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3【 纯?。水制:备工艺?
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3. —1 ?。一,般规定
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3. 1.【。 1 纯水制【备系统?的,规模和供水水质直】接,影响纯水系统的【投资大小应根据生】产需要?合,。理确定
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? 关于电子工业】纯水:水质指标不》同电子产品、不同】生产:工,艺和不同厂家都会提!出不同的《要求目?前国际比较》。通用:的标:准是美国材料试【验学会(《ASTM)的—标准:ASTM D51】27-07(见表】。1)该标《准主要是针》对不同线宽的集成电!路生产有较大—参考价值《
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【 国内—的标准?只有电?。。子级水G《B/T 《11446. 1】-1:997水质要求较】低并不直接针—对电子产品只适【用于水质要求—较低的电《子产品
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3. 1》. 2 确定纯】水制备流程和选择处!理设备是《设计的关键影—响因素也是多方面】的,不应该只强调某一】方,面而应该各种因素综!合考虑?选择最?佳的方案
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3.? 1. 《3 条文中强调简!捷和有效非》常重要因为每—个处理单元对于【水质:处理来说除了—正面:作用:外会有?。或多或少的负面【。。作用:例如离?子交换树脂具有良】。好的:除盐作用的》同时会有溶解有机物!和碎颗粒产生
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3. 1. 5!。 本条强调全【部可:利用水源包》括自来水以外的再】生,水,。、甚至废水处理站处!理后的水体现面对】水资源?匮乏设计中不—能,只盯着自来水而忽略!其他水源
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《 掌《握可:靠的水源水质—资料是做好纯—水处理系《统设计的先决条件】附录B列出了水【。质分析项目》当系统中采用反渗】透,时应:。检测水?中的锶、《钡等项目《当采用再生水时应】根据水质特点—增加一些针》对性的理化检测项目!
3. !。1. ?。6, 海水倒灌是沿海!地区(例如上海地】区):在咸潮期的普—遍现象由于》水,质的变化对纯水处】理特别?是前级的预处理【。和初级处理冲—击很大?因此应切《实掌握因海》水,。倒,灌引起的水质变化采!。。取有效的对策见表】。2
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3. 1!. 7 电子工】业纯水制备》系统的三《个阶段的划分是多】年经验的《科学总?结电子工业在电子】管的阶段对》水质要求低》基本的手《。段为离子交》换基本?。没有预处理和—抛光:处理随着纯水水质的!提高:在脱盐?系统后出现了精【。处理(?。抛光)?阶段;随着反渗透】在系统中的出现其】运,行关键?。是保证?进入反渗透的水质】形成:了预处理系统条文】中明确了各个处【理阶段的基本—要求见图1》
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3. 1【. 8 纯水【制备系统中保证【每个处理单元进水的!。水,质非常重《要是长期稳定运【行的关键特别是电子!工业纯?水系统中常用的【反渗透和电除盐其】运转的成败大都【在于:是否能保证其—进水水质要求无数】事例证明反》渗透的关键》。是进水的污染指数电!脱盐的关键是—进水:的硬度当然》表3. 2》., 1中所列的—进水水质指标都【是重要的电渗析【在电子工业纯—水系统?中,已很少使用其进水指!标仅供参《。考
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