3  纯水制备工艺

3. 1  一般规定

3. 1. 1  电子工业纯水系统应根据电子产品生产工艺要求，合理解定纯水制备系统的规模和供水水质。

3. 1. 2  电子工业纯水系统制水流程和设备的选择应根据对纯水水质的要求、原水水质以及运行管理水平，并结合处理效果、原水的利用率、节能、环保等因素，经技术经济比较确定。

3. 1. 3  电子工业纯水系统应根据最终产品水水质要求选择简捷、有效的处理流程和可靠的处理设备。

3. 1. 4  纯水站的产水量应根据各类产品水量加系统自用水量确定。

3. 1. 5  电子工业纯水系统设计前应取得全部可利用水源的水质全分析资料，并应选择有代表性的水质分析资料作为设计依据。水质全分析报告格式应符合本规范附录A的要求。水质资料的获取应符合下列要求：

    1  水源为地表水时宜取得全年逐月水质资料。

    2  水源为地下水时宜取得全年每季的水质资料。

    3  当无法得到逐月或逐季资料时，应掌握水质随季节的变化规律。

3. 1. 6  对可能受到海水倒灌或其他因素影响的水源，应掌握由此而引起的水质变化情况。对于来自生产过程中的回用水，应掌握其来源与组成。

3. 1. 7  电子工业纯水制备系统应由预处理、脱盐及深度处理和精处理组成，各阶段达到的目标应符合下列要求：

    1  预处理阶段水质应满足脱盐装置进水水质的要求。

    2  脱盐及深度处理阶段产水水质应接近最终产水水质要求。

    3  精处理阶段应保证不间断地满足最终产水水质、水量和水压等要求。

3. 1. 8  系统设计中每个水处理装置的出水水质应满足后续处理装置的进水水质要求，水处理装置的进水水质应根据制水设备的要求确定。水质要求较高或有多项水质指标时尚应符合最终水质的要求。