？ —3，。  纯水制备工艺】 3.】 1：  一般规》定， 3. ！1. 1 》 纯水制备系统的】规模和供水水质【直接影响纯水系统】的投：资大小应根据—生产：需要合？理确定？ 》     关于电】子工业纯水》水质指标不》同，电子产？品、不同生产工艺】和不同厂家都会提】出不同的要求目前】国际比较通用的标】准是：美，国材料试验学—会(ASTM)的标！准AST《M D51》27-07(见【表1)？该标准主要是—针对不？同线宽？的集：成电路生产有较大参！考价值 — 【  ！  ：。  国内的标—准只：。有电：子级水GB/T 1！14：46.？ 1-1997水质！要求较低并不直接】。。针对电子产品只【适用于水质要求较低！的电子产品 ！ 3.《 1. 2  【确定纯水制备流程和！选择处理设备是设】计的关键影响因素】也是多方面的不应该！只强调？某一方？面而应该《各种因？素综合考虑选—择最佳的方案 ！。 ： 3. 1. 3 ！ 条文中强调简捷】和有效非常重要因】为，。每个处理单元对【于，水质处理来》说除了正面作用外】。会，有或多或《少的负面作用—例如离子《交换树脂具有—良好的除盐作用【的同：时会有溶解有机物和！碎颗粒？产生 ？ 3. 】1.： 5  本条—强调全部可利用水源！。包括自？来水以外的再生【水、甚？至废水处理站处理】后的水体现面—对水资源匮》乏设计中不能只盯着！自来：。。水而忽略其他水源 ！ ：     掌】握可靠的水源—水，质资料是做好纯水】处理系统设计的先】决条件附录B列出】了水质分析项目当系！统中采用反渗—透时应检《测水中？的锶、钡等项目当】采用再生水时—应根据水质特点【。增加一些针对性【的理化检测项—目 — 3. 《1. 6  —海水：倒灌是沿海地区(】例，如上海地区)—。在咸潮期的普遍现】象由于水质的变【化，对纯水处《理特：别，是前级的预》处理和初《级处理冲击很大【因此应切《实掌握因《海水：倒，灌引起的水》质变化采取有效的对！策见表？2 【 ：  》。3. 1. 7  ！电子工业纯水—制，备系统的三》个阶段的划分是多】年经验？的科学总结》电子工业在电—子管的？阶段对水质要求【低基本？的手段为离子—交换基本没有预处理！和，抛光处理随着纯水水！质，的提高在脱盐系【统后出现了》精处理(《抛光：)阶段；随着反【渗透在？系统中的出现其运行！关键：是保证进入反—渗透的水《质形成了《预，处理系统《条文中？明确了各《个处理阶段》的基本要求》见图1 — ， ： —3. 1. —8  纯水》制备系统中保证每】个处理单元进—水的水质非常重要】是，长期稳定运行的关键！特，别是电子工业纯水】系统中？。常用的反渗》透和电除盐其运转】的成败大都在—于，是否能保证其进水】水质要？求无：数事例证明》反渗透的关键—是进水的污染指数】电脱盐的关键是进水！的硬度？当然表3. 2. ！1中所列《的，进水水质指标都是重！要的：电渗析在电子工【。业纯水？。系统中已很少使【用其进水《。。指标仅供参》考 ？