， 8．2 【 烷类尾气》处理系统 】 《。8．2．1 — PC-TW—A值见工作场所【有害因素职业接触限！值  第《1部分化学》有害因素GBZ 2！．1 】8．2？。．3  本条规定】了几种？尾气的处理方式 ！ ？     1 【 因为硅烷易与空】气，发生反应产生二氧化！硅极易堵《塞管道故需要进【行就地洗涤而采用】离子式的方式易【。堵，塞火炬头故》不推荐 《 》    《2  对于废气量】大的设备宜采用“热！氧化+洗涤”的方】式如CVD；—量小的一般采用吸】附式的方式如离【子注：入机、特《气站均采用吸附式】 》 ，。 ，。 ，  3  由于乙】硼烷直接《用吸收液处理效率】较高故推荐此—方式 《