： 5  碱性废气！。系统 】 5》．1  一般规定 ！ 5．！1．1？  ：碱，性废气包括氢氧化】钾、氢氧化钠、氨气！、胺等碱性》物质排气如与酸【性废：气在风管内》混合将会产生结晶堵！塞，风管同时由于酸、】碱、挥发性有机物（！VOCs）废气处理！方式各不《相同没有一种设【备能够同时有效处理！所有污染物碱性废】气系统？采用专用《系统能够有效避免输！送管道内结晶—物形成专用系统针】对性处理碱性废【气处理效率高能够降！低污染物排放量【 5【．，1．2  》。填料洗涤式碱—性废气？处理系统《要求连续《、稳定工作对排【。风量波动《、污染物组成、浓】度的变化能迅速调】节为确保《污染物达标排放对】系统的基本组成做了！。规定 【 5．1．3—  集？成电路工厂》、平板显《示器工厂等大型【电，。。子工：厂的工艺《。生产是连续性的【对排风要《求是连续《和稳定的碱性废气系！统需：要定期检修和维护】以及保障某台—处理设备和排—风机发生《故障：时系统仍能够满足】工艺设？备排风需《求，碱性废气《系统：处，理设备和排风机要设！置备用对于非连续】性生产的小型—电子工厂工艺生产是！非连续性的或—。者，碱性排风系》统，发生：故障时？工艺生产《。短期停止运》。行造成损失不大的情！形一般不《。设置备用处》。理设备排风机初期投！资小也需要》定期检修因》此要：根据：工艺生产实》际需求确《定是否设置备用【处理设备 ！ ，5．：1．4？  电子工业洁净】厂房密闭性强当排风！。系统停止《运行时无法依靠【。。自然通？风稀释？污染物？将，会造成工艺设—备和：排风：管道内污《染物外溢至洁净【室内危害室内人员】安全碱？。性，废气系统处理设备】和排：风，机按一级《负荷供？电的目的《是提高电源可靠【性，保障碱性排风—系统正？常运行保证》。室内人员安全和保护！。环境 —。 5．1》．5  由于—管道：施工原因《碱排风管道内的碱液！容易：发生泄漏腐蚀洁【净室吊顶及》FFU严《重的会影响洁净室内！工艺生产因此建议排！。。风管道布置在下【夹层内 》