： ， ，8．2  烷类尾】气处：理系统 ！ 8．2．—1，  P？C-T？WA值？见工作？场所：有，害因素职业》。接，触限值？。  第1部》分化学有害因素G】BZ 2．1 【。 8．2．！。3  本《条规定了几种尾气】。的处理方式 【 ？     1—  因为硅烷易【与，空气发生反应产生】二氧化硅极易堵【塞管道故需要—进行就地《洗涤而采用离子式】的方式易堵塞—火炬头故不推荐【 》。。   ？  ：2  对于》废气量？大的设备宜采用“】热氧化+洗》涤”的方式如CV】D；量小的一般采用！吸附式的方式如离】子注入机、特气【站，均，采用吸附《式， ：     】3  由于乙硼烷】直，接用吸收液处—理效率？较高故推荐此方式 ！ ，