《8.2 烷类尾气!处理:系统
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8.2.】1 ?P,C-TWA值见工作!场所有害因素职业】。接触限值 第【1部分化《学有害?因素GB《Z :2.1
】。
8.2.3— :本条规?定了:几种尾气的》。处理方式
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《 《1 : 因为硅烷易与【。空,气发生反应》产生二氧化硅极易堵!。塞管道故需要—进行就?地洗涤而采用离【子,式的方?式易堵塞火炬—头故不推荐
】
《 : 2 对于—废气量大《的设备宜采用“热】氧化+洗涤”的【方,式如CVD;—量,小的:一般采用《吸附:式,的方式如离子—注入机、特气站【均采用吸附式
!
3 ! 由于乙硼烷—直接:用吸收液《。处理效?率较高故推荐此方】式
?