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3 纯—水制:。备工艺
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3. 1 一般!规,定
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3. 1】., 1 电子工业】纯水系统应根据电】子产品生产工艺【要求合理解》定纯水制备系统【。的规模和供水—水质
3!. 1. 2 电!子工:业纯水系统制水流】程和设备的选择应】根据:对,纯水水?质的要?求、原水水质以及运!。行管理水平并结合】处理效果、原—水的利?。用率、节能、环【保等因素《经技术经《济,比较确定
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3. 1.— 3 电子工业】纯水系统应根据最终!产品水水质要求【选择简捷、有—效的处理流程和可靠!的,处理设?备
3】. :1. 4 纯水站!的产:水量应根据》各,类产品水量加—系统自用水》量确定
!3. 1. 5【 :电子工业《。纯水系统设计—前应取得全》。。部可利用水》源,的水质全分析资【料并应选择有代【表,性的水?质,分析资料作为—。设计依据水质全分析!报,。告格式应符》合,本规范附录A的要】。求水质资料的获取】应符合下《。列要求
! 1 水】源为:地表水时《宜取得全年逐月【水质资料《
【 2 —水源:为地下水时宜取【得全年每季的水质】。资料
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】 3 当无法【。得到逐月或逐季【资料时?应掌握水质》随季节的变化规【律
3.! 1. 6 对】可能受到海水—倒灌或其《他因:素影响的水》源应掌握由》此而引起《的水质变化》情况对?于来自?生产:过,程中的回《用,水,应掌握?其来源与组成—。
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3《. 1. 7— 电子工业纯水制!备系统应由预处理】、脱:盐及深度处理和精】处理组成各阶段【达到:的目标应符合下【。列,要求
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: 1 预【处,理,阶段:水质应满足脱盐【装置:进水:水质的要求
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?。 2 脱盐】及深度处《理阶段产水水—质应接近最终产水水!质要求
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3— 精处理》阶段应保证不间【。断地满?足最:终产:水水:质、水量和水压等要!求
【3.: 1. 《8 系统设计【中每个?水处理装置的—出水水质《应,满足后续处》理装置的进水水质要!求水处?理装:。置的进水水质应根据!制水设备的要—求确定水《质要求较高或有【多项水?质,指标时尚应符—。合最终水《质的要求
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