8．—2  烷类》尾气处理《。系统 》 《 8．2．1  】尾气处理设》备，的，处理效率和》出口浓度应》符合下列规定— ，   【 ， 1：  设备的处理效】率不：应低于99％；【   】  2  处理后的！污染因？子，浓度宜在PC-【。。。TWA值以下； 】 ：   》  3  处理【后的燃烧爆炸性气】体浓度应在爆炸下限！值的2？5％以？。下 ： 8．2．！2  采用》电热：。式和等离子》式的尾气处理设备】其，。内部应采用耐—腐蚀、耐高》温，的材料 》 8．2．】3  尾《气处理系统宜采用下！列方式？ 》     1— ， 硅：烷（：SiH4）》、锗烷？（GeH4）宜【采用热氧化和洗【涤两级处理方式；】 》     2  】磷烷（PH3—）宜采用热氧—化和洗涤两级处【理方式或《。。干式吸附方式； ！   —  3  》乙硼烷（B2H6】）宜采用《洗涤方式；》。  【   4《  砷烷（》AsH3）宜采用】干式：吸附方式《。 8．】2．4  》从真空泵《至尾气处理设备【入，口之间的管道应符】合下列规定 ！  ？  ： 1  《管道：的材质宜采用不【锈钢：304？或31？。6； 【     2 【 当尾气《遇低温易产生沉淀】物质时管道》应采：取加热措施 【 8．2【．5：  尾气处理—设备：出口之后的》管，道宜采用耐腐蚀【、导静电的材质 ！ 8》．2．？6  当《。尾，气，。处理：设备：。采用直接燃》烧方式时《。应符合消防》要求 《