】。 4  纯水输【送和分配 】 4. 》1 ： 一般规定 】 ，。 4. 1—. 2、4. 1.！。 3  此》两条：是为了保证生产工】艺，所要：求水质的技》术措：。施 —     》随，着生产技术的进步】工艺设备对纯水水】质的：要求：不断：提高尤其《是电子行业中—。集成电路生产和液】晶显示器的》制造：不，但对水中电解质的】含量要求极其严格而！且对细？菌、微粒《、有机物以及溶解】氧等都有极其—严格：的要：。求为了保证生产设】备使：用点水质的要求除了！要有严格的纯—。。水制造过程》。外纯水输《送管道？的管材选择和管网设！计也：是关键 ！    实践证明采！用循环供水方式是行！之有效？的主要是基于保证输！水管道内的》流速和尽量减少【不循环段《的死水区以减—。少纯水在《管道内？。。的，停留时间减小管道材！料，微量溶出《物(即？使目前质《量最好？。的管道也会有微量溶！出物)对超纯—水水：质的影响同时—基于：流水不？腐，的道理高的流速还可！以防止细《菌微：生物：的滋生 】     在纯水管！。材的选择《。方面主要应考虑三方！面，的因素 《    】 材料？的化学稳定性纯【水是一种极好的【溶剂为了保证—在输送过程中—。纯水水质下降最小必！须选择化学稳—定性极好的管材也就！是在所要求的纯水中！的溶出物最小溶出物！的多少应由》材料的溶出试验确定！其中包括金属离子】有机物的溶出等 ！ ？ ，  ：  管？道内壁？的光洁？度若管道内壁有【微小的凹凸会—造成：。微，。。粒的沉积和》。微生物的繁》殖导：致微粒和细菌两项指！标的不合《格目前PVD—F，管道内壁粗糙度可】达小于1μ》。m，而不锈钢《管约为几《。十μm 》 ？     管道【及管件的接头处的】平，整，。度对于防止产生流水！的涡流区是非—常重要的   【。  》 4. 1—.， 5  此》条文是为了》确保纯水《输配系统长期稳定、！安全运行的主要措】施，纯水输配系统中采】用的管？道、管件、阀—门、粘接剂》等都有各自》标，定的压力等级相【应的连接《方式、匹配》的，粘，接剂以及各自的试】压条件 】 4. 1.—。 6  此条文是对！热纯水？加热：方式所提出的原则性！规定  ！   随《着，电子工业的发展尤其！是以超大规》模集成电路为代表】的半导体产业的发展！。生产工艺不仅对纯水！的水质？。提出了更高》的要：求同时某些生—产环节？还，对，纯水的温度也—提，出了要？求而且对纯水温度的！要求还？不完全相同这—就要求？设计人员《根据热纯水》的，用水量和用水—点的分布并结合技术！经，济比较选择集—中，加热：。或使用点就地加热】的方式 》