？ ？ ： 4. 2  管】道设计  ！ 4. 2》. ：1  此条文是【对纯水供、回水【管道敷设方式所【作的原则性规定【 《     目前】电子工业飞速—发展：特别是超大》规模集成电》路为：代，表的半导体产业的发！展生产工艺对厂【房，均有洁净的要求为了！最大限度地减少【管道对洁《净室空气洁净度【。的影响？。要求管道尽量在洁净！区外敷设因此纯【水管道无论是在技术！夹层、？技术夹道、技—术竖：井内还是纯水站房内！的，管道均要《。。求采用架《空敷设同时要做到安！全可靠？。、方便操作》和维护 — 4. 2【. 2  穿管处】的密封是保证电【。子厂房？洁净：室空气洁《。净度的重要》环节：本条文？主要是防《止洁净室《外未：净化空气《渗入室内；洁净室内！的洁净空气向—外渗漏也会造成能】。量的浪费甚至影响】室，内，的洁净？度实践？证明采？用，套，。管方式是行》之有效的当实在【无法做套管的部位】也必须采取严格的】密封：措施主要的密封【方法有微孔海绵、有！机硅：橡胶、橡胶》圈及环氧树脂冷胶等！ —4. 2《. 4 《 电：子，。工业纯水的》输配管道多采—。用塑料管道而塑【料管材的热胀—系数较大《是钢管？的十余倍《。甚至二十倍塑料【管因温度变》化引起的伸缩—量特别大《尤其是？热水管道因此必【须，。重视纯水《输配管道《因温度变化引起【的伸缩？变形纯水管》路因：为纯度的考虑—不宜使？用，金属波？纹管等型式的补【偿器：来克服伸缩》变形所？以在管路设计过程】中应考虑尽量利用管！路自身？的柔性来满足补偿】要求 — ， 4.？ 2. 《。5  在《进行纯？水管路系统的设计】过程中必须》综合：考虑：管路系统的类型、】流量：控制：原则、管《路平衡技《。术和压差控制方法】管路系？统恒定压差的—实现可以通过同程式！以及放大《管径的？异程式回《水循环系《统，等方式来完成— ： 4》. 2？. 6  在进【行纯水管路系—。统的设计《。。过程中必须尽—量避免死水滞留管路！的设计？要求不？。循环支管的长—度应该尽量短—其长度不《。得大于？3，倍管径 《 4. 】2，. ：。7  此条文—是对纯水管路系【统循环供水的具体】要求：在进行纯水管路系】统的设计过程中需要！准确计算生产设备满！负荷运行时的用水量！并结合生产运行的】。实际情？况，以及电子产》业的高速发》展和更新换代的【速度同时借鉴欧【洲、：日本等国《家的设计经验和【我，国的国情《。来确定纯水》循环附？加水量从而计算纯】水系统的总供水量】条文要求《供，。水，管路和回《水管路的《最，小流速的目的同【。样是：为了减少纯水—在管道内的停留时】间，减少管道材料微【量溶出物对纯水水质！的影响同《时避免生《物膜在管路系统的生！长保证？纯水管路《系统能长期稳定运行！ 《 4. 》2. 8《  ：慢开阀？在经常？启，闭的过程中》摩擦小微粒》物产：生少是减少》管道内？微粒产生的主要管件！ 》 4. 2. 9】  电子工业纯水的！特点是水的导—电性差、黏度—低、流速高、其雷】。诺数高(通常大于】2×104》)因此流《量，计的选？择必：须考虑到这个特殊性！ ，     ！流量计的选》择应该根据》仪表性能、流体特性！、安装？条件、环境条件和】经济因素等条件综合！考虑从性能》要求来说作》为过程控制连续监】。。。测，的仪表一般》。。要求要有《良，好的：可，靠性及重复》性(精密度)从【流体特？性来说由《于所输送《的，是纯水要求检测元件！尽，量与水？少接触减少不纯物】。质的析？出和细微颗粒的产生！同时与纯水》直接接触的检测元件！要避免滞水区—域的形成并且—。能，够耐受管路》系统：高温灭？菌和化学清洗的要】求超声波流》量计与电磁流量计】同为非接触式仪表具！有检测件中无—。阻碍物？。压损小等特点但是电！磁，流量计只能用于【。测量导电《性流体的流量对【于电：导率低于《测量阈值的流体流】量时会产生测量【误差甚至不能测量超！声波流量《计是：。。通过检测流体—流，动对超声束》(或超声脉》冲)的作《用来测？量流量的《。仪表自20世纪【80年代以来超声】波，流量计新品种大量涌！现已经成为新型流】量计的主要品—种之一超《声波流量《计可以测非导电性流！体对纯水的水质【无影：响且造价基本与管径！大小无关因此它在纯！水输配系统的—应用比电磁流量计】等，其，他流量计《要广：泛，得多 ？ 》4. 2. 10】。  定期清洗是保】证管道内水》质的：重要手段主要是防】止，长期运行《后内壁产生沉积物及！微生物积聚导致【纯水水质下》。。降 ： ，