？ 8．2《  烷类尾气处理】系统 ！ 8．2．1 【 尾气处理》设备的处理》效率和出口浓度【应符合下《。列，规定  ！ ，  1  设备【。的处理效《率不应低于9—9％；？ —    2  处】理后的污染》因子浓度宜在PC-！TWA值以下；【  【   3  处理后！的燃烧爆《炸性气体浓度应在爆！炸，下限值的2》5，％，以下 】8，．，2．2  采用电】热式和等《离子式的尾气—处理设备其内部应】。采用耐？。。腐蚀、耐高温的材】料 8】．2．3  尾气处！理系统宜采用下列方！式 —     》1  ？硅烷（Si》H4：）、锗烷（GeH】4）宜？采用：热氧化和洗》涤两级处《理方式； 【 ，。  ？   2  —磷烷（P《H，3）：宜采用热氧化和洗涤！两级：处理方式或干式吸】。附方式； 】    》 3  乙硼烷【（B2H6）宜采】用洗：涤方：式； 】    4》 ， 砷烷（AsH3】）宜采用干式吸【附方式 ！8．2．4  从】真空泵？至尾气处理设备【。入口之间的管道应符！合下列？规定 《     1！  管道的》材质宜采《用不锈钢304【或316；》  【   2  当【尾气遇低温易产【生沉淀物质》时管道应采取加热】措施 》 8．2．5 ！ 尾气处理设—备，出口之后的》管道宜采用耐—腐蚀、导静电的【材质 【 8．2《．6  当》尾，气处理设《备采用直接燃烧方式！时应：符合消防要求 】