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1 —总 则
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1. 0【. 1? 本条阐》述了:。编,制,本规范的目的和【进行工程建设应【遵守的基本原则
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【 :纯水的制备始—。于20世纪4—0年代伴随》着离子交换树脂【的商业化生产而发展!起来传统的纯水以】电导率为表征—主要关?注于:去除:水中的电解质随着集!成电路工业、—。。液晶:显示器、太阳能产】业和LED的—迅猛发?展带动了纯水—等支持?系统的飞速发展与传!统的纯水相》比,当代:电子工业纯水—不仅关注去除水中的!溶解电解质还关注于!去除:水中的有机》物、溶解《氧、细菌《以及微小颗》粒等杂质特别是随着!集成电?。路的:。集成度的不断提升】生产的工艺步—骤越来越多元件被】重复清?洗对作为清洗介质】的纯水的《要,求越来越高如—果纯水品质》达不到要求其本身对!。器件就是一种污染更!谈不上清洗本规范】。的制定旨《在,为电子工业纯水系】统的设计工作—提供较为《系统的技术》依据:。。推动电子工业纯水】系统设?计工作的发展
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1.【 0. 2 电】子工业?纯水系统的设计【必须遵守工程建【。设的基本原则技术先!进是要求纯水系统】设计科学采用的制】水工艺和设备先【进、高效、成熟【。安,。。全适用是要求—纯,水系统稳定可靠满足!生产需求经济合理则!是要:在保证安全可靠【、技术先《进的前提下节省工程!投资费用《。和日常运行维—护成本操作》方便是要满足日【常操作运行、检【修维护的便利和【快捷的需求》。
1. !。0. 3 电【子工业?的集:成电路工厂和T【FT:-LCD工厂等都是!。。用水:大户同时这类工【厂在生?产过程中使用大【量的化学品》其在为?社会创造价》值的同时也必—然耗费大量的水资源!并,且带来废物排放的问!题,。随着人?们对工业的发展所】带来污染影响的越发!重视纯水系统—的,设计如何《节,。水,和,如何减少污染—物,。排放是?当今电子工业—纯水系?统设计?和建设所必须要【面对的问题如何减少!化学:品的使用和如何【提高:水的:。利用:。率是:系统:设,计必须要解决的问】题未来的《电,子工业纯水系统肯】。定是化学《品使用尽可》能少:系,统,回收率尽可》能高的系统减少资】源占用、环境友好的!。“绿色”的》纯水系统是必—然的发展趋势—
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