8．5【  ：。中央废气处理系统】 — ， 8．？。5．1  尾—气处：理设备处理后还【含有污染《物故需要《进入中央废气—处理：系统进一步处理对】于外延工序》由于含有氢气其尾】。气处理设备处理【后的气体不要接入】中央废气处》理系统 ！8．5．3  为了！避免有害物质—外泄制定了本条【规定 — ：8，．5．4  本条规！定了产生粉尘的【尾气处理设备的系统！设置要求 —     】2，。  为了避》免粉尘堵塞管路系统！制定了本《款规定 《 ？ ：    3  采用！。淋洗方式《粉尘含有水分会堵】塞干式？的过滤器 —