，   》 4《. 2  管道【设计  】 4. 2. 【1 ：。 此条文是对纯水供！、回水管道敷设【方式所作的原则性】规定 【     》目前电子《工业飞速发展特别是！超大规？模集成电《路为代表的半导【体产：业的：发展生产《工艺：对厂房均有》洁净的要求为了最大！限度：地减少管道对洁【净室：空气洁净度的影响】要求管道《尽量在洁净区外【敷，设因此纯水管—道，无论是在《技术夹层、技术夹】道、技？术竖井内还是纯水】站房：内的管道《均要求采《用架空敷《设同时要做到安全可！靠、方便操》作和维护 】 4. 2.【 2  《穿管处的密封是保】证，电子：厂房洁净室空气洁】净，度的重？要环节本条》文主要是《防止洁净室外—未净化空气渗入室】内；洁净室内的洁净！空气向外渗》漏也会造《。成能量的《浪费甚至《影响室内的》洁，净度实践证》明采：用套管方式》。是行之有效》的当实在无》法做套管的》部位：也必须？采取严格的密封【措施主要的密封方】法有微孔《海绵、有机硅橡【胶、橡胶圈及—环氧：树脂冷胶等 】 4. 2.】 ，4  电子工—业纯水的输配—管道多采用》塑料管道而塑料【。管材的热胀系数【较大是钢管的十余】倍甚至二十倍塑料管！因温度变《化引起？的伸缩量特别大【尤其是？热水管道因此必须重！。视纯水输《配管道因《温度：变化引起的》伸缩变形纯水管路】因为纯度的考虑【不宜使用金》属波纹管等型—式的补？偿器来克服伸缩变形！。所以在管路设计过】程中应考虑》尽，。量利：用管：路自身的柔》性来：满足补？偿要求 【 4. 2. 5！  在进行》纯水管路系统的【设，计过程中必须综【合考：虑管路系统的—。类型：、流量控《制原则、管路平衡技！术和压差控制方【法管路系统恒定【。压差的？实现可以《通过同程式以及【放大管径的异程式回！。水循环系统》等方式来完成 ！ ： 4. 2.— 6  在进行【纯，水，管路系统的设—计过程中必须尽量】避免：。死，水，滞留管路的设—计要：求不循环《支管的长度应该尽】量短其长《度不得？。大于3倍管》径 4.！ 2. 7》。  此条文》。是，对纯水管路系统循】环，供水的具体要求【在进行纯水管路系】统的设计过》程中需要准》确，计算生产设备满负】荷运行时的用水量】并结合生产运—行的实际情况以及】。电子产业的高速发展！和更新换代的—速度同时借鉴—欧洲、日本等国【家的设计经验和我】国的：国情：来确定纯水循环【附，加水量从《而计算纯水》系统的总《供水量条文要求供水！管路和？回水管路的最小流速！的目的同样》是为了减少纯—水在管？道内：的，停留时间减少管【。道材料？微量溶出物》。对纯水水《质的影响同》时避免生物》。膜在管路系统的【生长保证《纯水管路系统能长】期稳定运行 ！ 4.《 2.？ 8  《慢开阀在经常启闭】的，过程中摩擦小微【粒物产生少是减少】管道：内微粒？。产生的？主要管件 》 ？ 4. 2. 9！ ， 电子工业纯—水的特点是》水的：导电性差、》黏度低、《流速高、其雷诺【数高(？通常大于2×104！)因此？。流量计的选择—必须考虑《到这个特殊性— —    流量—计的选？。择应该根据仪表【性能、流《体特性、《。安装条件《、环境条件和—经济因素《等条件综合》考虑从？性能要求来说作为过！程控制？连续监测的仪表一般！要求要有良好的可靠！。性及重复性(精【密度)从流》体特性？来说由于所输送的是！纯水要求检》测元件尽量》与水少接触减少不】纯物质的《析出：和，细微颗？粒，的产生同时与纯水】直接接触的》检测元？件，要避免滞水》区域的形成并—且能够耐受管路【系统高？温灭菌和化学清【洗的要求超声波流】量计与电《磁，流，量计同为非接触式】仪表具有检测件中】无阻碍物压损小等特！。点但是电磁流量计】只能用于测量导电性！流体的流量对于电导！率低于？。测量阈值的流体流】量时会产生测量误差！甚至不？能测量超声波流【量，计是通过检测流【体，流动对？超声：束(：或超声脉冲)—的作用？来测量流量的仪表】自20世纪80年】代以：来，超声波？流量计新品种大【量涌：现已经成为新—型流：量计的主要品种之一！。超声：波流量计可以测【非导电性流体—对纯水的水质无【影响且造价基本与管！径大小？无关因此《它在：纯水输配《系统的应用比电【磁流量计等其他【流量计要广泛—得多 《 4. 2】. 10  定期】清洗是保证》管道内水质的重要手！段，主要是防《止长期运行后—内壁：产生沉积《物及微生物积聚导】。致纯水水质下降 ！