， ？3  ？。基本规定 【 ， ， 3《．0．1  本条规！定，了对有害物》的，。控制及工《艺设备的要求 】 ，     对】于，产生有害物质的工】艺生产设备》采用自动化》、密：闭、隔离和在负压下！操作的措《。施，。可以避？免直接操作并—改善工作人员的【工，作条：件 ：     ！对生产过程中不可】避免产生的》有害物质《在排放前进行—净，化处理以符合国家】现行标准《。大气污染《物综合排《放标准GB —16297等有关】大气污？染物排放《标，准的要求大气排放除！执行：污染物最严》格的排放浓度标【准外还需要符合污染！物总量？控制的要求 ！ 3？．0．2  电子】工程中依废气污染物！种类通常将工—。艺废气划分为酸性】废气、碱性废气、】挥发：性有机物（VOCs！）废气？、特种废气、含尘】废，气、焊锡烟》气、：玻璃窑炉废气等【通，常情况下同类废气可！以合并不相容的废气！。分开设置排》风系统 【 3．《0．3  本条【规定：了排风系统的划分】原则是强制性—条，文必须严格执—行 《    — 1  《防止：不同种类和性—质的有害物质混合后！引，起燃烧或爆》炸事故 —   》  2  避免【形成新的毒性—、，腐，蚀性的混合》物或化？合物或生成毒性、腐！蚀性：更大的混合物或化】合物对人体造成危】害或：腐，蚀设备及管》道如散发氰化物【的电镀槽与酸洗槽】散发的气体混合【时生：成氢氰酸毒害更大 ！ ，   —  3  为防止】或减缓？蒸汽在风管中—凝结：聚积粉尘从而增加】风管：阻力甚至堵塞风管】影响通风系》统的正常《运行 — ， ，    4》  避免《极毒：和剧毒？物质通过《排风管道及》风口窜入其他房间如！将放散砷《烷、磷？烷、乙硼烷》、铅蒸气、汞蒸气】和氰化？物等极毒《和剧毒？气，体的排风与其他【房间的排《风设为同一系统时当！系统停止运行—极毒：和剧毒气《体可能通过风管窜入！其他房间；极—毒物质？是指车间空气中有害！物质的最高允许浓度！小于0？．1：mg/m3》的物质？；剧毒物质是指【车，间空气中有害物【。质的最高允许—。浓度小于0》．1mg《/m3？～1mg/m—3的物质 ！     5—  避？免燃：烧爆炸性气》体通过？排风管道及风口【窜入其他房》间， ， ， 3》。．0．4  规定】此条主要是考—虑节能当个》别排风点的需求【压力较高且又出现】在系统？后三分之《一，管路时势必使整【个排风系统的需求】。压力提高这是不合】理的最好分别设【置系统 》 ？ 3．0．6 【。 ，本条涉及排风系统安！全、稳定运》行以及大气污染问题！ ？     【1  一些电—子工厂洁《净厂房内使用各类】品种、一定数—量的：燃烧爆炸性物质通】。常在使用《这，些物：质，的生产设备均设有】局部排风《。系统为？此要采取技术措【施，防止这些物质的排】风系统对所》在，厂房的安全造成危】害所以？本款规？定为强制性条文必】须严格执行 】 ？    2  电】子，工厂如芯片制造生产！设备：的局部排风系统中有！。毒有害物质》主要有酸碱类氢氟】酸（HF）、盐酸】（HC？l）、硫（H2SO！4）、硝酸（H【NO：3）、？氨（NH3）等【；有机？类异丙醇（IPA】）、三氯甲烷—（CHCl》3）、六甲基—二硅胺（HMDS）！、丙酮等；特—种气体砷烷（A【sH3？）、硅烷（SiH】4）、磷烷（P【H3）、《硼，烷（B2H6）、三！氟化氮？。。（NF3）、六氟】化钨（WF6）、】。三氯氢硅（SiH】Cl3）《、四氟化碳（CF4！）、：。六氟：化硫（SF》6）：、一氧化二氮（N2！O）等这些物质大】部分对？人类生存环境—具，有巨大的《危害性因《此要求需《根据国家和地区【污染：物，排放标？准，进行净化《处理 — 3．《0．：7  本条规—定了燃烧《爆炸性危险物质的排！风系统风量》确定原？则是为了保证安全 ！ 3．0．！8  ？本条规？定了采用防爆型废】气处理系统设备的条！件为强制性条文必须！严格执？行 》  ？   直《接布置？在有爆炸危险场【所中的废气》处理系统《。设备用？于排除、输送—或处理甲《、乙类物质的废气】处理：系统设备以及排【除、输送或处理【含有燃烧或》爆炸危险的粉尘、】纤维物？质其含尘浓度高于】或等于其《爆炸下限的25％时！或含甲、《乙类物质的浓度高】于或等于其爆—炸下限值的10【％时由于设备—内或外的空气中均】含有燃烧《或爆：炸危险性物质遇火】花即可能引起—燃烧或爆炸》事故为此《规定其？废气处理系统的【设备要采用防爆【型 3．！0．9  本条规】定了废气处理系【统，的设备、风管和配件！的，防静电？接地要求 】   《  当静电积—。聚，到一：定程度时就会产生】静电放电《即产生静电》。火花使可《燃或爆炸《。危险物质有》引起燃烧或爆炸的】可能因此做了—如，条文中的有关—。规定 【    《 法兰跨接系指风管！法兰连接时法兰间密！封垫或法《兰螺栓垫圈常常采用！。橡胶材料故两法兰之！间需用金属线—。跨接 — 3．0．1【0  本条》规定了排风风管布】置，。原，则，为强制性条》文必须严格执行【 ， 《   ？ ， 有爆炸《危险的厂房、车间发！生事故后火灾容易通！过排风管道蔓延【扩，。大，到建筑的其他—部位因此《其排风管道严禁穿】过防火？墙和有爆炸危险的】车间隔墙 】 3．《0．：1，1，  ：规，定本条的《目的是为了使排风】系统中？含有的有毒有害物质！以及局部排》风系统中排出的有】较高浓度的》爆炸危险性物—质得以在大》气中扩散稀》释以免降落到建筑物！的空气动力阴影区和！正压区？内，污染周围空气或导】致向车间《内倒流 《     ！“建筑？物的空气动力阴影】区”指室外》大气气流撞击在建】。筑物：的迎风面上形—成的弯曲《现象及？由，此而导致屋顶和【背风面等处由于静压！减小而形《成的负压区》；“正压区”指建筑！物迎：风面上由于气流的撞！击作：。。用而使？静压高于大气压力】的区域一般情—况下只有《当它和风向的—。夹角大于《30℃时才会发生静！。压增大即形成正【压区 3！．0．12  本条！规定了通风系统【排，除凝结水的措施 】 《     排—除潮湿气体》或含水蒸气的排风】系，统风：管，内表面有时》会因其？温度低于露点温度而！产生凝结水》。为了防止《。。系，统内凝结液腐—蚀或堵塞《设备及？风管影响排风—系统的正常》运行：。条文：中规定水平敷设的风！管要有一定的坡【度并在风管的低【点设置？观察检修口在—风管：的最低点和通风【机，的底部？设置排除凝结液【装置对于《酸、碱、挥发—性有机？物和特？种废气系统产生的冷！凝液需排至相应【的，废水：管网：中进行再处》。。。理为了防止由于排风！管路水密性不好而发！生排风管路》中的冷？凝液渗漏事》故所以规《定排风管路》系统要？有防：渗漏措施 》 ？ 3．0．13 ！ 本条？规定了填料》洗涤式废气处理【设备的设置原则 ！ ， ，   《  1  规定【断面风速是为—了保证废气》与洗涤液《有充分的接触时【间从：而保证处《理效率 》 《  ：  2  填料洗涤！式废气处理》设，备的填料厚度对处理！效率起到至关重【要的作用填料厚度】与断面？。风速、喷淋循环液流！量，、待处理污染因【子、填料形式等有】关需根据《厂家：提，。供的公式《计算或曲线查—取 ： ？  ？。   ？3  喷淋液—循环：量是保证《处理效？率又一重要》因素规定第1项【。是，为了保证废气与吸】。。收液：。进行：。充分的质交》换；规定第2项【是为了确《保填料充分润湿这】里的：。填料面积指正对【喷淋方向填料横断面！面积：对于：目前工？程中常用的逆向【流、交叉流填料洗】涤式废气处理设【备通常？。指填料水平断面面】积   ！ ， 4  规》定此款是为了—保证：被处理废《气与吸收液有足【够的接？触时间从而保证处理！效率  ！   6、7  】这两款规定是为【了防止？。。废气处理设备发生】冻结 《。 《    8  有些！工程中填料》洗涤式处理设备补】充水采？用纯水制备系统的】反渗透？浓水：。结果：。纯，水制备？系统的反《。渗透：浓水中？的钙离子大量结积在！填料和除雾器—上造成？堵塞：另外酸？废气洗涤塔是—以循环液《的导电？。率来确定是否排水】所，以以含盐量较高的】纯水：制备：系统的反渗透浓水作！为补水也《是不适宜的如—果酸废气洗涤塔内】。补充：。再生水再生水中【残留的氨将与—酸废：。气中氟？和氯离子《生成不？易捕集的氟化铵【和氯化铵同样—理由再生《水也不适宜作为【。碱废气洗涤塔的【补，水，。所以填料洗涤式处】理，设备的？。补充水一《般为：自来水 ！3．：0．1？4  本条规定了】。。压入式、吸入—式、吹吸式废—气处理系统》的采用原则 ！     当排风！中含：有，。酸，性，、碱性、特种等有毒！有，害，污染因子时》如采用压《入式废气《处理系统《一方面排风机处【于高浓度污》。染因子区易被腐【蚀；另一《方面风机出口与废】气处理设备间处【于高正压如风管【系统：密封不好或》软接头破损》部分未经处理—。的废气将会直接【排入大气污》染环境对《于排：。风中含有挥发性有机！物的废气处理系统】综合考虑处理效【率，、系统泄《。漏，等因素采用吹吸式】废气处理系统—使，转，轮浓缩机与上游气流！风机出口间处于微负！压或微正压是较合】理的选择 》 3．【0．15 》 规：定此条主要是为了符！合节：能要：求处理设备的压力】损失指单级填料或】单，级吸附材料的压【力损失且为运—行压力损失》本规定？。不适合蓄《热氧化设《备 【3．0．16  】本条是针对》以往废气处》理系统因设置—旁路会经常出—现排放超标和—。。短路运行的现—象提出的要》求 ： 》3．0．1》7  ？本条为强制性—条文必须严格—执，行 ： ， ：   《  1  为了避免！含有燃烧爆炸性、】。毒性物质的排气管路！向沿程或路由—区域泄？漏形成安全事故的】发生本款《规定此类排气管【路内压力要低于【路，由区域内的压力【即保持一《。定的负压《值 ？     在！美，国消防协会的NFP！A3：18洁净室消防标准！中的3．2．—3条规定含有—危险化学品》的废气？应经由保持相—对于建筑《。内正常使用区域负压！的风：管系统传输但风机】、洗：涤塔：和处：理装置的下游除外 ！  —   2《、3、4  —。这三：款规：定是为了提》高排风系统和废气处！理系统的运行可【靠，性防止因设备故障】。或停电？等原：因使燃？烧爆：炸，性、：有毒物质未及时排走！或未得到《有效处？理，而发生事故》或污染环境》 3．0！．18  本条是关！于废气处理系统排】气筒的设计》要求 》     排气！筒的高度不仅要符】合国家及《地方：。环境保护的相关【规定而且还要注意】符合：。本项目环境影—响报告书的相关要求！实际工程《情况表明往往后【者规定的排气筒高度！远大于前《者的要求 》 》。    第2～【4款规定主》。要考虑有毒有—害物质虽然经废气处！理系：统进行了处理并【达到了排放标—准但不等于》无害为了避免该废】。。气未：经充分扩《。散、稀释《而降落地面被人【员吸：入所以？规定了最低的排气】筒高：度及较高的》排放速度《。。；同样的理由—规定了第7款排气简！。要远离新风吸—入口：废，。气处理系《统总体设计时需考】。虑此因素 ！    《 第：5款规定是为了方】便，环保监测《人员测试《废气：处理效果及废气排放！情，。况 ？ 3》．0．1《9  ？本，条，是，废气处理系统风【管的规定 】 ： ，。   风管的—防腐性？能应：与所接触的腐蚀【性介质相适应实际工！程中：如废气中含有H【。F当采用普通—玻璃钢？风管时？。其骨架材料玻璃丝布！就不能抵御》HF的？腐，蚀系统？运行不久就得更【换另：外即使同《为玻璃钢但不同的】。树脂：对各种酸《性介质的抗腐—蚀性能？也，。是不一样的 ！     经【。调研发现近几年集】成电路前工序工厂】和平板显《示类工厂相继—发生的几次》火灾起因基本与工艺！生产有关但多数【情况火势《是沿着非不燃材料的！排风：。管道扩？散、蔓延引起更大范！围，内发生？火灾造？成巨额财产》损失且有几起火【灾甚至造成部分电子！产品供？。应中断引发市场价格！发生波动所以—规，定集成电路前—。工序工厂和平板显】。示类工厂的排—风，管要采用不燃材【。料制作 ！3．0？．21  》本条：规定了风《管及配件的绝热措施！   】  ：1  户外》安装的？废气处？理系：统风管及配件当【输送的废气中—含有遇？冷形：成凝结？物堵塞或腐蚀风管的！物质如苯蒸》汽、：。硼蒸汽？。等将影响废气处理】系，统的正？常工作 ！    《。2  当除尘风【管内表面结露时粉】尘将会沉积并堵塞】管道 》。  《   3  —高温风管如不—。采取绝热措施有烫伤！人体的危险 — 3．0】．22  洁—净室（区）内的【排风管如直接采【用产尘的绝热—材料一方《面在施？工过程中保温材料的！纤维会在空气中【飞扬难以清除—另一方面有些排【风系统的管道在【运行过程中》难免需要《。增设接口或》拆开检？修等工作从而对【。洁，净空气造成污染影响！室内洁？净度：等级且缩短送风末】端过滤器《的使用寿《命 【3．0．23 【 规：定此条主要是—考虑节能 — ：。 3．0．24】  排风《机并联？工作比较复杂—尤其：是对：具有峰值特性的【。。不稳定区在多台【排风机并《联工作时易受到扰动！。而恶：。化其工作性能；因此！设计时要慎重对待】否则不？但达不到预期目的还！会无谓地增加能量消！耗为简化设计和便】于运行管理条文【中规定在《排风机联《合工作的情况下要】尽量：选，用相同型号、相【同性能的排》风机并联当排风【。机并联安装时要根据！排风机和系》统的风管特性曲【线确定联合工—。况下的风量和—风压另外通风机并联！。工作时设置》是否合？。理也是至关重要的】实际工程中经—常出现由于并联【运行的风机台数过多！或布置不《当，实测结果经常—达不到预期的总【风量 ？ ？ 3．0．2【5 ： ，规，定本条是为了防止防！火阀的误动作而造成！排风系统的失效【。。。从而引发《安全：和生产的事故另【外即使发《生火灾时《也不要？将此类排风》系统停止运行因为一！方面排？风系统可兼作排烟功！能另：一方面？一旦停止运行—工艺生产设备将【向车间内散发比烟】气毒性更大的有害】物质为了达到—上述要求设计人员要！在前期方案设计时】合理规划并与相关专！。业密切配合尽量【避免风管《穿越防火分区—墙 ： ： 3．》0．26 》 ，规定本条是避—免，。频繁更换《吸附剂？并减少更换吸—附剂对生产的—影响所以吸附剂填】料量要？满足其更换》。周期不短于》3个月的要求— 《 3．《0，．28？  废气处》理系统的《风机：。、处理？设备等产生的噪声】影，。响主要有两个方面一！方面是影响室—内环境要尽量用风】管，、弯：头，和三通等部件以及】房间的自然衰减降低！或消除当仅靠自然】衰减不能满足—室内噪声要求时【则，需在风机吸入段的排！风管路？。系统：中设置消声装置或采！取其：他消声？措施如采用管式【消声器？等另一？方面是？。室外环境《当仅靠自然衰减不能！满足厂界和厂—。区噪声？。要求时？则要在？风机压出段的排风管！路系统中《设置消？声装置必要时需对风！机设置隔声罩 【 3．【0，．29？  ：电子工业生产—过程大部分为精密】加工对微振通常有】较严格的要求—废气处理系统中的风！机、水泵《等在：运行时？会产生较强烈的振动！如，。不予以妥《善处理？将会对工艺生—产产生不利》影响所？以需采取隔振措施】另外对有微振—要求：的电子工《厂排风管道也是【一个不可忽视—的振动源当排风管】道布：置于有？微振：要求的区《域内或附近时也需采！取，隔振措施如》采用：减，。振支、吊架》风管下设置隔振【垫等 》 3．》0．3？0  排《风支干管设》置风量调《节阀是便于各支【干管风量《的调节排风总管设置！测定：孔是便于风量、风】压、有害物》浓度等的测试对【于系统较大、排【风支干管较多—的废气处理系统每个！。支干管末端设置微】压计是利于系统风】量和压力平》衡以及二次配管的实！。施 》 ：3．0．31 【 考虑风管的气流特！性、：强度：、材料消《耗等因素风管截面采！用圆形是最为合理】的但考？虑到风管安装所占】用的空间某种情况】。下采用矩形风管【也是一个《不，错的选择而酸性【。、碱性和特种废气系！统，的排风管通常有凝结！液产生所以风管截面！需为圆形以》利于凝结液的收【集、排除 【 ： 3．0《．32  》本，条是关？于选：。择废气处理设备的】要求 》     1 ！。 在工业通风系【统运行过程中—由，于风管和《设备的漏风会导致排！风口处的风量达不到！设计值甚《至会导致《室内有害物浓度【达不到设计和卫生标！准的要求为了弥【补系统漏风可能产生！的不利影《响选择末端处理设备！时，需根据系统的类【别（低压、》中压或高压系统【），、风管内的》工作压力、设备【。布置：。情况以及系统特点】等因素附加系统的】漏风量 】     》2，  考虑流量分【。配不均匀性》等因素循环泵的流】量要在？系统需求《流，量的基础上附加10！％ 》 ：    3  规定！此款是为了》。提高废气处理系统的！运行效率保证车【间内工艺《设备排风口》的，排风：量以：及废气处《理系统的运》。行安全？ 《  ？   4  —规定此？。款是为了确保—。废，气处理设备在工作】压力下？运行时不会发生由于！强度问题而变形另】外废：气，。处理系统《在运行过程中也会发！生压力波动的情况】。为确保系统》安全：运行所以考虑了一定！的安全系数 【。 《3．0．33—  本？条是关于选择排【风机应考虑的—因素及？要求 【  ：。 ，  1？。、2  选择风【机的基本特性要【求  】   3  工艺】设，备一般要求排风【口处满足一定的【负压要求如某—。些设备酸排风要求为！－5：00Pa《。排风机风压需包【括此：部分的压力》 》    《 ，4  规《定本款是考》虑系统阻力计—算的不精确性系统计！算工况与《实际工？程施工？后的工况间》的差异以及》选用的风机》性能与实际安装【的风机性能间的差】。异等因素 【     5 ！ 当系统的设—计风：量和计算阻力确定以！后，选择通风《机时需考《虑的：。。主要问题《之一是？通风机的效率在满足！给定的风量和风【压要求的条件下通】风，机，在最高效率点工【作时其轴功》率最小在具体选用中！由于通风机的规格所！限不可能在》任，何情况下都能保【证通风机《在最高效率》点工作因此条文【中规：定通：风，机的：设，计，工况效率不要—。低，于最高效率的90％！一般认为在最—高效率？的90％以上范围内！均属于通风机的【高，效率区根《据我国目前》通风机的《。生产及供《应情况做到这—一点是不难的 【 ？ 3．《0．34  废气处！理设：。备的入口和出口【设置采样《口以便于《采样检测《 》 3．0．3—5  设置在—线，。污染因子监测装置可！以及时监测和记【录系统？排放：情况： ：