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】3 纯水》制备工艺
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3. 】1 : 一般?规定
】3. 1.》 1 纯水制备】系统的规模和供水水!质直:接影响?纯水系统的投—资大小应《根据生产《需要合理确定
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关于电!子工业纯水水—质指标不《同电子产《。品、:不同生产《工艺和不同厂家都会!提出不?同的要求目》前国际比较通用的标!准是美国《材料试?验学:会(AS《。TM)?的标准?ASTM 》D5127-07】。(见表1《)该:标准:主要:。是针对不同》线宽的集成电—路生产有较大参【考价值
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】国,内的标准只有电子】级水GB/T— 11446.【 1-1997【水质要?。求较低并不直接针对!电子产品只适用于水!质要求较低的电子】产品
】3,. 1.《 2 确定纯【水制备流程和选【择处:理设备?。是设计的关键影响因!。。素也是多《方面的?不应:该,。只强调某一方面【而应该各种因素【综合:考虑选择《最佳:的方案
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《。3. 1. —3 条《文中强调简》捷和有效非》常重:要因为每个处理单】元,对于水质处》理来说?除了正?面,作用外会有或—多或少的负面作【用例如离子交换树脂!具有良好《的除盐作用》的,同时会有溶解—有机:物和碎颗粒产生
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3—. 1. 》5 ?本条强调全部—可利用水源包括【自来水以外的—再生:水、甚至废水—处理站处《理后的水体现—面对水资《源匮乏设计中不能只!。盯着自来水而—忽,略其他水源
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【掌握可靠《的水源水质资料【是做:好纯水处理系统设计!的先决条件附录B】列出了水质分析项目!当系统中采用反渗】。透时应检《测水中的锶、钡等项!目当采用再生水时】应根据水质特点增】加一些针对性的理化!。检测项目
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3. 1.】 6 海水—倒灌是沿《。。海地区(例如上海地!区)在咸潮期的普】遍现象由于》水质的变化》对纯水处《理,特别是前级的预【处理和初级处理冲击!很,大因此应切》。实掌握因海水倒灌】引起的水质》变化采取有效的【对策见表2
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3. 1. !7 电子工业纯】水制备系统的三个】阶段的划分》是多年经验》的科学总结》电子工?业在电子管的—阶段对水《质要求低基本的手】段为离子《交换基本没》有预处理和抛—光,处理随着《纯水:。水质的提高在脱盐】系统后出现了精处】理(抛光)阶—段,;随着反渗透—在系统中的》出现其运行关键【是保:证进入反渗透的水质!形成了预处理系统】条文中明确了各个】处理阶段的基本要】求见图1
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?3. 1. 8 】 纯水制备系统中】保证每个处理单【元进水的水质—非常重要是》长期稳定运》行的关?键特别是电》子工业纯水系统中常!用,的反渗透和》电除盐其运转的【成败:大都:。在,于是否能保证其【进水水质要求无数】事例证明反渗透【的关键是进水的污】。染指数电脱盐的关】键是:进水的?。硬度当?然表3. 》2. 1中所列【的进水水《质指标都是重要【的电渗析在》电子工业纯》水,系,统中已很少使用其】进水:指标仅供参考
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