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8.2《 烷类尾气处理】系统
!
8.2.1 【 尾气处理》设备的处理》效率和出口浓度【应符合下《。列,规定
! , 1 设备【。的处理效《率不应低于9—9%;?
— 2 处】理后的污染》因子浓度宜在PC-!TWA值以下;【
【 3 处理后!的燃烧爆《炸性气体浓度应在爆!炸,下限值的2》5,%,以下
】8,.,2.2 采用电】热式和等《离子式的尾气—处理设备其内部应】。采用耐?。。腐蚀、耐高温的材】料
8】.2.3 尾气处!理系统宜采用下列方!式
—
》1 ?硅烷(Si》H4:)、锗烷(GeH】4)宜?采用:热氧化和洗》涤两级处《理方式;
【
,。
? 2 —磷烷(P《H,3):宜采用热氧化和洗涤!两级:处理方式或干式吸】。附方式;
】
》 3 乙硼烷【(B2H6)宜采】用洗:涤方:式;
】 4》 , 砷烷(AsH3】)宜采用干式吸【附方式
!8.2.4 从】真空泵?至尾气处理设备【。入口之间的管道应符!合下列?规定
《
1! 管道的》材质宜采《用不锈钢304【或316;》
【 2 当【尾气遇低温易产【生沉淀物质》时管道应采取加热】措施
》
8.2.5 ! 尾气处理设—备,出口之后的》管道宜采用耐—腐蚀、导静电的【材质
【
8.2《.6 当》尾,气处理设《备采用直接燃烧方式!时应:符合消防要求
】