11．2】 ， 系统设计及有害】气体净化 》 ， 1【1．2．《1  对于高大厂房！按整个车间12次】/小时？换气计算事故—通风量时事故通风】系统庞大且事故通风！量不一定合》理因此？规定厂房以6m高】度为限当房》。间高度小于或等【。于，。6m时？按房间实际容积计算！；当房间高度大【于，6m：时按6m的空间【体积计算通过合理布！置吸风口可》以让事故通》风系：统发挥最大》的作用吸风口的布置！要符：。合，。本标准第1》1．1．3条—的规定 【 11．2．2 ！ 事故排风能够【。由经常使用》的，。排风系统和事故【排风系统共》同保证 ！11．2．3  】计算事故状态下【的最大泄漏量一【般考虑最不利—情况即单位时间内在！最大储存压力和最】高温度下的泄漏量】 11．！2．4  按照【本标准11．1．8！条的规定《事故排风系统—排出口有害物质浓度！要不高？于立即危害生命和】健康浓？度值：的50％最经济的方！法就：是稀：释排放但有些有【毒物质允《许的立即危》。害生：命和：健康浓？度值：较低当？最大事故泄漏—量，较大时如采》用稀：。释排放则所需—的稀释风量巨大明】显不经济《此时采用吸附或洗】。涤等处理《方式：是较：为合理？的方案 》 ： ， 11．2．5  ！极毒和？剧毒：物质：对人体危害很大目】。前国家相《关规：范，规定要采《用，净化处理后高空【、高速排《放故不采用稀释【方式排放 》 1—1．2．6》 ， 由于砷烷和磷烷】难溶解于水采用淋】洗方式几《乎无效所以一般采用！吸附方式处理—。而微电子厂房常用】的乙硼？烷能用吸附也能用洗！涤方式处理 】。 11》．，。2．7  本条规】定，了采：用稀释方式处理事故！排风时系统的设计要！。求 【 ， ，。  1  采用稀】释方：式处理事故排—风时如果稀释排【风系统中《带有：多个有毒有害物质】储存和输配系—统此时系统的—稀释：风量要满足系—统中任意《一个储罐和相—。关的输配系统发【生事：故时所需《的稀释风《。量所以系统的—稀，释风量要取各—种有：毒，有害物质稀释至立】即危害？生命和健《康浓度（LD—HL）所需空—气量中的最》大值 ？   【  2  当采【用稀释方《。式处理事《故排风？。时从有毒有害物质泄！漏处进入稀释—空气是最为安全、有！效的方式《使系统中绝大部分空！气均处于立即危害】生命和？健康浓度《值以下 《 ： ， 11．2．【8  本条规—定了：。用吸附方《式处理事故排风设】计时：的要求 ！    1》  设计吸附处理系！统，应考虑的因素 【 ：     2 ！。 对于固定床吸附处！理设备由于吸附材料！在事故排风系—统运：行过程中是不能添加！的所以？吸附材料的装填量】要大于？完全吸附系》统中最大《储存量的有毒—有害物质全部散【出时的吸附材—料需求量《  【   3《  与上一款的理】由相：同吸附设《备的吸附速率不能低！于完全吸附系统中最！。大泄漏量的有—毒有：害物质散出时—所需的吸附速率以】保证所有《泄漏的有毒有害物】质，被全部吸附 】     4】  平时每次更【换储罐的《吹扫气体量并不大】但也会使吸附设备中！的部分？吸附材料失去吸【附能：力导致？事故排风时的吸附】能力不够所以更换】储罐：的吹扫气体需另【设置吸附处理—系统或接入其他【的，废气处理系》统另外日常》不启动时因为水【分的吸收需》要定：期确认吸附》材料的损伤状态【。当，有毒有害物发生泄】漏且：事故排风《系统启动后》吸，附材料也需要更换】。 ： 11—．2．9 》 本条规定了采用淋！洗方：式处理事故排风设】计时的要《求 ？   —  1  》直立填料洗涤式废气！处理设备虽然—。接管复杂运行—阻力：。稍高但理《论上具有《最佳：的气液质交换效果且！。事故排风系统—为偶尔运行》运行阻？力稍高不应作为主要！的考量？因素所以要优先【采，用， ？    — ，。2  如果事故排】。。风，系统废气处理设备】的循环泵平时不运】行当有毒有害物【。质发生？泄漏而启动事故排】风机时假如事故【排风点与废气—处，。理设备间《的距离较短》很有：。。可能发生含有毒有】害物质的事故排风】到达处理设备时处理！设备中大部分—填，料，还未润湿起不到处理！效果事故排风系统】。排出口？的有：毒有害？物质浓度超标所以】循环泵平时要保【持低速运行以—保，证填料始终处—于，湿润状态 ！     3—  当事故排—风点与废《气处理设备间距离足！够长时通过计—算确认启动循环【泵后填料润湿的时】间短于启动事故【排风机后含有毒有】害物质？的空：气到达废气》处理设备的时间洗】涤液：循环泵能仅》在发：生，事故时先于事故排】风机启？动但为了防止启动循！环泵时发生瞬时抽空！现象废气处理设备】的储液箱容量需足够！大 —     4 【 ，有些有毒《有害气体淋洗处理】后会形成酸雾如H】Cl气体淋》洗后将形成HCl】雾所以废气处理设】备后需？装设：除雾器以《防止酸雾《排入大？气影响处理效率 ！ ：     5 】 为：保证废气《处，理设备能连》续、稳定、高效的】工作需设置自动补】液和排？。液系：统 《 1《1．2？．1：0 ： 电子工业生产过程！中使用的砷烷、【磷烷、乙硼烷—、三氯化硼等极毒】和，剧毒物质一》旦发：。生泄漏事故对人员】生命：健康有很《大的危？险，所以其储存和—输配场所需设置可】靠，地排风系统 【