， 8．2 【 烷类尾气处理【系统 — 8．2．1！  尾气处理设备的！处理效率和出口【浓度应符合下—列规定 【 ，    《 1 ？ ，设备的处《理效率不应低于【99％； 》     ！2  处理后—的污染因子浓度宜】在PC-TWA值以！下； 【。    《 ，3  ？处，理，后的燃烧爆炸性【气体：。浓度应在爆炸下【限值的？25％以下》 ： 《8．2．2  【采用电热《式和等离子式的尾气！处理设备其》内部应采《用耐腐蚀、耐高温】的，材，料 8．！2．：3  尾气处理系】统，宜采用下列方—式  】   1  硅烷（！。SiH4《）、锗烷（GeH4！）宜：采用热氧《。化和洗？涤两级处理》方式：； 【    2  磷】烷（PH3）宜采用！热氧化和《洗涤两级处理方【式或干式《吸，附方式； 】     3 】。。 ，。乙，硼烷（？。B2H6）宜—采用洗涤方式； ！  》   4  砷烷】（AsH3》。）宜采用《干式吸附方式 ！ ：。 8．？2．4 《 从：真空泵至尾气处【理设备？入口之间《的管道应符合下列规！定 —     1 【 管道的材质—宜采用不锈钢304！或316； 【 ？    《 ，2  当尾气遇低温！易产生？沉淀物质时管—道应采取加热措施】 8．】2．5  尾气处理！设备：出口之后的管—道宜：采用耐腐蚀、导静】电，的材质 【 8．2．—6  当尾气处【理设备采用直接【燃烧方？。式，时应符合消防要【求， ：