8．2  ！烷类尾气处》理系统 — 8．2．！1 ： 尾气处理设备【的处：。理效率和出口浓【度应符合下列规定 ！    】 ，1  设备的处理效！率不应？低于99《％； —     —2  处理后的污】染因子浓度宜在P】C-TWA》值以下； 】     —3，  处理后的—燃烧爆炸性》气体浓度应在爆【炸下限值的》2，5％以下 — 8．2．】2  采《用电热式和等离子式！的尾气处《。。理设备其内部应采】用，耐腐蚀？、耐高温的材料【 《 8．《。2．3  尾—气处：理系：统宜采用《下列方？式 【    1  硅】烷（SiH》4）、锗烷（Ge】。H，4）宜？采用热氧《化和：洗涤两？。级处理？方式； 《 ：。  《   2  磷烷】（PH3《）宜采用热氧化和洗！涤两级处理方式【或干式吸附方式； ！ ？    》 3  《乙硼烷？。（B2？。H6）宜采用洗涤】。方式； 】   ？ ， 4 ？ 砷烷（AsH3】）宜采？。。用干式吸《附方式 】。 8．2．4—  从真空泵至【尾气处理设》。备入口之间的管道应！符合下？列规：定 ？  》   1  管【道的材质宜采用【不锈钢？304或316【； 《 ？   ？ ，2  当《尾气遇低温易产生沉！淀物质时管道应【采取：加热措施 》 ： 8．》2．5  尾气【处理：。设备出口《之后的管道宜采【用耐腐？蚀、导静电的材质】。。 —8．：2．6  》。当尾气处《理设备？采用直接燃烧方【式，时应符合消防—要求： ：