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3 ? 纯:水,制备工艺《
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:3. 1 一般】规定
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3. 1》. 1 电子工业!纯水系统应根据电子!产品生产工艺—要求合理解》定纯水?。制备系统的规—模和供水水质
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3. 》1. 2《 电子工业纯水】系统制水流程—和,设备的选择应根【据对:纯水水质的要求【、原:水水质以及运行管】理水平并《。结合:处理效果《。、原水的利用率、节!能,、环保等《因素经技术经济【比,较确定
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3. 《1. 3《 电子工业—纯,水系统应根据最终产!品,水水:质要求选择简捷、】有效的处理流程和可!靠的处理设备—
3. !1. 4 —。。纯水站的产水量【应根据各类产品水量!加系统自用水量【。确定
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3. 1【。. 5 电子工业!纯水系?统设计前《应取得全部可利【用水源的水》质全分析资》料并应选择》有代:表性的水质分—析资料作为设计依据!水质全分析报—告格式应《符,合本规范附录A的要!求水:质资料的《获取:应符合下列要—。求
! :1, 水源《为地表?水,时宜取?得全:。年逐月水《质资料?
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2】 , 水源?为地下水《时宜取?得全年每季的—水,质资料
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— 3: 当无法得到【。。。逐月或逐季》资料时应掌握水质随!季节的变化规律
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3—. :1. 6 对可】能受到海水倒灌【或其:他因素影响的水【源应掌握由此而【引起的水质变化【情况对于来自生产】。过程中的回》用,水应掌?握其来源与》组成
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3:. 1. 》7 电子工业【纯水制?备系统应由预处【理、脱盐《及深度处理和精处理!组成各阶段达到的】。。目标应?符合下列要求
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, 《1 ?预处理阶段水—质应满足《脱盐装置《进水水?质的:要求
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— 2 脱盐—及深度处《理阶段产水》水质应接近最终【产水水质《要求
》
— 3 《精处理?阶段应保证不间【断地满足最终产水水!质、水量和水压【等要求
》
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:3,. 1?. 8 系统【设计中每《个水处理装置的【出水水质应满—足后续处理装置的】进水水质要求水处理!装置的?进水水质应根—据制水设《备的要求确定水【质要求较高或有多项!水质指标时尚—应符合最终水质的】要,求
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