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3 ! 纯水制《备工艺
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?3. 1 —一般规定
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3. 《1. ?1, 电子工业纯水系!。统应根据电子产品生!产工艺?。要求合理解定纯水制!备系统的规模和【供水水质《
—3. 1. 2 】 电子工业纯水系统!制水流程和设—备的选?择应根据对纯水水】质的要?求、原水水》质以及运《行管理水平并结合】处理:效果、原水的利【用率、节能》、环保等因》素经技术经济比较确!定
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3. 1【. 3 电子【工业纯水《系,统应根据最终产品水!水,质要求选择简捷、】有,效的处理流程—和可:靠的:处理设备
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3—. 1?. 4? :纯水站的产水量应】。。根据各类《产品水量加系统自用!水量确定
【
?3. 1《. 5? 电子工业纯水系!统设计前应取得【全部可利《用水:源的水质全》分析资料并应—选择有?。代表性的《水质分析资》料作为?设计依据水》质全分析报告—格式应符合》本规范附录》A的要求水质资料的!获取应符合下列要】。。求
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1【 水源为地表水时!。宜取得全《。年逐月水质资料
】
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《 2 水》源为地下水》。时宜取?得全年每季的水质资!料
】 3 当无法!得到逐?月或逐?季资料时应掌握水质!。随季节的变》化规律
】
3. 1》., 6 对可能受】。到海水倒灌或其【他因:素影响的《水源应掌握》由此而引起》的,水质变化情况对【于来:自生产过程中的回用!水应掌握其》来源与组成
!
3. 1.【 7 电子工业纯!水制:备系统应由预—处,理、脱盐及深度处理!和精处理组》成各阶段达到的目标!应符合下列》要求
! 1 》 预处理阶段水【质应满足脱》盐,装置进水水》质的要求
】
2 !脱盐及深《度处理阶段产—水,水质应接近最终产】水水:质要求
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— 3 精处理阶段!应保证不间断地满】。足最终产《水水:质,。、水:量和水压等要求
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3.— 1.? 8 系统设【计中每个《水处理装《置的出水水质应满足!。后续:处理:。装置:的进水水《质要求水处理装置的!进水水质《应根据制水设备的要!求确:定水质要求较高【或有多项水质指【标时:尚应符合《最,终水质的要》求
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