。  ？ 》 3  纯水制备工！。艺 3.！ 1  一般规定】 ：。 ： 3. 1.【 1  纯水制备】系统：的规模？和供：水水质直接》影响纯水《系统的投资大小【应根据生产需要【合理确定 —    【 关于电子工—业，纯水水质指标不同电！子，产品、不《同生产工艺和不同厂！家都会提出不同的要！求目前国际比—较通用的《标准是美国材料试验！学会(？ASTM《)的标准ASTM】 D5127-07！(见表1)该标【准，主要是针对不同线宽！的集成电路生产有】较大参考价值— 【 ？ 】   ？ ， 国内的标准只【有电子级《水GB/T 1【1446. 1-1！997水质要—求较：低并不直接针对电】子产品只适用于【水质要求较低的【电子产品《 ？ ： 3. 1》. 2  确定纯】水制备流程和—选择处理设备是设计！的关键影响因素也】是多方面的》不应该只强调—某一：方面而？应该各？种因素综《合考虑？选择最佳的》方案 《 《3. 1. 3 】。 条文中强调简捷】和有效非《常重要因为每个处】理单元对于水质【处理来说除了正面】作用外？。会有：。。或，多，或少的负面》作用例如离子—交换树？脂具有良好的—除盐作用《的同时会有》。溶解：有机物和碎颗—粒产生 】 3. 1. 【5 ：。 本条强调全部【可利用？水源包括自来水以外！的再生？水、甚？至废：水处理站处理后的】水体现面对水资源匮！乏设计中不能—只盯着自来水而忽】。略其他水源》 《     掌【握可靠的《水源水质资料—是做好纯水处理【系统设计的先决条】件附录B列》出了水质分》析，项目当系统中采【用反渗透时应检【测，水中的锶、钡等【项，目当采用再生水时】应根据水《质特点增加一—些针对性《的理化检测项目 ！ 3.— 1. 6 — 海水倒灌是—。。沿，海地区(例如上海】地区)在咸潮期【的普遍现象由于【水质：的，变化对纯水处理特别！是前级的预处理【和初：级，处理冲击很大因此应！切实掌握因海水【倒灌引起的》水质变化采》取有效的对策见表】。2， —  3.！ 1. 7  电子！工业纯水制备—系统的三个阶段【的划分是多年—经，验的科学《总结电？子工：业在：电子管的阶段对水质！要求低？基本的手段为离子交！换基本没有预处理】和抛光处理随—着纯水水《质的提高在》脱盐系统后出现了精！。处理(抛光)阶【段；：随着反渗透在系统中！的出现其运行关键】是保证进入反渗透的！水质形成了预处理】系统条文中明—确，。了各个处理阶段的】。基本要求见》图1 ！ 》3. 1. 8  ！纯水制备系统中【。保证每？个处理？单，元进水的水》质非常？重要是长期稳定运行！的关键特别是电子工！业纯水系统中—常用的反渗透和电】除盐其运转的成败大！都，在，于，。。是否能保证其进水水！质要求无数事例证明！反渗透？的关键？是进水的污染指数电！脱，盐的关键是进水【的硬度当然表3. ！。。2. ？1中所列的》进，水水质指标都—。是重要的电渗析在】电子工业纯水系统中！已，很少使用其进—水，指标：仅供参考 —