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3 【 ,纯水制备《工艺
3!. 1 一般【规定
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3. 1—. 1 电—。子工业纯水系统应】根据电?子产品生产工艺要】求合理解定》纯水制备系》统的规模和供—水水质?
3.】 1. 2 电子!工业纯水系》统,制水流程和设备的选!择应:根据对纯水水质的】要求、原《。水水质以及运—行管理水平并结合处!理效果、原》水,的利:用率、?。节能、环《保等因素经技—术经:济比较?确定:
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3. 《1. ?3 ?电子工业纯》水系统应根据最【终产品水水质要求选!择简捷、《。有效的处《理流程和《可靠的处理设备
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3.— 1. 4 纯水!站的产水量应根据】各类产品水量加【系,统自用水《量确定
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3. 1. !5 电子工业纯】水,系统设计前应取【。得全部可《利用水源的水质【全分析资料》并应选?择有代?表性的水质分析资料!作为:设计:。依据水?质全分析报》告,格式应符合本规范】附录A?的要求水质》资料的获取应符合下!。。列要:求
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—1 水源》为地:表水时宜取》得全:年逐月?水,质资料
】。
? 2 水源【为地下?水时宜取得全—年每:。季的水质资料
!
《。 3 当【无法得到逐》月,或逐季资料时—应掌握水质》随季节的变化—规律:
—3. ?。1. 6 对可】能受到?海水倒灌或其他因素!影响的水源应掌握】由此而引起的水质】变化:情况对?于来自生产过程中的!回用水应《。掌,。握其来源与组成【
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3. 1. 【7 电子》工业:纯水制备系》统应由预处》理、:脱盐及深度》处理和精《处理组成各阶段达到!的目:标应符合下列要【求
?。
1! 预处理阶—段水:质应满足脱》盐装置进水水质的要!。求
! 2 脱盐【及深度?处理阶段产水水质应!接近最终《产水水?质要求
】
, 3》 精?处理阶段应保证不间!断地满足最终产【水水质、水量和【水压等要求
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3. 1. 8】。 系统设计中每个!。水处理装置的出【水水质应满足后【续处理?装置的进水水质要】求水处理装置的进水!水质应根据》。制水设备的要求确】定水质?。要求较高或有多项】水质指标时尚应【符合最终水》。质的要求
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