， ： 8：．5  中央废气处！理系统 《 8．！5，。．1  尾气处【理，设备处理后还含【有污染物故》需要进？入中央废气处—理系统？进一步？处理对于外延工序】由于：含有氢气其尾—气处理？设备处理《后的气？体不要接入中—央废：气处理系统》 ， 《。 8．5．》3  为了》避免有害物质外泄】。制定了本条规定 ！ 8．5．4！  本条规定—。了产生粉尘的尾气处！理设备的系统—设置要求 — ：     2 】 ，。为了避免粉尘堵塞管！路系统制定了本款】规定 《     】3  采用淋洗方】式粉尘含有》水分会堵塞干式【的，过滤器？ ：