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1 — 总 则 】
—1. ?0. 1 本条】阐述:了编制?本规范的目》的和进行工》程建设应遵守的基本!原则
! 纯《水的制备始》于20世纪4—0年代?伴随着离子交—换树脂的《商业化生产而—发展起来传统的纯水!以电导?率为:。表征主要关注—于,去,除水:中的:。。电解质随着集成电路!工业、液晶显示器】、太阳能产业和【。LED的迅猛—发展带动《了纯水等支持系统】的飞速发展与—传统:的,纯,水,相比当?代电子工业纯水不仅!关注去除水中—的溶解电解质还关】注于去除水中的有】机物、溶《解,氧、细菌以及微【小颗粒等杂》。质特:。。别是随着集成电路】的集成度的不—断提:升生产的工》艺步:骤越来越多元—件被重复清洗对作为!清洗:介质的纯《水的要求越来—越,高如:果纯水品《质达不到要求其本身!对,器件就是《一种污染更谈不上清!洗本:规范的制《定旨在为电子工【业纯:水系统的设计工作】提,。供较:为系:统的技术依据推【动,电子工?业纯水系统》设计工作的发展
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1—. 0. 2— 电子工业纯水系!统的设计必须遵【守工程建设的基本】原则技术先进—是,要求纯水系统设计科!学采用的制》水工:艺和设备先进、高】效、成熟安全适用】是要:求纯水系《统稳定可靠满—足生产?需求经济合》理则是要在保证安全!可靠、?技术先进的前—提下节省工程投【资费用和日常运【行维护?成本操作方便是要】。满足日常操》作,运行:、检修维护的便利和!快捷的需求
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1. 0.】 3 电子工业的!集成电路工厂和TF!T-LCD工厂【等都是用水》大户同时这类—工厂在生《产,过程:中使用大量的化【学品其在为社会创】造价:值的同时也必然耗费!大量的水资》源并且?。带来废物排放的问】题随着人们》对工业的发展—所带来污染影响的越!发,重,。视纯水系统的设计】。如何节水和如何减】少污:染,物排放是当今电【子工业?纯水系统《设计和建设所必须】。要面对的问题—如何减少《化学品的使用和如】何提高水的利用率是!系统设计《必须要解决的问题未!。来的电子工业纯水系!统肯定?是化学品使用尽【可能少系统》回收率尽可能高【的系统减少》资源占用、环境友】好的“绿色”的纯】水系统是《必然的发展趋势
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