《 》4. 2  —管道：设计：  4】. 2. 1  】此条文是对纯水【供、回水管道敷【设方式？。所作的原则性规定】 》   ？  目前电子工业】飞，速发展特别是—超大规模集成电路为！代表的半导》。体产：业的发？展生产工艺对厂【。房均有洁净的要求为！了最大限度》地减少管《。道对洁净室》空，气洁净度的影响要】求管道尽量在—洁净区外《。敷设因此纯》水管道？。无论是在技术夹【层、技术夹道、【技术竖井内还是纯】水，站房：内的管道均要求采用！架空敷设同时要做到！。安全可靠、》方便操？作和维护《 》。 4. 2. 2 ！。 穿管处的密—封是保证《电子厂房洁净室空】。气洁净度的重要【环节本条文》主要：是防止洁净室外【未净化？空气渗入室内；洁】净，室内的洁净》空气向外《渗漏也会《造成能量《的浪费甚至》影响室内的洁净度】实践证明采》。用套管方式是行之有！效，的当实在无法—做套管的部位也必须！采取严格的密封措施！主要的？密封方法有微孔海】绵、有机硅橡胶、橡！胶圈及环《氧，。树脂冷胶《等 》 ：4. 2. 4 】 电子工业纯水的输！配管道多采用塑料管！道，而塑料管《材的热胀系》数较大是钢》管的十余倍》甚至二十倍塑料管因！温度变化引》起的：伸，缩量特？别大尤其《是热水管道因—。此必须重视纯水输】配管道因温》。。度变化引起的伸缩变！形纯水管路因为纯】。度的考虑不》宜使用金属波纹管】等型式的补偿—器来克服伸缩变形所！以在管路设计—过程中应考虑尽【量利用管路自—身的：柔性来？满足补偿要求— ？ 4. —2. 5 》 在进行《纯水管路《系统的设《计过程中必须综合考！虑管路系统》的类型、《流量：控，制原则、管路平【衡技术和压差控制】方法管路系统恒定压！差的实现《可以通？过同程？式以：及放大管径》的异程式《回水循环《系统：等方式来完成 ！ 4. 2.】 6 ？ 在：进行纯水管路系【统的设计过程—中必须尽量避免死】水滞留管路的设【计要：求不：循环支管的长度应】该尽量短《。其长度不得大于【3，倍管径 — ？4，。. 2.《 7  此》条文是对纯》水管路系统循环供水！的具体要求在进行】纯水管路系统的设计！过程中需要准确【计算生产《设备满？负荷运？行时的？用水量并结合生【产运行的实际情况】以及：。电子产业的高—速发展和更新—。换，代的速度同时—借鉴：欧洲、日本等—国家的设计经—。验和我国的国情来确！定纯水循环附加水】量从而计《算纯水系统的总供水！量条文要求供—水，管路和回水管路【的最小流速的目的同！样是为？了减少纯《水在管道内的停留时！间减少管道材—料微量溶《出物对纯水水质的影！响同时避免》生物：。膜在：管路系统的》生长保？证纯水管路系统能】长期稳定《运行 4！. ：2. 8  慢开阀！在，经常启闭的》过程中摩擦》小微：粒物产生《少是减少管道内【微粒产生的主要管】件 4.！ 2. 9》  电子工业纯水的！特点是水的导电性差！、黏度低、》流速高、其雷诺【数高(通常大于【2，×104)》因此流量《计的选？择必须考《虑到：这个特殊《性 ：  —   流《量计的选择应该根】据仪表性能、—。流，体特：性，、安装条《件、环境条件和经济！因素：等条件综合考虑从性！能要求来说》作为过程控制—连续：监测的仪表一—般要求要有良好的可！靠性及重复性—(，精密度)从流体【特性来说由于所输送！的是纯水要求检测元！件尽量与水少—接触减少不纯物【质的：析出和细《微颗粒的《产生同时与纯水直】接接触？。的检测元《件要避免滞水区域的！形成并且能》够耐受管路系统高温！灭菌和化学清洗的】。要求超？声波流量计与电磁】流量计同为非接【触式仪表具有—检测件中无阻—碍物压？损小等特点》。但是电？磁流量计只能用于】测量：导电性流《体的：流量对于电导率低】于测量阈《值的流体流量时会】。产生测量误差甚【至不能？测量超声波流—量计是通过检测流】体，流动对？超声束(或超—声脉冲)的作用【来测量流《量的仪表自20世】纪80年《代以来超《声波：流量计新《品种大量涌现—已经成为新型流【量计：的主要？品，种之一超声波流量计！可以测非《。导电性流体》对纯水的《水质无影响且—造价基？本与管径《大，小无关因此它在纯水！输配系统的》应用比电磁》流量计等其》他流量计要广—泛得多 】 4. 2. 【10  定》期清：洗，是，保证管道《。内水质的重要手段主！要是：防止长期运》。行后内壁产》生，沉积物及《微生物积聚》导致纯水水质下【。降 ？