》
:
3 《 纯水?制备工?艺,
3. !1 一般》规定
?
》3. 1. 1 】 电子工业》。纯水系统应根据电子!产品生产工艺要【求合理解定纯水制】备,系统的规模和供水】水质
》
3. —1. ?2 电《子工业纯《水系统制水》流程和设备的选择应!根据对纯《水水质的要求、原水!水质以及运行管理水!平并结?合处理效《果、原水的利用【率、节能、环保【等因素经技术经济比!较确定
》
3.— 1. 《3 电子工业纯】水系统应根据最【终产品水水质要【求选择简《捷、有效的处理流程!和可靠的处》理设:备
—
3. 1. 4】 纯水站》的产水量应根—据各类产品水量加】系,统,自,用水量确《定
3.! 1. 5 电子!工业纯水《系,统设计前应取得全】部可利用水源的水】质全分析《资料并应选择有代】表性:的水质分析资料作为!设计:依据水质全分析报】告格式应符合本【规,范附录A的要—求水质资《料的:获取:。应符合?下,。列要求
【
1【 :水源为地表水时【宜取得全年逐月【水质资料《
】。 2 水源为】地下:水时:宜取:得全年每季的水【质资料
! , 3 》 当无法得》。到逐月?或逐季资料时应掌】握水:质随季节的变化规律!
?
?3. 1. 6 】 对可能受到—海水倒灌或其他因】素,影响的水源》应掌握由此而引起】的,水质变化情况对【于来自?生产过程中的回用水!应掌:握其来源与组—成
3】。。。。., ,1. 7 电子工!业纯水制备》系统应由《预处理?、脱盐及深度—处理和?精处理组成各阶【段达到的目标应【符合下列要求
!。
:
1 【 预处理阶段水质】应满足脱《盐装置进水水质的】要求
! , 2 》脱盐及深度处—理阶段产水》水质应接近最终产水!。水质要求
》
!3 精处理阶段】应保证不间断地【满足最终产》水水质、水量—和水压等《要求
3!. :1. 8 系统】设,计中每个水处理【装置的?出水水质应满足【后续处?理装:置,的进水水质要求水】处理装置的进水【。水,质应根据制水—。设,备的要?求,。确,定水质要求较高或有!多项水质《指标时?尚应符合最》终水:质的要求
—