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!1. ?0. 1《 本条《。阐述:了编制本规范的目的!和进行工程建设【应遵守的基》本原则
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纯水的】。制备始于2》0世纪40年代伴随!着离子交《换树脂的商业化生】产而发展起来传统】的纯水以《电导率?为表征主要关注于】去除水中的电解【质随着集成电路工业!、液晶显示器、太阳!能产业和LED的】迅猛发展《带动了?纯水等支持系统的飞!速发展与传统—的纯:水相比当代电子工】业纯水不仅关—注去除水中的溶解电!解质还关注于去【除水中的有机物【、溶:解氧、细菌》以及微小颗粒—等杂质?。特别是随着》集,成,电路的集成度—的不断?提升生产的》工艺步骤越来越多】元件被?重,复清洗对作为清【洗介质的纯水—的要:求越来?越高如果纯水品【质达:不到要求其本身对】器件就是一种污染更!谈不上清《洗本规范的制—。定旨在为电子工【业纯水?系统的?设计工作提》供较为系统的—技术:依据推动电子工业纯!水系统?设计工作的发展【
1【. 0. 2 】电,子工业纯《水系统的《设计必须遵守工程】建设的基本原—则技术先进是—要求纯?水系统设计科—学采:用的制水工》。艺和设备先进、【高效、成熟安全适】用是要求纯》水系统稳定》可靠:满,足生产需《求经济合理则是要在!保证:安,。全可:靠、技?术先:进的前提下节省工】程投资费用》。和,日常运行维护—成本操作《方便是要满》足日常操《作运行、检修维护】的便利和《快捷的需求
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1. 0.! 3 电子工业的!集成电路工厂—和T:FT-LCD—工厂等都是用水【大户同?时这类工厂》在生产过程中—使用大量的》化学品其《在为社会创造价值的!同,时也必然耗费大量的!水资源并且带来【废物排放的问题随着!人们对工业的发展】所带来污《染影响的越发重【视,纯水:系,统的设计如》何节水和如何减少】。污染物?排放是当今》电子工业纯》水,系统设计《和建设?。所,必须要面对的问【题如:何减:少化学品的使用和】如何提高水的—利用率是系》统设计?必须要解决的—问题未来的电子【工业纯水系统—肯定是化学品使【用尽可?能少系统回收—率尽可能高的系统减!少,资源占用、环境友好!的“绿色”》的纯水系统是—必然的发展趋势
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