性—。。。物质的排气管路向沿！程或路？由区：域泄漏形《成安全事故》的，发生：本款规定此类排【。气管路内压力要低】于路由区域内—的压力即保持一定】的负：压值 》     在美！。国消防协会》。的NFPA3—1，8洁净室消防标【准中的3．2—．3条规定含—有危险化《学品的废气应经【。由保：持相对于建筑—内正常使《用区域负压的—风管系统《。传输：但风机？、洗涤塔和处理装置！的下游除外 【  》   2、3、4】  这三款规—定是：为了提高排风系【统和废气《处理：系统的运行可靠【性防止因设》备故障或停电等原】因使燃烧爆炸性【、有毒物质未及时排！走或未得《到有效处《理而：发生事故或》污染环境《 3．0！．1：8 ： 本条是关于—废气处理系统排气】筒的设计要求— 《     排气筒！的高度不仅要—符合国？家及地方《环境保护《的相关规定》而且还要注》意符合本项目环境影！响报告书的相—关，要求实际《工程情况表明—往往后者《规定的？排气筒？高度：远大于前《者的要求 】     第2】～4款规定主要考虑！有毒有？害物：质虽：然经废气处理系统进！行了处理《并达到了排放标准】但不等于无害—为了：避，免该废气未经—。充分扩散、稀释【而降：落，地面被？。人，员吸入所以规定了】最低的？。排气：筒高度及较高的排】放速度？；同：样的理由规定了第7！款排气简要》远，。离新风吸入》。口废气处理系统总】体设计时需考虑此】因素  ！   第5款规【定，是为了方便环保【监测人员《测试废？气处理效果及废气排！放情况 — 3．0．1】9  ？本条是废气处理【系统风管的规定 ！ ，     【风管的防《腐性：。能应与？。所接触的腐》蚀性介质相》适应实际工程中【如废气中含有—HF当采《用普通玻璃钢风管】时其骨架材料玻璃丝！。布就不能抵御HF】的腐蚀系统运—行不久就得更—换另外即使同—。为玻璃钢但不同的】树脂：对各种酸性介质【的抗腐蚀《。性能也是不一—样的 》     经】调研发现近几年集】成电路前工序—工厂：和平板显示类工厂相！。继发生？的，几，。次火灾起因基本与工！。艺生：产有关但多数情况火！势是：沿着：非，不，燃材料的排风—管道扩散、蔓延引】起更大范《围内发？。生火灾造成巨额财产！损失：且有几起火灾—甚至造成部分电【。子产品供应中断引】。。发，市场价？格发生波动所以【规定：集成电路前工序【工厂和平板显示类】工厂的排风》管要采用不燃材【料制作 《 》3．0．21  】本条规定了风管及】配件的绝热措施【  【   1  —户外安装《的，废气处理系统—风管及配件当输送的！废气中含有》遇冷形？成凝结物《堵塞或腐蚀风管的】物，质如苯蒸汽》、硼蒸汽等将影【响废气处理系—。统的：正常工？作 ： ： ，。     2【  当除尘风—管内表面《结露时粉尘将会【沉积并堵《塞管道？ 》   ？ ， 3：  高温风管—如不采取《绝热：措施：有烫伤人体》的，危险 》 3《．0．22  洁】净室（区《）内的排风管如【直接采用产尘的【绝热材料一》方面在施工过—程中保温材料的【。纤，维会在空气》中飞扬难《以，清除：另一方面有》些排风系统的管【道在运行过程中【难免需要增设接口或！拆开检修等工作从而！对洁净空气造成污染！影响室内《洁，净度等级且》缩短送风末端过滤器！的使用寿命 ！ ：3．0．2》3  规《。定此条主《要是考虑《节能 《 ， 3．0．【24  排风机并】联工作比《较复杂尤其是—对具有？峰值特性的不稳定区！在，多台排风机并联工】。作时易受《到扰：。动而恶化其工作性能！。。；，因此设计时要慎【重对待否则》不但：达不到预期目—的，还，会无：谓地：增加能量消》耗为简化设计和【便于运行管》理条文中规定在排风！机联：合工作的情况—下要尽量选用—相同型号、相同【性，能的排？风机并？联当排风《机，。并联安？。装时要根据排风机】和，系统的风《管特性曲线确定【联合工？况下的风量和风压另！外通风机并联工作时！设，置是否合理》也是至？关重：要的实际工程中经】常，出现由于并联运行】的风机台数过多或布！置不当实测结—果经常达不》到，预，期的总风量》 ？ ： 3．0．2—5  ？规定本条是为了防】止防火阀《的误动作而造成排风！系统的失效》从而引发安全和【生产的事故》。另外即使发生—火灾：时也：不要将此类排风系】。统停止运行因为【一方面排风》系统可兼作排烟功】能另一方面》一旦停止运行工艺】生产设备《将向车？间内散发比烟气毒】性更大？的有害物质为了【达到上述要求—设计：人员要在《前期方案设计—时合理规划并与相关！专业密切配合尽量避！免风管穿越防火分区！墙 【3．0．26—  规定本》条是避免《。频繁更换吸附剂并减！少更换吸附剂对生】。产的影？响所以？吸附剂填料量要满足！其更换？周期不短于3—个月的要求 — 3．0】。．28  废气处】理系统的风机、处理！设备等产生的噪声影！响主：要有两个方》面一方面是影响【室内环境要尽量用风！管、弯头和三通等】部件以及房间的【。。自然衰减降低或消】除当仅靠自然—衰，。减不能满足室—。内噪声要求时则【需在风机吸》入段的排风管—路系：统中设置消》声装置或采取—其他消声措施—。如采用管式》消声器等《。另一方面《是室外环境》当仅靠自然衰减【不，能满足厂界和厂【区噪：声要求时则》要在风机压出段【的排风管路系统中设！置消声装置必—要时需？对风机设置隔声罩 ！ 3—．0．29  【电子工业生产过【。程大部分为精密加】。工对微振《通常：有较严？格的要？求废：气处理系统中的风】。机、：水泵等在运行时【会产：生较：强烈的？振动：。如不予？以妥善处理将会对工！艺生产产《生，不利：影响所以需采取隔振！措，施另外？对有微振要》求的电？子工厂排风管—道也是一《个不可？忽视的振动》。源当排风《管道布置于有微振】要求的区域内—或附近时也需采【取隔振措施如采用减！。振，支、吊架风管—。下设置？隔振垫等 】。 3．《0．30《  ：排风支干《管设置风量调—节阀是？便于：各支干管风》量的调节排风—总管设？置测定孔是》便于风量、风压【、有害物浓度等的测！试对于系统较大、】排，风支干管较多—的废气处理系统每个！支干管末端设置【微压计是利于系统】风量和压《力平衡以及》二次：配管的？实施 《 3．—0．31 》 考：。虑，风管：的气流？特性、强度、材料】消耗等？因素风管截面采用】圆形是最为合—理的但考虑到风管】安装：所占用的空间某种】情况下采用矩形风管！。也，是一个不错的选择而！酸性、？碱，性和：特种废气系统的排】风管通常有凝结【液，产生所以风管截面需！为圆形以利》于凝结液的收集【、排：除 》 3．《0．32 》 本：条，是关于选择废气处】理设备的要求 】。。 ：   《  1？  在工业通风系统！运行过程中由于【风管和设《备，的漏：风会：导致排？风，口处的风量达不【到设计值甚至会【导致室？内有害物浓》度达不到设计和卫】生，标，准的要求为了弥【补系统漏风可能【产，。生的不利影响—选择末端处》理，设备：时需根据系统的类别！（低：压、中？压或高压系统—）、风管《内的工作压力、设备！布置情况以及系统】特点等因素附加系统！的漏风量 】    》 2  考虑流量分！配不：均匀性等因》素循环？泵的流量要在—系统需求流量的基】础上附加10—％， 》    《 3  规定此【。。款是为？。了提高废气处—。理系：统的运行效率保证车！间，内工艺设备排风【口的排风量以及【废气处理系统的运】行安全 《 》    4  规】定此款是为了确保】废气处理设备—在工作压力下运行】时，不会发生由于强度问！题而变形另外废气】处理系统《在运行过程中也会发！生压力波动的情况为！确保系统安全运行所！以考虑了一定—的安全系《数， ： 《3．0．《。33  本条—是关于选《择排风机应考虑的】因素：。及要求 —     1】、2  选择风机的！基本特性要求—。 —    3  工】艺，设备一般《。要求排风口处满足】一定的负压要求如】。某些设备酸排风要求！为－：500？Pa排风机》风压需包括此部分的！压力 》 ，   《。。  4  规—定，本款是考虑系—统阻力计算的不【精确性？系统计算工况与【实，际工程施工后的工况！间的差异以及—选用的风机性—能与实际安装的风】。。机性：能间的？差异等因素 】     5】 ， 当系统的设计【风量和计算》阻力确定以》后选择通风》机时需？考虑：的主要问《题，之一是通风机—。的效率在满》足给：。定的风量和》风压要求的》条件下通风机在最】高效：率点工作《时其轴功《率最小在具体选用】中由于通《风机的规《格所：。限，不，可能：在任何情况下都能保！证，。通风：机，在最高效率点工【。作因此条文中规【定通风机的》设计工况《效，率不要低于最高效】率的9？0％一？般认：。。为在最高《效率的9《0％以上范》围内：均属于通《风机：。的高效率区根据我】国目前？通风机的生产及供应！情况做到这一—点是：不难的？ 》 3．？0，。．34 《 废气处理设备的入！口和出口设》置采样口以便于采】样检测 《 《。 3．0．35 】。 设置？。在线污染因子—。监测装置可》以及：时监测？和，记录系统排放—情况 《