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5 碱【性废气系统》
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5.1 】一般规定《
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5.1.【1 碱《性废气包《括氢氧化钾、氢氧】化钠:、氨气、胺等碱性物!质排:气如与酸性》废气在风管》内混合将会产—生结晶堵塞风管同】时,由于酸、碱、—挥发性有机物(VO!Cs)废《气处理方《式各:不相同没有一—种设备?能够同时《有效处理所》。有污染物《碱性废气系统—采用专?用系:。统,能够有?效避免输《送管:道内结晶物》形成专用系统—针,对性处理碱性废【气处理?效率高?能够:降低污染物排—放量:
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5.1.】。2 填料洗涤式】。碱性废气《处理系统要求连续】。、稳定工作对—排风量波《动、污染《物组成、《。。浓度的变化能迅【。速调节为确保污染】物达标排放》。对系统的基本组成】。做了:规,定
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?5.1.3》 集成电》路,工,厂,、平板显示器工厂等!。大,型电:子工厂?的工:艺生产?是连续性的对排风】要求:是连续和稳定的【碱性:废,气系统需要定—。期检修和维护以及】。保障某台处》。。理设备?和排风机发》生故障时系统仍【能够满足工》艺设备?。排风需求碱性废气系!统处理设备和排【风机要设置》备用对于《非连续性《生产的小型电子工厂!工艺生产是非—连续性的或者碱性排!风系统发生》故障时工《艺生产短《期停止?运行造成损失不大】的情形一般不设【置备用处《理设备排风机—初期投资小也需要定!期检修?因此:要根据工艺生—产实际需求确定是否!设置备用处》。理设备
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5.1《.,4 电子工业洁】净厂房密闭》性强:当排风系《统停止运行时无【法,依靠自然《通风稀释污》染物将会造成工【艺设备?和排风管道内污【染物外溢至洁净室】内危害室内》人,员,安全碱性废》气系统?处理设备和排风【机按一级负荷—供电的?目的是提高》电源可靠性保—障碱性排风》系统正常《运行:保证室内人员安【全,和保护?环境
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5.1.5 !由于:管道施工《原因碱排《风管道内的》碱,液容易发生泄漏腐蚀!洁净:室吊顶及FFU严重!的会影响洁净—室内工艺生产—因此建?议排风管道布置在下!夹层内
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