： 8．《5  中央废气处】理系统 《 》 8．5．1  ！尾气处理《设备处理后还—含有污染物故—需要进入中央—废气处理系统进【一步：处理对于外延工序】由于含有氢气其尾】气，处理设备处理后的气！体，不要：接入中央废气处理】系统 】。8．5．3》  为了《避免有害物质外泄制！。定了本条规》定 ？ ？。 8．？5．4  本条规定！了产生粉尘的尾气】处理设？备的：系统设置要求 【    】 2  为了—避免粉尘堵塞管路系！。。统制定了本款规定 ！ 《     》3  采《用淋洗方式》粉尘含有水分会【堵塞干式《的过滤器 —