： 8．2  烷类！尾气处理系统 ！ ？ ， 8．2．1 【 ，PC-TWA值【见工作场《所有害因《素职业？接触限值  第【1部分化《学有害因素》GBZ 2．1【 》 8．2．3  本！。条规定了几》种尾气的处》理方式 《 《     》1，  因为硅烷易与】空气发生反应—产生二？氧化硅极《易堵：塞管道故需要进【行就地洗涤》而采用离子式的【方式易堵塞火炬头】故不推荐 ！  ：  ： 2  对于废气量！。大的设备宜采用“】。热氧：化+洗涤”的方式】如CVD《；量小的一般—采用吸附式的方式如！离子注入机、—特气站均采用吸附】式 》   《  3  》由，于乙硼烷直接用【吸收液处理效—率较高故推荐此方式！ ：