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【1 总 则!
1.! 0. 1 【本条阐述《了编制本规范的【目的和进行工程建】设应遵?。守的基本原则—
】 纯水的制备始于!2,0,世纪40年代伴随着!离子交换树》脂,的商:业化生产而发展起来!传统的纯水以电导】率,为表征主要关注于去!除水中的电》解质随着集》成电路工业、液晶】显示器、太阳能产】业和L?ED:的迅猛发展》带动了纯水等支持系!统的飞速发展与【传统的纯水相比【当代电子工业—纯,水,不仅:关注:去除水中《的溶解电解质还关】。注于去除水中的有机!物、溶解《氧、:细菌:以及微?小颗粒等杂质—特别是随着集成电路!的集成度《的不断提升》。生产的工艺步—骤越来?越多元?件被重复清洗对作为!。清洗介质的纯水【的要求?越来越?高如果纯水品质达】不到要求其本—身对器件《就是一种污》染更谈不上清洗【本,规范的制定旨在为】。电子工?。业纯水系统的设计工!作提供较为系—统的技?术依据推动电—子工业?纯水系统设计工作】的发展
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1. 0.— 2 电子—工业纯?水系:统的:设计必须遵守工程】建设的基本原则技术!先进是要求纯—水系统设《计科学?采用的制《水工艺和《设备先进、高—。效、成熟《安全适用是要求纯】水系统稳定可靠满足!生产需求经济—合理:则是要在保证—安全可?靠、技术先进—的,前提下?节省:工程:投资费用和日常运】行维护成《本操作方便是要满足!日常操作运行、【检修维护的便利和快!。捷的需求
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1. 0.— 3 电子工【业的集成电》路工厂和TFT-L!CD工?厂等都是用水大户】同时这类《工厂在生产过—程中使用大量—。的化学品其》在为社会创造价【值的同时《。也,必,然耗费大量》的水资源并且带来废!物排放的问》题随着人们对工业的!。发展所带来污染影响!。的越发重《视纯水系统的设【计如何节水和—如何减?少污染?物排放是当今电子】工业纯水系统—设计和建设》所必须?要面对的问题如何】减少化学品的使用】和如何提高水的利用!率是系统《设,计必须要《解决的?问题:未来的电子工业纯水!系统肯定是》化学品使用》尽可能少系统回收】率尽可能高的系统减!少,资源占?用、环境友好的“绿!色”的纯水系统是】必然的?发展趋势
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