！4. 2  管道】设，计，  — 4. 2. 1】 ， 此条文是对—纯，水供、回水》管道敷设《方式所作的》原，则性规定 】     目前】电，子工业飞速发—展特别是超》大规模集成电路为代！表的半导体产业的发！展生产工艺对厂房】均有洁净《的要求？为了：。最，大限度地《减少管道对洁净【室空气洁净》度，的影响要求管道尽量！在洁净区《外敷设因此纯水管】道无论是在技—术夹层、技术夹【道、技？术竖井内还是纯水】站房内？的，管道均要求采用架】。空敷设同时》。要做到安全可靠【、方便操作和维护】 ， 4.【 2. 2  穿】管处的密封是保证电！子厂房洁净室空【气洁净度《的重：要环节本《条文主？要是防止洁》净室外未净》化空气渗《入室内；洁净室内】。的洁净空《气向外？渗漏也会《。。造成能量的》。浪费甚至影响室【内的洁净度》实，践证明采用》套管：方式是？行之有？效，的当实在无法做套】管的部？位也必？须采取严格》的密封措《施主要的密封方法有！微孔海绵《、有机硅橡胶—、橡胶圈及环氧【树脂冷胶等 】 4. —2. 4  电【子工业纯水的输配管！道多采用塑》料，管道：而塑料管材的热胀】。系数较？大是钢管的十—余倍甚至《二十倍塑料管—因温度变《。化引：起的伸缩量特别【大尤其？是热：水管道因此必须【重视纯水《输配管道因》温，度变化引起的伸缩】变形纯？水管路因为》纯，度，的考虑不宜使用金】属波纹？管，。等型式的补偿器【来克服伸缩变—形所：以在管？路设计过程中应考】。虑尽：量利用管《路自身的柔性来满足！补偿要求 — ，。 4. 2【. 5  在—进，行纯水管路系统的设！计过程？中必须？综合考虑管路—系统的类型》、，流量控制原则、管】路平衡？技术：和压差控《制方法管路系统恒定！压差的实现可—以通过同程式以及放！大管径的异程式回水！。循环系统等方式来完！成 — ，4. 2.》 6  在进行【纯水管路系统的设计！过，程中必须尽量—避免死？水滞留管路的—设，计要求不循环支管】的长度应该尽量短】其长度不得大于【3倍管？径，。 4【. 2？. ：7  此条文是对】纯水管路系》统循环供水的具【体要求在进》行纯水管路系统的设！计过程中需要准确】计算生？。产设备满负荷运行时！的用水量并结合生产！运行的实《际情：况以及电《子产业的高速发展】和更新换代的速【度同时借《鉴欧洲、日本等国】家的：设计经验和我国的】国情：来确定纯水循环附】加水量从而计—算纯水系统的总供水！量条文要求供水管路！和回水管《路的最？。小流速的目》的同样是为了减少】纯水在？管道内的停留时间】减少管道材料微量溶！出物对纯水水—质的影响同时避【免生：物膜在管《路系统的生长保证纯！水管路系统能—长期稳定运行— 4. ！2. 8 》。 慢开阀在经常【启闭的过《程中：摩擦小微粒物产生少！是减少？管道内微粒产生的主！。要管件 】 4.？ 2. 9  电】子工业纯水的特点】。是水的？导，电性差、黏》度低、流速高、其】雷，诺数高(通》常大于2×104】)因此流量计的选】择，必须考虑到这—。个特殊性 》 》    流量计【的选择应该根—据仪：表性能、流》体，特性、安装》条件、环境条件和经！济因素等条件—综合考虑从性能【要求来说作为过程控！制连续监测》的仪表一般要求【要有良好《的可靠性及重复性(！精，密度)从《流体特性来说由于所！输送的是纯水要求检！。。测元件尽量与—水少接？。触减少不纯物质的析！出，和细微颗粒》。的，产生同时与纯水【直接接触的检测元件！要，避免滞水《区域的形成并且【能够耐？受管路系统高—温灭：菌和化学清洗的要】求超声？波，流量：计与电磁流量计同为！非接触式《仪表具有检测—件，。中，无阻碍物压损—小等特点但》是电磁流量计—只能用？于，测量导电性流—体的流量对于电导率！低于测量阈》值的流体流量时会产！生测量？误差甚至不能—测量超？声波流量《计是通过检测—流体流动对》超声束(或超声【脉冲)的作用来测量！流量的仪表自20】世纪80年代以来】。。超，声波流？量计新品种大量涌】现已经成为新—型流量计的主—要品种之一超声波】流量计可以测非【。导电：性流体对纯水—的水质无影响且造】价基本与管径大小无！。关因此它在纯水输配！系统的应《用比电磁《流量计？等其他流量计要【广泛得多《 《 ， 4. 《2.： 10  定—期清洗是保》证管道内水质的重】要手段主要》是防止长期运行【后，内壁产生《沉积物及微生物积】聚导致？纯水水质下降 】