！4. 2 》 管道设计  ！ 4. —2. 1 》 此条文是对—纯水供、回》水管道敷设方—式所作的《原则性规《定 ：    】 目前电《子工业飞速发展【特别是超大规模集成！电路为？代表的半导体产【业，的发展生《产，。工艺对厂房均有【洁净的要求为—了最大限《。度地：减少管？道对洁净《室空气洁净度的影响！要求管道尽量在【洁净区外《敷，设因此纯水》管，道无论是在》。技术夹层、技术夹】道、技术竖井内还是！纯水站房内的管道】均要求采用架空敷设！。同时要做到安全可靠！、方便操作和—维护 【 4. 2. 2 ！ 穿管处的密封是】保证电子厂房洁净】室空气洁净度的【重要环节本》条文主要是防止洁净！室外：未净化？空，气渗入室内；洁净】室，内，的洁净空气向外渗漏！也会造成能》量的浪费甚》至影响？室内：。的洁净度实践—证明采用套管方【。式，是行之？有效的？当，实在无法做套管的】部位也必《须采取严格的密封】措施：主要的密《。封，方，法有微孔海绵、有机！硅橡胶、《橡，胶圈及？环氧树脂冷胶—等 4】. 2. 4  电！子工业纯《水，的输配管道多采用塑！料管道而塑料—管材的热胀系数较大！是钢管？。的十余？倍甚至二《十倍塑料管》因温度变化引起【。的伸：缩量特别大尤其是热！水管道因此必—须重视纯水输配管】道因温度变》化引起的伸》缩变形纯水》管路因为纯度的【考虑不宜使》用金属波《纹，管等型式的补—偿器来克服伸缩【。。。。变形所？以在管路设计过程中！应考虑尽量》利，用管路自身的柔【性来：满足补偿要求 ！ ， 4. 2—. 5？  在进行纯水管】路系统的设计过程】中，必须综？合考虑管路系—统的类型、流量【。控制原则、管路平衡！技，术和：压差控制方法—管路系统恒定—压差的实现可以通】过，同，程式以及《放大管径的异程式回！水循环系统等方式来！完成： 4.】 2. 6  在进！行纯：。水管：。路系统的设计—过，程中必须尽量避免】死水滞留管》路的设计要求—不循环支管的长【度应该尽量短—其长度不得大于3倍！管，径 — 4. 2. 7 ！ 此条文《。是对纯水《管路系统循环供水】的具体要求在进【行，纯水管路系统的设计！过程中需要准确【计算生产《设备满负荷运行【时，的用水量《并结合生产运行的实！际情况？以及：电子产业的高速发展！和更新换代的速度】同时借鉴欧洲、日】本等国家《的设计经验》和我国的国情来【确定纯水循环附加】水量从？。而计算纯水系—统，的总供？水量条文《要求供水《管路和回水管路的最！小流速的目的同【样是为了减少—纯水在管《道内：的停留时间减少管道！材料微量溶出物对纯！水水质的影》响同时？避，免生物膜在管路【系统的？生长：保证纯水管路系统】能长期？稳定运行《 —4. 2. 8  ！慢，开阀在经《常启闭的过程中【摩擦小微粒物产生】少，是减少管道内—微，粒，产生的主要》管件 【 4. 《2.： 9  电》子工业纯水的特【点是水的《导电：性差、黏《。度低、流《。速高、其雷诺—数高(？通常大？于2×1《04)因《此流量计的选—择必须考虑到这【个，特殊性 《     ！。流量计的选》择应该根据仪表性能！、流：体特：。性、安装条件、【环，境条件和经》。济因：素，等条件？综，合，考，虑从性能要》。求来说作为过程控制！。连续监测《的仪：。表一般要求要—有良：好的可靠性及重复】。性(精？密度)？从流体特《性来说由于所输送的！是纯水要求检测元件！尽量与水少接触【减少不纯物质—的析出和细微颗【粒的产生同时与纯】水直：接接触？的检测元件》要避免？滞水区域的》形成并？且能够耐《受管路系《统高温灭菌和化【学清洗的要》求超声波流量计与电！磁流：量计：同为非？接，触式仪表具有—检测：件中无阻《碍物压损《小等特点但是电【磁流量计《只能用？。于测量？。导电性？流体的流量对于电】导，。率低于？测量阈值《的流体流量时会【产生测量《误差：甚至不能测量超声】波，流量计是《通过检测流》体流动对《超，声束(或超声脉冲】)的作用来测—量流量的仪表自2】0世纪80年—代以来超声波流量计！新品种大量涌现已】经，成为新型流量计的主！要品：种之：一超声波流量—计可：以测：。非导电？性流体对纯水的水质！无影响？且，造价基？本与：管径大小《无关：因此它？在纯水输《配，系统：的应用比电磁流【。量计等其《他流量计要广泛得多！ ， 4.【 2. 10  定！期清洗？是保证管道内水质】的重要手段主要是】防止长期《运行后？内壁产生《沉，积，物及微生物积聚导】致纯水水质下降 】 ，