—。 ， 3  纯水【制备工艺 》 3. 1！  一般规定 【 3. 1！。.， 1：  纯水制备系统的！。规模和供《水水：质，直接影响纯》水系统的投资大小应！根据生产《。需要合理确定 【 ：    — 关于电子工业纯水！水质指标不》同电子产《品，。、不同生《产工艺和不》同厂家都《会提出？不同的要求目前国际！比较通？用的：标准是美国材料【试验：学会(AS》TM)的标准AST！M ：D5：127-0》7(见表1》)，该标准主要是针对不！同，线宽的集成电路生】产有较大参考价【值 ！ 【   》   国内的标【。准只有电子》级水GB/T— 114《46. 《1，-，。1997水质要求】较低并不直接针【对电子产品》只适用于水》质要求较低的—电子产品 】 3. 1. 2！  确定纯水制【备流：程和选择《处理设备是设计的关！。。键，影响因素也是多方】面，的不应该只强—调某一方面》。而应该各《种因素综合考—虑选择？。最佳的方案 【 3. 1.！ 3  条文中【强调：简捷和有《效非常重要因—为每个处理单元对】于水：。质处理？来说除了正面作用】外会有或《多或少的负》。。面作用例《。如，离，子交换树脂》具有良好《的除盐作用的同时】会有溶解有》机物和碎颗粒产【生 3】. 1. 5 【 本条强《调全部可利用水【源包括自来水以外】的，再生水、甚至废【水处理站《处理后的《水体现面对水—资源匮乏设计中【不能只盯着》自来水而忽略其他水！源 —     》。掌握可靠《的水：源水质资料是做好】纯水处理系统—设，计的先决条件附【录B列？出，了水质分析项—。。目当系？统中采用反》渗透时应检测水中】的锶、钡等项—目当采用再生水时应！根据水质《。特点增？加一些针对性—的理：化，检测项目《 3. ！1. 6  —海水倒灌《是沿海地区(例如上！海地区)在咸潮期】的普：遍现象由于》水质的变化》对纯水？处理特别是》。前，级的：预处理和初级处理冲！击很大因此应切实掌！握因海水倒》灌，引起的？水质变？化，采取有效的对策见】。表2 《 ！  3. 》。1. 7  电子】。工业纯水制备系统的！三个：阶段的划分是多年】经验的科学总结【电子工？业在电子管的阶【段对水质要求低基本！的手段为离子交换基！本没有预处理—和抛光处理随着【纯水水质《的提高在脱盐系统】。后出现了精》处理(抛光)—阶段；随着反渗【透在系统《中的出现其运行【关键是？保证进入反渗透的水！质形成了预》处理系统《条文：中明：确了各个处理阶段的！基本要求见图1 ！ 》 3. 】1.： 8  纯》水制备系《统中保证每个处【理单元？进水的水《质非常重要是—。长期稳定运行—的关键？特别是电子工业【纯水系统《中常用的反渗透和电！除盐其运转的成败大！都在于是否能保证】其进水？水质要求无数事例证！明反渗透《。的关：键是进水《的污染指数电—脱盐的关《键是进水的硬度【当然表3. —2. 1中所列的】进水水质指》标都是重《。要的电渗析》在电子工业纯水系】统中已？很，少，使用其进水指标【仅，供参考？ ：