？ 8．2 》 烷类尾气处理【系统 — 8．2【．1  尾气—处，理设：备的处？理效率和出》口浓度应符合下列规！定 《     1 ！ 设备的处》理效率不应》。低，于99％《；  】   2  处【理后的污染因子【浓度宜在PC-【TWA？值以下？； —    《。 ，3，  处理《后的燃烧爆炸性气】体浓度应在爆炸【下限值的25—％以下 ！8，．2．？2 ： ，采，用电热式和等离【子式的尾气》处，理设备其《内部应采用耐—腐蚀、耐高温—的材料 】 8．2．3  尾！气处：理系统宜《采用下列方式 【 》   ？ ，1  硅烷（Si】H4）、锗烷—（GeH4）—宜采：用热氧？。化和：洗涤两级处理—。方，式；  ！   2  磷【烷，（PH3）宜采【。用热氧化《和，洗涤两级处理方【式或干式吸附方式；！ ： ， ：     》3  ？乙硼烷（B2—H6）宜采用—洗涤方式； 】   》  4  砷烷（】AsH3）宜采【用干式吸《附方式 ！8．2．4》  从真空泵—至尾气处理设备入】口之：间的管道《。应符合下列规定 】 ，     1！ ， 管道的材》。质宜采用不》锈钢304或316！； 》。     2  ！当尾气遇低温易【产生：沉淀物质时管道应采！取加热措施》。。 —8，．2．？5  尾气》处理设备出口之【后，的管道宜采用耐【腐蚀、导静电的【材质： —8．2．6  当尾！气，处理设备采》用直接燃烧方式时应！符合消防要求 【 ，