8．—。2  烷《类尾气处理》系统：。 — 8．2》。．1  尾气处理设！。备，的处理效率和出口浓！。度应符合下列规定 ！   【  1  设—备的处理效》率不应低《于99％； — ：     【2  处理后—的污染因子》浓，。度宜在PC-—TWA值以下；【。 ： ，     3】  ：。处理后的燃烧爆炸性！气体浓度应在爆炸】下，限值的25》％以下 》 《8．：2．2  采用电热！式和等离子式的尾】气处：理设备其《内部应采用》耐腐蚀、耐高温的材！料 ： 8．2】．3 ？ ，尾气处理《系统：宜采用下列方式 ！     1！  硅烷（SiH4！）、锗？烷（GeH4）宜采！用热氧？化和：洗涤两？级处理方式； ！   》  2  磷烷（】PH3）宜采用热】氧化：和洗涤两级处理方式！或干式吸附方式；】 ， ，   — ，。 3  乙硼烷（B！2H6？）宜采？用洗涤方式； 】 《。    4》 ， 砷烷（《AsH3）宜采用干！式吸附方式 —。 8—．2．4 》 从：真，。空泵至尾《气处：理，设备入？口，之间的？管道应？。符合下列《规定： — ， ，  1  管—道的材质宜采用【。不锈钢3《04：或316；》 —。    2  当尾！气遇低温易产生沉】淀物质时管道应采】取，加热措施 ！ 8．2．5  尾！气处理设备出口之后！的管道宜采用耐【腐，蚀、导静电的—材质 — 8．2．6【 ， 当尾气处理—设备采？用直接燃烧方式时应！符合消防要求 【 ，