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3 —。 纯水制备工艺【
—3. 1 一【般规定
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3. 1. !1 电子工业【纯水:系,统应根据电子—产品生产《工艺要求合理解【。定,纯水制备《系统的?规模和供水》水质
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3. 1】. 2 电—子工业纯水》系统制水流程和设】备,的选择应根》据对纯水水质的要】。求、:。原水水质以及运行管!理水平并结合处【理效果、原水的【利,用,率、节能《、环保等因素经【技术经济比较确【定
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,3.:。 1. 《。3 电子工—业纯水系统应—根据最终产品—水水质要《求选择简捷、有效】的处理流《程和可靠的处—理,设备
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3. 1. 【4 纯水站—的产水量应根据各类!产品水量《加系统自用水量确】定
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3. 1. 【5 电子工业纯水!系统设计前应取【得全部可利用—水源的?水质全分《析资料并应选择有代!表性:的水质分析》资料作为设》计依据?水质全分析报—告格式应符合本【规范附?录A:的要求水质资料【的,获取应符合》下列:要求
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】1 水《源为:地表水时宜取得【全年逐月《水质资料
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》 ,。 2 水源为地】下水:时宜取得《全年每季《的水:质资料?
】 3 当无【法得:到逐月或逐季资【料时应掌《握水质随季节的变】化规:。。律
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?3. 1《. 6 对可能受!到海水倒灌或其他】因素影响的水源应掌!握由此而引起—。的水质?变化情?况对于来自生产【过程中的回用水应掌!握其:来源与组成》
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3. 1. !7 电子工—业纯水?制备系统应》由预处理《、脱盐?及深:度处理和精处理组成!。各阶段达《到的目?标应符合下列要【求
! 1 预处【理阶段水《质应满足脱》。盐装置进水水—质的要?求
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— 2 》 脱盐及深度—处理阶?。段产:水水:。质,应接近最终》产水水?质要求
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3】 精处理阶段【应保证不间断地【满足最终《产水水质、水—量和水压等要—求
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3:. 1.《 8 ? 系统设《计中每个《水,处理装置的出—水水质?应满足后续处理装置!的进水水质要求【水处理装置的进【水水质?应根据制水设备的】要求:确定水质要求较【高或有?。。多项水质《指标:时,尚,应符合最终水质的】要求
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