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4 纯水输送】和分配
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4. 1】 一般规定
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4.》 1.? 2、?4. 1. 3 】。 此两条是为了【保证:生产工艺所要求水】质的技?术措:施
【 : , 随着生产技术的进!步工:艺设:备对纯水水质的要求!不断提高尤其是电】子行业中集成电【路生:产和液晶显示器的】制造不?但对水中电解—质的含量要求—极其严格《而且对细菌》、,微粒、有机》物以:及溶解?氧,等都有极其严格的】。要,。求为了保证》生产设?备使用点水质—的要求除了要有严格!的纯水制造过程【外纯水输送》管道:的,管材:选择和管《网设计也是》。关键
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》 实践证明采—用,循环:供水方式是》行,之,有效的主要是—基于保证输水—管道内?的流速和《尽量减少不循—环段的死水区以【减少纯水在管—。道,内的停留时间减小管!道,材料微量溶出物(即!使目前质量最好的管!道也会有微量溶【出物)对超纯水水】质的:影响同时基于流水不!腐的道理高的流速还!可以防止细菌微【生物的滋生》
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在纯水管!材的选择方》面主要应考虑三方】面,的因素
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【。材料的化学》稳定性纯《。水是一种极好的溶】剂为了保证在输送】过程中纯水水质【下降最?小必须选《择,化学稳定性极好【的管材也就是—在,所,要求的纯水》中的溶出《。物最小?溶出物的多少—应由材料的溶出【试验确?定,其中包?括金属离子有机物】的溶出等
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《 管道《内壁的光洁度若管道!内壁有微小的凹【凸会造成微》粒的沉积和微生物的!繁殖导?。致微粒和《细菌两项指标的【不合格目前PVDF!。管道内壁粗糙度可】达,小于1μm而不锈】钢管约为《几十μm
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管道及!管件的接头处的平整!度对于防止产生流水!的,涡流区是非常—重要的 》
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《4. 1.》 5 此条文是】为了确?保纯水输配系统长】期,稳定、安全运—行的主要《措施纯水输配系统】中采用的管》道、:管件、阀门、粘接剂!等都有各自》标定的?压力:等级相应的连—接方式、匹配的粘】。。接剂以及各自—的,试压条?件
【4. 1.》 6 此》条文是对热纯水【加热方式《所提出的原则性规定!
—。 , 随着电子【工业的发展尤其是以!超大规模《集成电?。。路为代表的半导体产!业的:发展:。生产工艺不》仅,对纯水?的水质提出了更高】的要求同时某些生】产环节还对纯水的温!度也提出了》要求而且对纯水【温度:的,。要求还不完全—相同这就要求设计】人员根?。据热纯水的用水【量和用?水点的分布并结【。合技术经济比较【选择集中加热或【使用点就地加热【的方式
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