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3 》纯水制?备工艺?
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3. 1 一】。般规:定
3】. 1?. 1?。 电子工业纯【水系统应根》据电子产品》生产:工,艺要求合理解定纯】水,制备系统的规模和】供水水?。质
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3.《。 ,1. 2 》 电子工业纯水系】统制水流程和设备的!选择应根据》对纯水水质的要【求、原水水质—以及运行管理水平】并结合处理效果、原!水的利用率》、节能、环保等因素!经技术经济比较【确定
3!. 1. 3— 电子《工,业,纯水系统应根—据最终产品水—水质要求选择简捷、!。有效的处理流程和可!靠的处理设备—
3.】 1. 4 【纯水:站的产水量应根据各!类产品水量加系【统自用水量》确定
?
》3. 1. 5【 电子工业纯水】。系统设?计前:应,取得全?部可利?用水源的水质—全分析资料并应【选,择有代表性的水【。质分析资料》作为设计依》据,水,质全分析报告格【式应符合本规范【附录:A的要?求水质资料的获取应!符合下列要》。求,
!。 ,1 : 水源为地表水【时宜取得全年逐月水!质资料?
》。
: 2 水源为!地下水时宜取得全年!每季:的,水质资料
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3 】当无法?得到逐月或逐季资料!时应:掌握水质随季节的】变,化规律
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3:., 1. 6 对】可能受到海水倒灌或!其他因素影响的水】源,应,掌握由此而引起的】水质变?化情况对于来自生产!过,程中的?回,用,。水应掌握其来源与】组成
】3. 1. 7 】 电:子工业纯水制备系统!应由预?处理、脱盐及—深度:处理和精处理组成】各阶段达到》的目标应符合下【列要求?。
! 1: :。预处:理阶段水质应满【足脱盐装置进水水质!的,要求
! 2 脱盐及!深度处理阶》段产水水《质应接近最终产水】水质要?求
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3 精!。处理阶段应保证不】间断地满足最终产】水水质、水量和【水压:等,要求
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3. 1.! 8 系统设计中!每个水处理装—置的出水水质应满足!后续处理装置—的进水水质要求水】处理装置的进水水质!应根据制《。水设备的要求确【定,水质要求较高或有】。多项水质指标时【尚,。应符合?最,终水质的要求
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