8．2  ！烷类尾气处理系统 ！ ： 8．【2．：。1  尾气处理【设备的处理》效率和出口浓—度应符合下列—规定 】   ？ 1  设备的处理！效率不？应低于99》％，； 》。 ，     》2  处理后的【污染因子浓度宜在P！C-TWA值—以下； 】。    《 3  处理后的燃！烧爆炸性气体浓度应！在爆炸下限》值的25《％以下 ！8．2．2  【采用：电热式和等离子式】。。的尾气处理设备其】内部：应采用耐《。腐蚀、耐高温的材料！ 《 8．2》．3  尾气处理】系统宜采用》下列方式 — ？     1  硅！烷（Si《H4）、锗烷（Ge！H4：），宜采用热氧》化和：洗涤两？级处理方式； ！ ：   ？  2  磷烷【（PH3）宜采用】热，氧化和洗涤两级处】理方式或干式吸附方！式；：  【 ，。。  ：3  乙《硼烷：（B2？H6）宜采》。用洗涤方式》； ？ 《    4  砷】烷（：AsH？。3）宜采用干式吸附！方式 《 8．—2，．4  从真空泵】至，。尾气处理《。设备入口之间的【管道应符合》下列规定《 —    1  管道！的，材质宜采《用不：锈，钢304《或316； — ：    — 2  当尾气遇低！温易产生沉淀物【质时管道应采取加】热措施 》 8》．2．5  —。尾气处理设》备出口？。之后的？管道宜采用耐腐【蚀，、导静？电的材？质， 8．】2．6  当尾气处！理设备采用直接燃烧！方式时应符合—消，防要求 》