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4 纯水!输送和分配
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?4. 1《 , ,一般规定《
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4. 《1. ?。2、4. 1. 】3 ?此两条是为》了保:证,生产工艺所》要求水质的技—术措:施
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《 随《着生:产技术的进步工艺】设备对纯水水—质的要求不》断提高尤其》。是电子行业中—集成电路生》产和液晶显示器【的制造不但对水中】电解质的含量要【求极其严格而且对】细菌:。、,微粒、有《机物以及溶解氧等都!有极其?严格的要求为了保证!生,产设备使用点—水质:的要求除了要有严】格的纯水制造过程外!。纯水输送管》道的管材选择和【管,网设计也是关键
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》。。 实践证—明采用循《环供水方式是—行之有效的》主要是基于保证【输水管道内》的流速和尽量—减少不?循环段的死水区以】减少纯水在管道内的!停留时间减小—管,。道材料微量》溶出物?(,。。即使目前质量最【好的管道也会有微】量溶出物《)对超?纯水水质的影响同】。。时基于流水不—腐的道理高》。的流:速还可以《防止细菌微》生,物的滋生
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在【纯水:管材的选择方面【主要应考《虑三方面的》因素
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? 材料的化【学稳定性纯水—是一种?极好的溶剂为—了保证在输送—过程中纯水水—质下降最小必须选择!化学稳定性》极好:的管材也就是—在,所要求的纯水中的溶!出物最小溶出物的】多,少应由材料的—溶出试?验确定其中包—括金属离子》有机物的溶》出,等
! 管道内壁—的,光洁度?若管道内《壁有微小《的凹:凸会:造成:微粒的沉积》和微生物的繁—殖导致微《粒和细?菌两项指《。标的不合格目前【PVDF管道内壁粗!糙,度可达小《于1μ?m而不锈钢管约【。为几十μm
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— 管?道及管件的接—头处的?平整度对于防止【产,生流水的涡流区是】非,常重要的
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》4. ?1,. 5 》此条文是为了确保纯!水输:配,系统长期《稳定、安全运—行的:主要措施纯水—输配系统中采用的管!道、管件、阀—门、粘接剂》等都有各《。自标定的压力等级】相应的?连接方式《。、匹:配的粘?接剂以及各自的试压!条件
】4. 1《. 6 此条文是!对热纯水加热方【。式所提出的》原,则性规?定
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【 随着电《子工业的发展尤其】。是以超大规模集成电!路为:。代表的半导体产业的!发展:生产工艺不仅对纯水!的,水质提出了更高的】要,求同时某些生产【环节还对纯水的【温,度也提出了要求而且!对纯水温度的要【求还:不完全相《同这就要求设计【人员根据热纯水的】用水量和用水点的】分布:并结合技《术经济?。比较选择集中加热或!使用点就《地,加热的方式
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