：  3.！ ，6  ？水箱、水泵》  》。 3. 6.【 1  纯水制【备系统的水箱—材质选择应满足所】贮，存水的水质要求水箱！容积宜按下列要求确！定，  【   1 》 原水？箱、中继《水箱：容，积宜满足《连续运行《的最大一台水泵2h！～3h出力要求同时！应满足单台》设，备反洗或清洗一【次的用水量要求 】 ：     2】  除盐水》箱、软？化水箱总容积应满足！使，用点：的，用水量要求水—箱总：容积宜大于1h的】耗水量？要求同时应满—足工：艺系统需要的最大】一次自用水量—的要求 【    》 3 ？ 除二？氧化碳装置》的水箱有效》容，积单元串联系统宜】为本：单元：设备出力的5mi】n贮水量且》不，宜小于2《m3；并联系统宜为！并联设？备总出？力的15min～】30mi《n贮水量水量大时】可设多？台水箱及除碳器 】。 3.【 6. 2  纯水！制造系统过》程中水的电阻率较高！、，防止二氧化》碳溶入水中或有溶解！氧要求时水》箱，宜设置氮封》保护：设，置氮封保护的水箱溢！流口应采取隔绝空】气的措？施 ： 3.【 6. 3 — 氮封装置的—供，气量应大于或等【于对应？水泵组的最大输【水量氮封压力值可取！0，. ：0005《。MPa～0. 0】01MPa(表压】) 3.！ 6.？ 4  纯水供水泵！宜采用变频》水泵纯水使》用点压力《要求较高或输配管路！较长时宜加设—。中继：泵 ？