。 8．—2  烷类尾气处】理系统 【 ： 8．2．—1，  P？C-TWA值见【工，作场：所有害因素职业接触！限，值  ？第1部分化学有害因！素GBZ 2．1】 8【．2．3  —本条规定了几—种尾气的处理方式】。 ？  《   1  因为硅！烷易与空气发生反】应产生？二氧化硅极》易堵塞管《道故需要进行就地洗！涤而采用离子式的】方，式易：堵塞火炬《。头故不推荐 】     2】  对于废气量【大的：设备：宜，采用“？热氧化+洗涤”的】。方式如CVD—；量小的一般采用】。。。吸附式的方》。式如：离子注入机、特【。气站均采用吸附式 ！    】 3  由于乙【硼烷：直接用吸收液处理效！率较高故推荐此方】式 ？