： 8．5  中央！废气处？。。理系统 — 8．5．！1  ？尾气处理《设备处理后还含有污！染，物，故需：要进入中央废气处】理系统进一步处理】。。对于外延工序由【。于，含有：。氢气其尾气处—理设备处理后的气体！不要接入中央废气】。处理：。系统 》 8．5．3 ！。 为了避免有害【物质外泄制定了本】条规定？ 8．】5．4  本条【规定了产生粉—尘的尾？气处理设备的—系，统设置要《求   ！  2  》。为了避免粉尘堵塞管！路系：。统制定了本款规定】  【  ： 3  采》用淋：洗方式？粉尘含？有水分？会堵：塞干：式的过？滤，器 ？