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!3 : 纯水制备工—艺
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3. 】。1 一《般规定
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《
3.? 1. 《。1 电子工业纯】水系统应《根据电?子产品生产工—艺要求合《理,解定纯水制》备系统的规》模和供水《。水质
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3. —1,。. 2 》电,子工业纯水》系统制水流程和【设备的?。选择应根据对纯水】。水质的?要求、原水水—。质以及运行管—理水平并结合处理效!果、:原水:的利用率、节能、环!保等因素经技术经济!比较确定
【。
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3. 1. 3】。 电子《工业:纯水系统应》根,据,最终产品水水—质要求选择简—捷、有效的处理流】程和可靠的处理【。。设备
】3. 1《. :4 纯水站的产水!量应根据各类—产品水量加系统自用!水量确?定
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3.【。 1. 5 — 电子工业纯—水系统设计前应取】得全:部可利?用水源?的水质全《分,析资料并应选择有】代表性的水质—分析资料作为设计】依,据水质全分》析报告格式应—符合本?规范:附录:A的要求水质资料的!获,取应符合《下列要求《
!。 1 水》。源为地表水时宜【取得全年逐月水质资!。料
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【 2 水—。。源为地下水时宜取得!全年每季的水质【资料
》
【3 当无法得到】逐月或逐季资料时】应掌握?水,质随季节的变—化规律
!3. 1《. :6 对可能受【到海水倒灌或其他因!素影响的水源—应掌握由此而—引起的水《质变化情况对—于来自生《。产过:程中的回用水—应掌握其来源与【组成
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:3.: 1. 7》 电?子工业纯《水制备系统应由预处!。理、脱盐及深度处理!和精处理组成各【阶,段达到的目》标应符合下列要求】
【 1 》 预处理《阶,段水质应满足脱盐】装置进?水水质的要求
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!2 脱盐》及深:度处:理阶段产水水质应】接近最?终产水?水质要求
】。
:。 3 【精处理?。阶段应保证不间断地!满足最终《产水水质、》水量:和水压等要求
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3. —1. 8 系【统设计中每个水处理!装置的出《水水质应满》足后续处理》装置的?进水水质要求水【处理装置的进水水质!应根据制水设备的】要求:确定水?质,要求较高或有多项水!质指标时尚应符合】最终水质的要求
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