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8．—2 烷类尾—气处：理系统
】。
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8．2．》1 ？P，C，-TWA值见工作】场所有害因素职业接！触限值 第1部】分化学有《害因素GB》Z 2．1
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8．2．3 】本条规定《了几种尾气的—处理方式
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？ ： 1 因为硅烷！易与空？气发生反应产—生二氧化硅》。极易堵塞管道—故需要进行就—地洗涤而《采，用离子？式的方？式易堵塞《火炬：头故不？推荐
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【 2 对于废【气，量大的设备宜采用“！热氧：化+洗涤”的方【式，如CVD；量小的一！般采用吸附式—。的方式如离》子注入机《、特气？站均采用吸附式
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《 3 由于乙！硼烷直？。接用吸收液处理效】率较高故推荐此【方式
《
