8．2【  烷？类尾气处理系统 ！。 —8，．2．？1  PC-TWA！值见：工作场所有害因素】职，业接触限值  第】1部分？化学有害因》素，。GB：Z 2．1》 ： 8．2【．3 ？ 本条规《定了几？种尾气的《处理方式 【   》。  1  因为硅烷！易与空气发生反【应产：生，二氧化硅极易堵塞管！。道故需？要进行就《地洗涤而《采用离子式的方式】易堵塞？火炬头故《不推荐 》   —  2  对于【废气：量大的设备宜采用】“热氧化+洗—涤”的？方式如CVD—；量小的一般采用】吸，附式的方《式，如离子注入机、特】气，站均采用吸附式 ！     】3 ：。 由于乙《硼烷：。直，接用吸？收，液处理效率较高故推！荐此方式 —