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4 纯水输】送和分配《
4【. 1 一般规】定
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《4. 1.》 2、4《. :1. 3 —此,两,条,是为了保证生产工艺!所要求水质的—技术措施
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【 随着生产技【术的进步工艺—设备对纯《水水质的要》求不断提高尤其【是电子?行业中?集成电?路生:产和液晶《显示器的制造不但】。对水中电解》质的含量《要,求极其严格而且对】细菌、微《粒、:有机物以及溶解氧】等都有极其严格的要!求,为了保证生》产设备使用点水【质的:要求除了要》有严:格的纯水制造过【程外纯水《输送管?道的管材选择和【管网设计《也是关键
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? 实践—证明采用循环供水方!式是行之《有效的主要是基于保!证输水管道内的流速!。。和尽量?减少不循环》。。段的死水区以—减少纯?水在管道内的停【留,。时间:减小管道材料—微量溶出物(—即使目前质量最好】的管道也会》有微量溶出》物,)对超纯水水质的】影,响同时基于流水不腐!的道理高《的流速还可以—防止细菌微生物的滋!生
! 在纯水》管材的选择方面主要!应,考虑三方面的因【素
】 材料》的化学稳定性—纯水是一种极好的溶!剂为了保《证在:输送过程中纯水【水质下降最》小必须选择化—学稳定性极》好的管材也就是【在所要求的》纯,水中的溶出》物最小溶出》物的多?少,。应由材料的溶出试】验确定其中包括金属!离子有机物的溶【。出等
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》管道内壁的光洁【度若管道内壁有微小!的凹凸会造》成微粒的《沉积和微《生物的繁殖》导致微粒和》。细菌两项指》标的不合格目—前PVDF管道内】壁粗糙度可达—小于1μ《m而:不,锈钢管约《。。为几十μm
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—。管道及管件的—接头处的平整度【对于防止产生流水的!。涡流区是非常—重要的
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,。4. 1. 5【 此条文是为了】确,保纯:水输配系统》长期稳定、安—全运:行,的,。主要措施纯水—输配系统中采用的管!道、管件、》阀门、粘接剂—等都有各自标定的压!力等级相应的连接方!式、匹配的粘接剂】以及各自的试压条】件
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4. 1.】 6 此条—文,。是对热纯《水,加,热方式所提出—的原则性《规定
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随着【。。电子工?业的发展尤》其,是以超大规模集成】电路:为代表的半导体产业!的发展生产工—艺不仅对纯水的【水质提出了更高【的要求同时某些生】产环节还对纯水的】温度也提出了—要求而?且对纯水温度—的要:求还不?。完全相同这就—要求设计人员根据热!纯水的用水量—和用水点的》分布并?结合技?术经济比较》选择集中加热或【使用点就地加—热,的方式
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