，   ？ 《 3  纯》水，制备工艺 ！ 3. 1  一般！规定 】3. 1.》 1  《。纯水制备系统—的规模？和供水水质直接【影响纯？水系统的《投，资大小应根据生产】需要合理《确定 —     关于】。电子工业纯水水【质指：标不同？电子产？品、不？同生产工艺和不同】厂家：都会提出不同—的要求目前》。国际：比较通用的》标，准是美国材料试【验学：会(ASTM—)的标？准ASTM —D5127-—07：(见表1)该标【准主要是针对不同】线宽的集成电路生产！。有较大参考》价值 【 ！ 《    《 国内的标》准只有电子级水【GB/T 》11446.— ，1-1997—水质：要，求较低并不直接针】对电子产品只—适，用于水质要求—较低的电子产品 】 3. 1！. 2  确定纯水！制备流程《和选择处理设备是】设计的关键》影响因素也》是多：方面的不《应该只强《调某一方面而应【该各种因素综合考虑！选择最佳的》方案： 3. ！1.： 3 ？ 条文中强调简【捷和有效非》常重要因为每个处】理单元对于水质【处，。理来：说除了正面作—用外会有或多或少】的负面作用例如离子！交，换树脂具有良好的除！盐作用的同》时会有溶解》。有机物和碎》颗粒产生 — 3. 1.！ 5  本条强调】全部可利用水源包括！自来水以外》的再生水、甚—至，废水处？理，。。站处理后的水体现面！对水资源匮》。乏设计中不能只盯着！自来水而忽略其【他水源 ！    掌握可【。。靠的：水源水质资料是做】好纯水处理系—统设计的先决条件附！录B列出了水质【分析项目当系统【。中采用反渗透—时应检测《水中：的锶、钡等项目当采！用再生水时应根据水！质特点增加一些【针对性的《理化检测项目 ！ ？。3.： 1. 6  【海，水倒灌？是沿海地区》(例如上海地—区，)在咸潮期的普遍现！象由：于，水质的变化对纯【水处理特别是前级的！预处理？。和初级处理冲击【很大因此《应切实掌握因海水倒！灌引：起的水质变化采【取有：效的对策见表2 ！ ： 】 3. 1.— 7  电》子工业纯水制备系统！的三个阶段的划分】。是，多年：。经，验的科学总结—电子工业在电—子管的阶段对—水质要求低基本的手！段为离子交换基本没！有预处理和抛光【处理随着纯水水【质的：提高在脱盐》。系统后出《现了精处理》(抛：光)阶段；随—。着反：渗透：在系统中《的出现其运行关【键是：保，证，。。进入反渗透的水质形！成了预处《理系统条文中明确】了各个处理》阶段的基本要求【。见图1 【。 ， 》 3？. 1. 8 【 纯水？制备系统中保证【每个处理单》元进：水的水质非》常重要是长》期稳定运行的—关键特别是电子工业！纯水系统中常用【的反：渗透和？电除盐其运转的成】败大都在于是否能】保证其进水水—质要求无数事例证】明反渗透的关键【是进水的《污染指数电脱盐的】关键是进水的硬度当！然表3. 》2. 1中所—列的进水水质—。指标都是《重要的电渗析在电】子，工业纯水《系统中已《很少：使用其进《水指标仅《供参考 》