- 电子工业纯水系统设计规范 GB 50685-2011
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 纯水制备工艺
- 3. 1 一般规定
- 3. 2 预 处 理
- 3. 3 脱盐及深度处理
- 3. 4 精 处 理
- 3. 5 特殊水质指标的技术措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 纯水输送和分配
- 4. 1 一般规定
- 4. 2 管道设计
- 5 纯水回收和节水
- 5. 1 一般规定
- 5. 2 纯水回收
- 5. 3 节水措施
- 6 纯水站房
- 6. 1 一般规定
- 6. 2 设备布置
- 6. 3 管道布置
- 6. 4 土 建
- 6. 5 电 气
- 6. 6 采暖通风
- 6. 7 给水排水和消防
- 7 药品贮存、计量和输送
- 7. 1 一般规定
- 7. 2 酸、碱及盐
- 8 控制及仪表
- 8. 1 一般规定
- 8. 2 纯水系统监控系统设计选型
- 8. 3 现场控制系统及集中监控系统设计
- 8. 4 仪表设置
- 附录A 水质全分析报告
- 附录B 离子交换器设计参数
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
- 1 总 则
- 3 纯水制备工艺
- 3. 1 一般规定
- 3. 2 预 处 理
- 3. 3 脱盐及深度处理
- 3. 4 精 处 理
- 3. 5 特殊水质指标的技术措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 纯水输送和分配
- 4. 1 一般规定
- 4. 2 管道设计
- 5 纯水回收和节水
- 5. 1 一般规定
- 5. 2 纯水回收
- 5. 3 节水措施
- 6 纯水站房
- 6. 1 一般规定
- 6. 2 设备布置
- 6. 3 管道布置
- 6. 4 土 建
- 7 药品贮存、计量和输送
- 8 控制及仪表
- 8. 1 一般规定
- 8. 2 纯水系统监控系统设计选型
- 8. 3 现场控制系统及集中监控系统设计