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3 纯水制备】工艺
3!. 1 一般规定!
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3. 1!. 1 《 电子工业纯水【系统应根据电子产】品生产工艺》要求合理解定—纯水制备系统的规】模,。和供水水质
—
《。
3. 1.— 2 电》子,工业纯水系》统制:水,流程:和设备的选择—应根据?对纯:水,水质的要《求、原水水质以及】运,行管理水《平并结合处》理,效果:、原水的利用率、】节能、环保等因素经!技术经济比较—确定
】3. 1.》 3 电》子工业纯水系—统应根据最终产【品水水质要求选择】简捷、有效的处【理流程和可靠—的,处理设备
【
3. 1.】 4 纯》。水站的产水》量应根据各类产品水!量加系?统自用水量》确定
—
3. 1.【 5 电子工【业纯:水系统设计前应【取得全部可利—用水源?的水:。质全分?析资:料并应?选择有代表性的水质!分析资料作为设计】依据水质全分析【报告格式应》符合本?规范附录A的要【。求水质资料的—获取应符合下列要】求
《
? 《。1, 水源为》地表:水时宜取得全年逐月!水质资料
【
— 2 《水,源为地下水》时宜取得全年—每,季,的水质资《。料
】 , 3 《 当无法得到逐【月或逐季《资料时应《掌握:水,质随季节的变化规律!。
3. !1. 6 —对可能受到海水【倒灌或其他因素影响!的水源应掌握由【此而引起的水—质,变化情况《对于:来自:生产过程中的—回,。用水应?掌握:其来源与组成
【
3. 】1,. 7 《 ,电子工业纯水—制备系?统应由预处理、脱盐!及深度处理和—精,处理组成《各阶段达《到的目标应符合【下列要求
】。
1【 预处理阶段水质!应满足脱盐装—置,进水水质的要求
!。
】2 脱《盐及深?度处理阶段产水水】质应接近最》终产水水质要—求
! , 3 《精处理阶段应保【证,。不间断地《满足最终产水水【质、水量和水—。压等要求
【
3. 1【. 8 《 系统设计中—每个水处理装—置,的出水水质应满【足后:续,处理装?置的进水水》质要:求水处理装》置的进水水质应【根据制水设》备的要求确定水质】要求较?高,或有多项水质指标】时尚应?符合最终水质的要】求
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