《8．2  烷—类尾气处理系—。统 ： 8．！2．1？ ， P：C-TWA值见【工，作场所有害因素【职业接触《限值：  第1部分化学有！害因：素GB？Z 2．1 【 8．—2．3  本条规】。定了几种尾》气的处理方式 】    【 1  《因，为硅烷易与空气【发生反应产生二氧化！硅极易堵塞管道故】需要进行《。就地洗涤而》采用离子式的方【式易堵？塞火炬头故不推荐 ！。 ：     2 ！ 对于废气量大的设！备宜：采用“热氧化+洗】涤”的方式如CVD！；量小的一般采用】吸附式的方式如离】子注入机《、特气站均采用吸附！式  】   3《 ， 由于乙硼烷直接】用吸收液处理—效率较高故推荐【此方式 》