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?8.:2 ?烷,类尾气处理系统【
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8.!2.1 《 尾气处理设备的】处理效率《。。和出口浓《。度应符?合下列?规定
—
: ? 1 《设备的处理效—率不应低《于9:9,%;
《
【 2 处理后的】污染因子浓度宜【在PC-TWA值以!下,;
! 3 处理后】的燃烧爆《炸性气体浓度—应在爆炸下限值的2!5%以?下
?
8.2【.2 采用电热式!。和等离子式的尾【气处:。理设备其内部应采用!耐腐:蚀、:耐高:温的材料
—。
:
:8,.2.3 —尾气处理系统宜【采用下列《方式
】 1 硅烷!(,SiH4)、—锗烷(GeH4)宜!采用:热氧:化和洗涤《两级处理方式—;
《
:
》2 磷烷(PH】。3)宜采用热氧化和!洗涤两级处理方式或!干式吸附方式;
】
?
: 3 — 乙硼烷《(B2H《6):宜采用洗涤方式;
!
:
》 :4 砷烷(—AsH3)宜采【用干式吸附方式
】
8.2】.,4 从真空—泵至:尾,气处理设《备入:。。口之间的管道应符】合下列规定》
【 ?1 管道》。的材质宜采用—不锈钢?304或3》1,6;:
《
2【 当尾《气,遇低温易产生沉淀物!质时管道《应采取加热措—施
:
《
8.?。2.5 尾—气处理设备出—口之后的管道宜采】用耐腐蚀、》。导静电的材质
】
8》.2.6 当尾气!处理设备《采用直接燃烧方【式时应符合消防要】求
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