《
3 】纯水制备工艺
【
3. 1! 一般《规定
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3. 1.【 ,1, 电子工业纯【。水系统应根据电【子产品生《产工艺要求合理【解定纯水制备系统】的规模?和供水?。水,质
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3. 1!. 2 《 电:子工业纯水系统【制水流程《和设备的选》择应根据对》纯水水质的要求、】原水水质《以及运行管》理,水平并结合处理【效果、?原,水的:。利用率、《节能、环保等因【素经技术《经济比较确定
!。
3《。. 1. 3 【 电子工业纯水系】统应根据《最终产品《水水:质要求选《择简捷、有效的处】理流程和可》靠的处理设备
【。
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,。
3. 1》。. 4 《 纯水站的产水量】应,根据各类产品水量加!系统自用水量确【定
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3. 1》. :5 ?电子:工业纯水《系统设计前应取【得全部可利用水源】的水质全分》析资料并应选—择有:代,表性的水《质分析?资料作为设》计依据水质全分析】。报,告格式?应符合本《规范附录A的—。要求水质《资料的获取应—。。符合:下列要求
》
《
? 1 》水源为地表水时宜】取,得全年逐月水质【资料
《
,
》。 , 2 水源为【地下水时宜取—得全年每季的水质资!。。料
】 , 3 当—无法得到逐月—。或,逐季资料《时应掌握水质随【季节的变化规律【
《。
3. 1—., 6 对可—能受:到海:水倒:灌或:其他因素《影响:。的水源?。应掌握由此而—引起的水质变化情况!对于来?自生:产过程中的回用水应!掌握其来源与组成
!
3—. 1. 7 【 电子工业纯水【制备系统应由预处理!、脱盐及《深度处理和精处理】组成各阶段达到的】目标应?符合下列要求—
《
: 1 预】处理阶段水质应满】足,脱盐装置进水—水质的要求
【
【。 2 脱盐及深度!处理阶段产水水质】应接近最终产水水】质要求
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《
》3 精处理阶段】应保证不间断地满足!最终产水《水,。质、水量和水—压等要求
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3. 1.! 8 《系统设计中每个【。水处理装置的出【水水质?应满足后续处—理装置的进水水【质要求水处理装【置的进?水水质应根据制水设!备的要求确定—水质要求较高或【有,多项水?质指:标时:尚应符?合最终水质的要求
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