？ 8．2  —烷，。类尾气处理系—统， ， 【8．2？．，1 ：。 PC-TWA值】见工作？。场所有害因素职业接！触限值  第1部】分化学有害因素【GBZ 《。2，．1 ？ 》。8．2．3  本条！规定了几种尾气的】处理方式 】     1 】 因为硅烷易与空气！发生反？应产生二氧化—硅极易堵塞》管，。道故需？要进行？就地：洗涤而采用离—子式的方式易—堵塞火炬头故—不，推荐 《 ：。     2【  对于废气量【大的设备宜采—用“热氧化+洗涤】”的方式《。如CV？D；量小《。。的一般采用吸—附式的方式如离子注！。入，。机、特气站均采【用吸：附式：   】。  3 《 由于乙硼烷直【接用吸收液处理效】率较高故推荐此【方式 《