】 ，4，. 2 《 管道设《计  4！. 2. 1  】此条文？是，对纯水供、回水管道！敷设方式所作的【。原，则性规定 】     目【。前电子工《业飞速？发展特别是》超大规模集》。成电路为《代表的？半导体产业的发展】生产工艺对厂房均】有洁净的要》求为了最大限度地减！少管道对洁净室空气！洁净度的影响—要求：管道尽量《在洁：净，区外敷设因此纯【水管道无论是—在技术夹层、技【术夹道、《技术竖？井内还是纯水站房内！的管：道均要求采用架空敷！设同时要做》到安全可靠、—方便操？作和维？护 4.！ 2. 2  穿管！处的密封是保证电子！厂房洁净室空—气，洁净度的重》要环节本《条文主要是防止【洁净：室外未净化》空气渗？入室内；洁净室内】的洁：净空气向外渗—漏也会造成能量的浪！。费甚至影响室内的洁！净度实践证明采【用套管方式是行之有！效的当实《在无法做《套管的部位也必须采！取严格的《密封：措施主要的密封方法！有微孔海绵、—。有机硅？橡胶：、橡胶圈及》环氧树脂冷》胶等 】4. 2. 4  ！电子工业纯》水的输配管道多采】用塑料管道而—。塑料管？材的热胀《系数较大是钢管【。的十余倍甚》至二十倍塑料管因】温度：变化：引起的伸缩量特别大！尤，其是热水管道因【此必须重视纯水输配！管道：。因温度变化引起【的伸缩变形纯水【管路因为纯度的考】虑不宜使用金属波】。纹管等型式》的补偿器来克服【伸缩变形所以—在管路设计》过程中应《。考虑尽量《利用管路自身的【。柔性来满足》补偿要求 】 4. 2.【 5  在进行【纯水管？。路系统的设计—过程：中，必须综合《考虑管路系统的类型！、，流，量控制原则、管路平！衡技术和压差控制方！法管路系《统恒定？压差的？。实现可以通》过同程式以及放【大，。管径的异程式—回水循环系统等方】。式来完？成 — 4. 2. 6 ！ 在：进行纯水管路系统的！设，。计过：程中必须尽量避【免，死水滞？留管路的设计要求不！循环支管的长—度，应该尽量《短其长度《不得大于3》倍管径 《 4. 2！. 7  此条文是！对纯水？管路系统循环供【水的具体要求—。在，进行纯水管路—系统的？设计：过程：中需要准《确计算生产设备【满，负荷运行时的用水】量并：结合生产运行的【实际情况以及电子产！业的高？速发展和更新换代的！速度同时《借鉴欧洲、日本【。等国家的设计经验和！我，国的国情来确定纯】。水循环？附加水量从而计【算纯水系统的总供】水，量条：文要求供水》管路和回水管—路的最小流速—的目的同样是为了减！少纯水在管道内【的停留时间》减少管道材料微量溶！出物对纯水水质的影！响，同时避？免生物膜在管路【系统的生长保证纯】水管路系统能长期稳！定运行？ ？ ： ，4. ？2. 8《  慢开《阀，在经常启闭的—过程中摩擦小微粒物！产，生少是减少管道内】微粒产生《的主要管件 — 4. 】2. 9  电子工！业纯水的特点是【水的导电性差、黏】度低、流《速，高、其雷诺数高(通！常大于2×104】)，因此流量《计的选择必须考虑到！这个特殊性》 ，     ！流量计？的选择应该根据【仪，。表，性能、流体特性、安！装条件、环境条【件和经济《因素等条件综合【考虑：从性能？要求来说《作为过程控制—连，续监测的仪表一般要！求要有良好的—可靠性及重》。复性：(精密度)从流体】特，性来说由于所输送的！是纯水要《求检测元《件尽：量与水少接触减【少不纯物质的析出和！细微颗粒的》产生：同时与纯水直接接】触，的检测元件要避免】滞水：区域的形《成并且能够耐受【管路系统高温灭菌】和化学清洗的要求】超，声波流量计与—电磁流量计》同为非接触式仪表】具有检？测，件中无阻《碍物压损小》。等特点但《是电磁流量计只能】用于测量导电性流】体的流量《对于电导率低于测】量阈值的流体流量】时会：产生测？量误差甚至不能测】量超声波《流量计？是通过检测流体【流动对超声束(【或超声脉《冲)的作用来测量流！量的：仪表：自20世纪80年代！以，来超声波流》量，计新：品种大？量，涌现已经成为新型】流量计的《主要品？种之一超声波流【。量计可以测非导【电性流体对纯水的】水质无影响且造价基！本与管径大小无关因！此它：在纯水？输，配系统的应用比【电磁流量计等其【。他流：量计要广泛》得多 4！. 2. 1—0  ？定期清洗《。是保证管《道内：水质的重要》手段主要是》防，止长：期运行？。后内壁产生沉积物】及微：生物积聚导》致纯水水质下—降 ？