， ？8．：2  ？烷，类尾气处理系统【 ， 8．！2．1 《 尾气处理设备的】处理效率《。。和出口浓《。度应符？合下列？规定 — ：   ？ 1  《设备的处理效—率不应低《于9：9，％； 《    【 2  处理后的】污染因子浓度宜【在PC-TWA值以！下，；   ！  3  处理后】的燃烧爆《炸性气体浓度—应在爆炸下限值的2！5％以？下 ？ 8．2【．2  采用电热式！。和等离子式的尾【气处：。理设备其内部应采用！耐腐：蚀、：耐高：温的材料 —。 ： ：8，．2．3  —尾气处理系统宜【采用下列《方式 】    1  硅烷！（，SiH4）、—锗烷（GeH4）宜！采用：热氧：化和洗涤《两级处理方式—； 《 ：     》2  磷烷（PH】。3）宜采用热氧化和！洗涤两级处理方式或！干式吸附方式； 】 ？ ：    3 — 乙硼烷《（B2H《6）：宜采用洗涤方式； ！ ：   》  ：4  砷烷（—AsH3）宜采【用干式吸附方式 】 8．2】．，4  从真空—泵至：尾，气处理设《备入：。。口之间的管道应符】合下列规定》  【   ？1  管道》。的材质宜采用—不锈钢？304或3》1，6；： 《     2【  当尾《气，遇低温易产生沉淀物！质时管道《应采取加热措—施 ： 《 8．？。2．5  尾—气处理设备出—口之后的管道宜采】用耐腐蚀、》。导静电的材质 】 8》．2．6  当尾气！处理设备《采用直接燃烧方【式时应符合消防要】求 ？