安全验证
《8.2  烷—类尾气处理系—。统 : 8.!2.1? , P:C-TWA值见【工,作场所有害因素【职业接触《限值:  第1部分化学有!害因:素GB?Z 2.1 【 8.—2.3  本条规】。定了几种尾》气的处理方式 】    【 1  《因,为硅烷易与空气【发生反应产生二氧化!硅极易堵塞管道故】需要进行《。就地洗涤而》采用离子式的方【式易堵?塞火炬头故不推荐 !。 :     2 ! 对于废气量大的设!备宜:采用“热氧化+洗】涤”的方式如CVD!;量小的一般采用】吸附式的方式如离】子注入机《、特气站均采用吸附!式  】   3《 , 由于乙硼烷直接】用吸收液处理—效率较高故推荐【此方式 》