， ， 3  基本规定！ ， 》 3．0．1 】 ，本，条规定？了对有害物》的控制及工艺设备】的要求？ ： 《    对于产【生有害物质的—工艺生？产设：备采用自动化、密】闭、隔离和在负压下！操，作的：措施可？以避免？直，接操作并改善—工作人员《的工作条件 ！  ？   ？对生产？过，程中不可避免—产生的有害物质【在排放前进行净化】处，理以符合国》家，现行标？准大气污《染物：综合排放标》准，GB 16297等！有关大？气污染物排放标准的！。要求大？。气排放除执》行污染物最严格的】排放：浓度标准外还需要符！合，污，染物总量控制的要求！ 3【．0．2 》 电子工程中依废气！污染物种类通常将工！艺废气划《分，为酸性废气、碱性】废气、挥发性有机物！（V：OCs）废气、【特种废气、含—尘废气、焊》锡烟气、玻璃—窑炉废气等通—常，情，况下同类废气可以合！并不相容《的废气分开设置【排风系统 —。 《。3，．0．3 》。 本条规定了排风】系统的划分原则【是强制性条》。文，必须严格执》行 》     1  ！防止不？同种类和性质的有害！物质：混合后？引起燃烧或爆炸事故！。 — ，   2  —避免形成新的—毒性：、腐蚀性的》混合物或化合物【或生成毒《性、腐蚀《性更大的混合—物或化？合物对人体》造成危？害或腐蚀《设备及管道如散发】氰化物？的电镀槽与》酸洗槽散发的气【体混合时《生成氢？氰酸毒？。害更大 《 ：   》 ， 3  为防止或减！缓蒸汽在风管中【凝结：聚积：粉尘从而增加风管】阻力甚至堵塞—风管影响《通风系统的正—常运行 ！    4  避】免极毒和剧毒物【质通过？排风管道及风口窜】入其他房间如将放散！砷烷、？磷烷、？乙硼烷？、铅蒸气、汞蒸气】和氰化物等极毒【和剧毒气体的—排，。。风与其他房间的排风！设为同？一系统时《当系统停止运行极毒！和剧毒气体可—能通过风管窜入【其他房间；极—毒物质是指车间【空气中有《。害，物质的最高》。允，许浓：度小于0．1mg】/m3的物质；【。剧毒物质是指车【间空气中有》害物质的最高允许浓！度小于0．》1m：g/m3～1mg】/m3的《。物质  ！   5  —避免燃烧爆》炸性气体《通过排风管道及风口！窜入其他房间 ！ 3．0．4】  规定此条—主要：是考虑节能当个别】排风点的《需求压力较高—且又出现在系统后】三分之一管路时势】必使整？个，排风：系统：的需求压力提高【这是不合《理的最？好分：别，。。设置系统 》 《 3．0．》。6  本《条，涉及排风系》统安全、《稳定运行以》及大气污染问题 】     ！1，。 ， 一：些电子工厂洁净【厂房内？使用各类品种、一定！数量的燃《烧爆炸？。性物：质通常在使用这些】物，质的生产设备均设】有局部？排风系统为此要采取！技，。术措施防止这些【物质的排风系统【对所在厂房》的安全造成》危害所以《本款规？定为强制性》条文必？须严格执行》   】  2  电—子工厂如芯片制造】生产：设备：。的局部？排风系统中有毒有害！物质：。主要有酸《碱类氢氟酸（—HF）、盐酸（HC！l）、？硫（H2SO4【）、硝酸（H—。NO3？）、氨（N》H3）等《；有：。机类：异丙醇？（IP？A）、三氯甲烷（】C，HCl3《）、六甲基二—硅胺（HM》DS）、丙酮等；】特种气体砷烷—（AsH《3）、硅烷（S【。iH4）、磷烷【（PH3《）、硼烷（B2【H6）、三氟化氮（！NF3）、六氟【化钨（WF6）、】三氯氢硅（SiHC！。l3）、四氟化碳】（CF4）、—六氟化？硫（SF6）、【一氧化？二氮（N2O）等】这些物质大部分对】人类生存《环境具有巨大的危害！性因此要求需根据国！家和地区污染物排】放标准？进行净化处理 】 《3．0．《7  本条规定了】燃烧爆？炸性危险物质的排风！系统风量确定原则是！为了：保证安全 — ： 3．0．8【  ：本，条规：定了采用防爆型废气！处理：系统：设备的？条件为强制性条【文必须严格》执行：    ！ 直接？布置在有爆炸危【。险，场所中的废气处【理系统设备》用于排除、输送【或，处理甲、乙类物质】的废气处理系统【设备以及排》除、输？送或：处理含？有燃烧或爆炸危险的！粉尘、纤维物质其】含尘浓度高》于或等于其爆炸下】限的25％时或含】甲、乙类物质—的浓度？高于或等于》其爆炸下限值的10！。％时由于设》。备内或外的空气中均！含有燃烧或爆—炸，危险性物质》遇，火花：。即可能引起燃烧或】。爆炸事故为此规【定其废气处理系统】的设：备，要采用？防爆型 》 3》．0．9《。  本条规定了【废气处理系统的【。设备、风管和—配件：的防静？电接地要求 】     当】静电积聚到一定【程度时就会产—生静电放电即—产生静电火花使【可燃或爆炸危险物】质有引起燃烧或爆炸！的可能因此》做了如条文中—的有关规定 — ，     法！兰跨：接系指风管》法兰：连接：时法兰间《密封垫？或，法兰螺栓垫圈常常采！用橡：胶材料故两法兰【之间需用《金，属线跨接 】 ， 3．0．10 】 本：条规定了排风风管】。布置原？则为强？制性条文必须严【格执行 【  ？   有爆》炸危险的《厂房：、车：间发生事故后火灾容！易通过排风管道蔓延！扩大到建筑的其【他部位因《此其排风管道严【禁穿过？防火墙和有爆—炸，危险的车间》隔墙 》 3《．0．11 — 规：定，本条的目《的是为了使》排，风系：统中含有的》有毒有害物质以及】局部排风系统—中排出的有较高浓度！的爆炸危险性—物质得以在大气【中扩散稀释以—免降落？到建筑物的空气动】力，阴影区和《正压：区内污染周围—空气或导致向车间】内倒：。流，。 》  ：   “建筑物【的空气动力阴影区】”，。指室：外大气气流撞击【在建筑？物的迎？。风，面上形？成的：弯，曲现象？及由此而导致屋顶和！背风面？等处由于静压—。减小：。而形成的负压区；】“正压区《”指建筑《物迎风面上》由于气流的撞—击作用？而使静压高于大气压！力的区域一般—情况下只《有当：它和风向的夹角大于！30℃？。时才会发生静压增】大即形成正》压区 【 3．0．1—2  本条规—定了通风系统—排除凝结水的措施 ！ ？  ？  ： 排除潮湿气体【或含水蒸气的排【风系：。统风管？内表面有时会因其温！度低于露点温度而】产生凝结《水，为了防止系统内【凝结液腐《蚀或堵塞《设备：及风管？影响排风系统—的正常？运行条文中规定水平！敷设的风管要有【一定的坡度并—在风管的低点设置】观察检修口在风【管的：最低点和通风机的底！部设：置排除？凝结液装置对于【酸、：碱、挥发性有机【。物和特？种废气？系统产生的冷—凝液需排《至，相应的废水管网【中进行再处理为【了防止由《于排风？管路水密性不—好而发生排风管【路中的冷凝液—渗漏事故所以规【定排风管路系统【要有防渗漏措—施 》 3？．0：．13？。  ：本条规定了填料【洗，涤式废气处理—设备的设《置原则 》 《    1  规】。定断面风速是—为了保证废》气与洗涤液有—。充分的接《触时间从而保证处】理效率 《    】 2  填料洗涤式！废，气处理设备的—填料厚度对处理效】率起到至关重要的作！用填料厚度与—断，面风速、喷淋循环液！流，量、待处理污染因子！、填料形《式等有？关需根据厂家—提供的公式计算或曲！线查取 》     3！  喷淋液循—环量是保证处理【效率又一重要—因，素规定第1项是为了！。保证废气与吸—收液：进行充分的质交换；！规定第？2项是为了确—。。保填料充分》润湿这？里的填料面积指正对！喷淋：方向填料横断面【面积对？于，目前工程中常—用的：逆向流？。。、交叉流填料洗【涤式：废气处理设》。备通常指填》料水平断《面面积 —。     【4  规《定此款是为了保【证，被处：理废气与吸收液有】足够的接触时间从而！保证处理《效率 《     】6、7  》这两款规定是为了防！。止废气处理设备发生！冻结 —     —8  有《。些工程中填料洗涤式！处理设备补充—水采用？纯水：制备系统《的反渗？透浓水结果》纯，水制：备系统的反渗透【浓，水，中的钙离《子大量结积在填料和！。。除雾：器，上造成堵塞另—外酸废气洗涤塔是】以循环液的导电率来！确定是否排水所以以！含盐量较《高的纯水制备—系统：的反渗？透浓水作为补水【也，是不适宜的如果酸废！气洗涤塔内补充【再生水再生水—中残留的氨将与酸】废气中氟和氯—离子生成《不易捕集《。的氟化铵和氯—化铵同样《理由再生水也不适宜！作为碱？废气洗涤塔的—补，水所以填料》洗涤：式处理？设备：的补充水《一般为自来水— 3．0！。．14  本—条规定了《。压入式、吸入—。。式、：吹吸式废气处—。理，系统的采用》原则 《 ，   》。  ：当排风中含》。有酸性、《碱性、特种等有毒有！害污染？因子时如采用压【入，式废：气处：理系统一方面排风】机处于高《浓，度污染？因子区易被腐蚀；另！一方面风机出口与】废，气处：理设备间处于高正】。压如：风管系统密封不好】。或软接头《破损部分《未经处理的废气将】。会直接排《入大气污染环境对】于排风中含有挥发】性，有机物的废气处理系！统综合考虑处理效率！、系：。统泄漏等因素采【用吹吸式《废气：处理系统使转轮浓缩！机与上游气流风【机出口间处于微负压！或微正？压是较合理的选【择 《 ： 3．0．》。15： ， 规：定此条主《要是：为了：符合节能《要求处理设备的压】力损失指《单级填料或》单级吸附材》料的压力损失且为运！行，压力损？失本规？定不：适合蓄热《。氧化设备 】 3．《0．16  本条是！针对以？往，废气处理《系统因设置旁路会】经常：出，现，排放超标和短路运行！。的现象提出的—要求： 3．】0．17  本【条为强制性条文【必须：严格执行 — ？     1  为！了避免含有燃—烧爆炸性《、毒性物《质的排气管》路向：沿程或路由区域泄】漏形：成安全事故的发【生本款规《定此类排气》。管路内？压力要？低于路？由，区，域内的压力即保持一！定的负压值 ！     在【美国消防协》会的NFPA318！洁，净室消？防标准中的3．2】．3条？规定含有危险化学】品的废？。气应经由《保持相对于》。建筑内正常使—用，。区，域负压的风管系统传！输但风机《、洗涤塔和处理【装置的下游除外 ！   —  2、3、—4  这三》款规定是为了提【高排风系统》和废气处理系统的运！行可靠性防止因【设备：故障或停电等原因】使燃烧爆炸性、【有毒物质未》及时排走或未得到】有效处？理而发生事故或污】染环境 【 3．0．18 ！ 本条是关》。于废气处理》系统：排气筒？的设计要《求， ？     排】气筒的高度》不仅要？符合：国家及？地，方，环境保护的相—关，规定而且还要注意符！合，本项目环境影响报告！书的相关《要求实际《工程情况表明往往】后者规定的排气筒高！度远大于前者—的要求 —   》  ：第2～4款规定主】要考虑有毒有害【物质虽然经废气【处理系统进行了【处理并？。达到了排放标—准但不等于无害为了！避免该废气未经充分！扩散、稀释》而降落地面被—人，员吸入所《以规：定了最低的排气筒】高度及较高的排放速！度；同样的》理由规定了》第7款排气简要远离！新风吸入口废—气处理系统总—体设计时需考虑此因！素 【   ？ 第5款规定是【为了方便环保监测】人员测试废》。气处：理效果及废》气排放情况》 —3．0．19  本！条是废气处理系统】风管的规《。定  】   风管的—防腐性能应与所接】触的：腐蚀性介质》相适：应实际工程中如【废气中含有》HF当？采用普通玻璃钢风管！时其骨架《材料：玻璃丝布就》不能抵御HF的腐】蚀系统运《。行不久就得更换【另外即使同为玻璃】钢但不同的树—脂对各种酸性介质的！。抗腐蚀？性能也是不一样的 ！ 》    经》调研发现近》几年集成电路前【工序工？。厂和平板显示类工厂！相继：发生的几次》火灾起因基本与【工艺生产有关但【多，数情况火势是沿着非！不燃材料的排—风管道扩散、—蔓，延引起更《大，范，围内发生火灾造成巨！额财产损失且有几】起火灾？甚至造？成部分电《子产品？供，应中断引《发市场价格发生波动！。所以：规定集成电》。路前工序《工厂和平板显—示类工？厂的排风管要采【用不燃材料制作 ！ 3》．0．2《1  本条》规定了风《管及配件的绝—热措施 】    《 1  户外安【装的废气处理系【统风管及《配件当输《。送的废气中含有【遇，冷形成凝结物堵【塞或腐蚀风管的物】质如苯？蒸，汽，、，。硼蒸汽？等，将影响废气》处理系统的正常工作！ ， ？ ：    2 — 当除尘风管内【表面：结露时？粉尘将会沉积并堵塞！管，道   ！  3  高温【风管如不采取—绝热措施有》烫，伤人体的《危险 】3．0．22 【 洁净室（》区）内的排风管【。如直接采用产尘的绝！热材料？。一方面在施工过【程中：。保温材料的》纤，维会在空气》中飞扬难以清除另一！方，面有：。些排风系《统的管道在》运行过程中》难免：。。需，要，。增设接口或》拆开：。检，修等工作从而对洁】净空气造成污染影响！室内洁净度等—级且缩？短送风？末端过滤器的使【用寿命 《 《。 3．0．23【  ：规定此条《主要是考《虑节能 — 3．0．【2，4  排《风机：并联工作比较复杂】尤其是对《具有峰值特性—的，不稳定区在多—台排风机并联工作时！易受到扰动而—恶化其工作性—能；因此设》计时要慎重》对待否则不但达不到！预期目的还会无谓】地增加能量消耗【为简化设计和便于】运行管理条文中【规，定在：排风机联合》工作的情《况，下要尽量选》用相同？型号、相同性能的】排风机并联》当排风机《并联安装时要根【据排：风机和系统的风【管特性曲线确—定联合？工况下？的风量和风压另外通！风机并联工》作时设？置是否合《理也是至关》重要的实《际工程中经常出【现由于？并联运行的风机【台数过多或布置【不当实测结果经【常达：不到预期的总风量】 》 ，3．0．25  规！定本条是《为了防止防火阀【的误动？作而造成《排风：系统的失效从—而引：发安全和生产—的事故另《外即使发生火—灾，时也不要将此—类排风系统停止运】行因为一方面排【风系统可兼作排烟】功能另一方面一旦停！止运：行，工艺生产设备将向车！间内：散发比烟《气毒性更《大的：有害物质为了—达到上述要》求设：计人员要在前期【方案设计《时合理规划并与相】关，专业密切配合尽量避！免风管穿越防火分区！墙 ： 3．0】．26  规定【。本条是？避免频繁更换吸附剂！并，减少更？换吸附？剂对生产的影—响所以吸附剂填料量！要满足其更换周期】不短于？。3个月的要》求 3．！0．28  废气】处理系统的风机【、处理设备等产生的！噪声影响主要—有两个方面一—方面是影响室内环境！要尽量用风》。管、弯头和》三通等部件以—及房间的自然衰减】。降低或消除当仅靠】自然衰减不能满足】室内噪声要求时则】需在风？机吸入段的排—风，管路系统《。。中设置消声装置或】采取其他消声—措施如？采用管式消声器等另！一方面是室》外环境当仅靠自然衰！减不能满足厂界【和厂区噪声》要求时？则要：在风机压出》段的排风管路—系统中设置消声【装置必要时需—。对，风机：设置隔？声罩： ： 3．—0．29《  电子工业—。生，产过程大《部分为精密》加工对微振通常有】较严格的要》求，废，气处理系统》中的风机、》水泵等在运行时会产！。生，较强烈的振动—如不予以妥善处【。理将会对工艺生产产！生不利影响所以【需采取隔振》措施：另外对？有微振？要求的？。电，子工厂排风管道【也是：一个不？可忽视的振动源当】排，风管道布置于有【微振要？求的区？域内或附近时也需采！取隔：振措施如采用减振】。支、吊架《风管下设置隔振垫等！ 3．0！．，3，0  排风支干管设！置，风量调节阀是便于】各支干管风量—的调节排风总管设】置测定孔《是便于风量》、风：压、有？害物浓度《等，的测：试对于？系统较大、排—风支干管较多的废】气处理？系统每？。个支干？管末端设置微压计】是利于？系统风？量和压力平衡以【及二次配管的—实施 — ：3．0．《31  考虑风管】的气流特性、强度、！材料消耗《等因素风管截面采】用圆形是最》。为合：理的但？考，虑到：风管安装所》占用的空间某种情况！下采用矩形风管【也是一个不错的选】择而酸性、》碱性和特种废气系】统的：排，风，管通常有凝》结液产生所》以风管截面需为圆形！以利于凝结液的【收，集、排除 】 3．0．—32 ？ 本条是关于选【择废气处理设—备的要求《 ，     ！1  在工业—。通风系统运行—过程：中由于风管和设备】的漏风会导》致排风口处》的，。风量达？不到设计值甚至【。会导致室内有害【物，浓度达不到》设计和卫生标准的要！求为了弥补系统漏】风可能产生》的不利影《响选择末《端处理设《备时需根据系—统的类别（低压、】中压或高压系统）、！风管：内的工？。作压力、设备布置情！况以及系统特点【等因素附加》系统的漏风量 【   【 ， 2  考》虑流：量分配不均匀—性，等因：素循环泵的流量要在！系统需求流量—的基础上附》加10％ ！    《 3：  ：规定此款是为—了提高？废气处理系统的【。运行效？率保证车间内工艺】设，备排风口的排风量以！及废气处理系—统的运行《安全  ！ ，  4  规定【此款是为了确保废气！处理设备《在工作压力》下运行时不会—发生由于《强度问题而》变形另外废气—处理系统在运行过程！中也会发生压力波动！的，情况为确保系统安】全运行所以考虑了】一定的安全系数 】 》3．0．3》3  本条是关【于选择排风机应考】虑的因素及》要，求 —     1—、2  选择—风机的基本特性要求！ ：     】3  工《艺设备一般要—求排风口处》满足一定的负压【要求如某《些，设备酸？排风要求《为－5？00：Pa排风《机，风压需包括此部分的！压力 》     4 ！ 规定本款》是考：虑系统阻力计—算的：不精确性系统计算】工，况与实际《工程施？工后的工况》间，的差异以及选用【的风机性能与实际安！装的风机性能间【的差异等因》素， ？   》  ：5  当系统的设】。计风量和计算阻力确！。定以：后选择通《。风机时需考》虑的主要《问题之一是》通风：。机的效率在满—足给定的风量和风压！要求的条件下通风机！在最：。高效率？点工作时其轴功率最！小在具体选用中【由于通风《机的规格所限—不可能在任何情况下！都能：。保证通风机》在最高效率点工【作，因此条文中》规定通风机的设计工！况效：率不要低于最高效率！的90％一般认为在！最高效率的90％】。以上范围内》。均属于通风》。机，的高：效率区？根据我国目前通【风机的生产及供应情！。况做到这一》点是不难的》 3．】0．34  废气处！理设备的入》口和出口设》置采样口以便于【采样检？测 3】．0．35  设】置在：。线污染因子监—。测装置可以及时【监测和记录系统【排放情况 —