5 — 碱性?废气系统
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5.1 一般!规定
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5《.1.1 》 碱:性废气包括氢—氧化钾、氢》氧化:钠、氨气、胺等碱性!物质排气如》与酸性废气在风管内!混合将会产生—结晶堵塞风管—。同时由于酸、碱【。、挥发性有机—物(V?OCs)废气处【理方式各不相—同没有一《种设备能《够同时有效处理所有!污染:物碱性废《气系统采用》专用系统能》够有:效避免输送管道【内结晶物形》成专用系统针对【性处理碱性废—气处理效《。率高能够降低污染物!排,放量
】5.1.《2 填《料洗涤式碱》性废气处理系统要求!连,续,。、稳定工作对排风量!波动、污染物组成】、浓度?。。的变化能迅》速调节为确保污染物!。。达标排放对系统的基!本组成做了》规定:
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5.1—.,3 ?集成电路《工厂、?平板显示器工厂【等大型?电,子工厂的工艺—生,产是连续性》的,对排:风要求是连续和稳】定,的碱性废气系—统需:要定期?检修和维护以及保障!某台:处理设备和排—风机:发生故障《时,系统:仍能够满足工—艺设备排风需求【碱性废气系》统处理设备》和排风机要》设置备用对于非【。连续性生产的—小型电?子工厂工艺生产【是非连续《性的或者碱》性排风系统发—生故障时工艺生【产短:期停止运行造—成损失不大的—情形一般不设置【备用处理设备排风机!初期投资小》也需要定《期检修因此要根【据,工艺生产实际需求】确定:是否:设置备用处理设备】
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5.1.!4 ?电子工业《洁净厂房密闭—性强:当排:风系统停止运行【。时无法依靠自然【通风稀释污染—物,将会造?成工艺设备》和排风管《道内污染物外溢至】。洁净室内危害室【。内人员安全》碱性废气系统—处理设备和排—风机按一级负—。荷供电的《目的是提《高电源可靠性—保障碱性排风系统】正常运行保证室内】人员安全和》保护环境
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5:.1.5 由于】管道施工原因碱排】风管道内的碱—。液容易?发生泄漏腐蚀洁【净室吊?顶及FF《U严重的会影响洁净!室内:工艺生产因此建议】。排风管道布置—在下夹层内》
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