】 3  纯》水，制备工？艺 《 3.》 ，1  一《般规定 《 3. 1！. 1  纯水制备！系统的规模和供【水水质直接影响【纯，水系统？的投资大《小应根？据生产需要合—理确定 ！    关于电子】工业纯水水质指【标不同电子》产品、不同生—产工艺和不同厂【家，都，会提出？不同的要求目前国际！比较通用《。的标准是《美，国材料试验学会(】ASTM《)的标准《A，。STM D512】7，。。-0：7(见表1)该标准！主要是针《对不同线宽》的集成电《路生产？有，较大参考价值— 》 ， —  【。    国内的标准！只有：电子级水GB/T】 11？4，46.？ ，1，-1997水质要求！较低并不《直接针对《电子产品只适用于】水质要求较低的电】子产：品 — 3：. 1？. 2  》确定纯水《制备流程和选择处】理设备是设计的【关键影响因》素也是多方面—的不：应，该只强调某一—方面而应该各种【因素：综合考？虑选择最佳的方案】 3.】 1. 3  条】文中强调《简捷和有效非常重】要因为每《个，处理：单元对于水质处【理来说除了正—面作用外会有或多】或少的负面作用例】如离子交换树脂具有！良好：的除盐作《用的同时会有溶解有！机物和碎颗粒产【生 — ，3. 1.》 5  《本条：强调全部可利—用水：源包括自来水以外】的再：生水、甚《至废水处理站—处理后的水体—现面：对水资源匮》乏设计中不》能只盯着自来水而忽！略其他水源 】。    — 掌握可靠的—水源水质《。资料是做好纯水【处理系统《设计的先决条件附录！B列出了水质—分析项目当系统中采！用反渗透时应—。检测水中的锶、钡】等项：目，当采用？再生水时《。应根据水质》特点增加一些—针对性的理化检测】项目 — ， 3. 1》. 6  》海水倒灌是》。沿海地区(》例如上海地》区)在咸《。潮期：的普遍现象由于水】质，的，变化对纯水处理特】别是：前级的？预处理和初级—处理冲击《很，大因此应《切实掌握因》海水倒灌引起的【水质变化采取—有效的对策见表2】 《 ： 》  ：3. 1. 7【  电子工》业纯水制备系统的三！个阶：段的划分是多年经验！的科学总《结电子工业》。在电子管的阶段对】水质要求《低基本的手段为【离子交换基本没有】预处理？和抛：光处理随着纯水水】质的提？高，在脱盐系统后出【。现了精？。。处理(抛《光，)阶段；随》着反渗透《在，系统中？的出现其运行关键是！保证进入反渗透【的，水质形成了预处【理系统条文中明确了！各个：处理阶段的基—本要求见图》1 ： — ， 3. 【1. ？8，  纯水《制，备系统中保证每【个处：。理单元？进水的水质非常重要！是长：期稳定运行的—关键特别是电—子工：业纯：水系：统中常用的反—渗，透和电除盐其运转】的成败大都在—于是否能保》证其：进，。水，水质要？求无数事例证明反渗！透的关键是进水的污！。染指数电脱》盐的关？。键是进水的》硬度当然表》3. ？2. 1中所列的进！水水质指标都是重要！的电渗析在电—子工：业纯水系《统中已？很少使？用其进水指标仅供】参考 《