《8．2  烷类尾气！处理：系统 — 8．2．】1  ？P，C-TWA值见工作！场所有害因素职业】。接触限值  第【1部分化《学有害？因素GB《Z ：2．1 】。 8．2．3—  ：本条规？定了：几种尾气的》。处理方式 — 《    《1 ： 因为硅烷易与【。空，气发生反应》产生二氧化硅极易堵！。塞管道故需要—进行就？地洗涤而采用离【子，式的方？式易堵塞火炬—头故不推荐 】  《  ： 2  对于—废气量大《的设备宜采用“热】氧化+洗涤”的【方，式如CVD；—量，小的：一般采用《吸附：式，的方式如离子—注入机、特气站【均采用吸附式 ！     3 ！ 由于乙硼烷—直接：用吸收液《。处理效？率较高故推荐此方】式 ？