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3 —纯水:制备:工艺
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3《. 1? 一般规定—
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3.? 1. 1 电子!工业:纯水系统应根据电子!产品生产工艺—要求:合理:解定纯水制备系统】的规:模,和供水水《质
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3.— ,1. 2 电子】工,业纯水系统制水流程!和设备的选择—应根据?对纯水水质》的要求、原》水水质以及运—行管理水平并—结,合处理效果、原【水的利用率》、节能、环》。保等因素经技—术经济比《较确:定
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3. 1. 【3 : 电子?。工业纯水系》统应:根据最终产品水【水,质要求选《择简捷、有效的处】理流程和《可靠的处理》设备
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3. 1. 【4 : 纯水?。站的产水量应根据】各类产品水量加系】统自用水量确定【
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3.》 1. 5 【电子工业纯水系统设!计前应取得全部【可利用水源的—水质全分析资料【并应选择有代—表性的水质分—析,资料作为设计依【据水质全分析报告格!式应符合本》规范附录《A的要求水质—资料的获取应符【合下列要求
】。。
1】 水源《为地:表水时宜取得全年】逐月水质资料
【
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2! 水源《为地下?水时宜?取,得全:年每季的水质—资料
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《 3 当—无法得到逐月—或,逐季资料时应掌握】水质随季节的—。变化规律《
3【. 1. 6— 对可能受到【海水倒灌或其—。他因素影响的—水,源应掌握由》此而引起《的水质变化情况对于!来自生产过程中【。的回:。用水应掌握其来【。源与组成
】
3. 1.【 ,7 ?电子工?业纯水制备》系统应由预处理、】。脱盐及深度处—理和:。精处理组成各阶段达!到,的目标应符合下【列要:求
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】。1 预《处,。理阶段水《质应满足脱盐装置进!水水质的要求
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2 】 脱盐及深度—处理阶?段产水水质应接近最!终产水?。水质要?求
! 3 》精处理?。阶段应保《证不间断地满—足,最终:产水水质、水量和】水压等要求
【。
3. 1】. 8 》系,统设计?中每个水处理装【置的出水水质应【满足后?续,处理:装置的进水水—质要求水处》理装置的进水水质应!根据制?水设备的要求确定】水质:要,求较高或有》多项水质指标时尚应!符合最终水》质,的要:求,
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