：  》 3  纯水制】备工：艺 3.！ 1  一般规定】 》 3.？ 1. 《1，  纯水《制备系统《的规模和供水水质直！。接，影，响纯水系统》的投资？大小应根《据生产？需要合理《确，定，   】  关？于电子工《业纯：水水质指标不—同电子产品、不同生！产，工艺和不同厂家都】会，提，出不同的《要求目前国际比较通！用的标准是美国材】。料试验学会(—ASTM《)的标准《ASTM《 D：5，1，2，7-07(见表1)！。该标：准主要是针》对不：同线宽的《集成电路生产—有较大参考价值 】 ， 《 ， 《   ！   国内的标准】只有电子级》水GB/T》 11446. 1！-199《7水质？要求：较低：并不：直接针对电》。子产品？只，适用于水质要求较低！的电子产品 】 3. 1. ！2  确定纯水制】备流：程和选择处理设备是！设计的关键影响因素！也是多方面的不【应该只？强调某一《。。方面而应该各—种因素综合考—虑选：择最：。佳的方案 ！ 3. 1. 3】  条？。文中强调简捷和有】效非常重要因为每个！处理单元对于水质处！理来说除《了正面作用外会有】或多或少的负面【作用例如离子交换】树脂具有良好的除】盐作用的同时—会有溶解《有，机物：和，碎颗粒产生》 3【. 1. 5  本！条强：调全：部，可利用水《源包：括自来水以》。外的再生水》、甚至废水处理站】处理后的水体现【面对水资源匮乏【。设计中不能只盯着自！来水：而忽略其他》水源：    ！ ，掌，握可靠的水源水质资！料是做好纯水处理系！统设计？的先决条《件附：录，B列出了水质分析】项目当系统中—采用反渗透时应检测！水中的锶、钡等项】目当采用再生水时】应根据水质》。特点增加一》些针对？性的理化检测项【目 【3. 1. —6  海水倒灌是沿！海地区(例如上【海地：区)在咸潮期的普遍！现象由于《水质的变化对—。纯水处理特别是前级！的预处理和初级处】理冲击很大因此应切！实掌握因《海水倒灌引起的水质！变化采取有效的对策！见表：2 ！ 《 3. 1. 7】。  电子工业纯水】制备系统的三个【阶段的划分是多年经！验的：科学总结《电子工业在电子管】的，阶段对水质要—求低基本的手段为离！子，交换基本没有预【处理和抛光》处理随着纯水—水质的提《高在脱盐系统后出】现了精处理》(抛光)阶段；随着！反渗透在《系统中的出现其运】。行关键是保》证进入反渗透的【水质形？成了：预处理？系统条文中明确了各！个处：。理阶段的基本要求见！图1 — — 3. 》1. 8  纯【水制备？系统中保证每个处理！单元进水的水质非常！重要是长期稳定【运行的关键特—别是电？子工业纯《水系统中常用的反】渗透和电除盐其【运转的成败大—都在于是否能保证其！进水：水质：要求：无数事例证明反渗透！。的关键？是进：水的污染指》数电脱盐的关—键是进水的硬度【当然表3《.， 2. 《1中所列的进水【水质指标都是重要的！电渗析在《电子工业纯》。水系统中已很少【使用其？进水指标仅》供，参考 《