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。   — 4  —纯水输送和分配 ! 4. 1】  :一般规定 ! ,4,. 1. 2、【4. 1.》 3  此两条是】为了保证生》。产工艺所要求—水质的技术措—施 —    《 随着生产技—术的进步工艺—设备对?纯水水?质的要求不断提高】尤其是电子行—业,中集成电路生—产和液晶显》示器的制造不但【对水:中电解?质的含量要》求极其严格而—且对细菌、微粒、】。有机物以及溶解氧】等都有极其严格的要!求为了保证》生产:设备使用点水质【的要求除《了要有?严格的纯水制—造过程外纯水输送管!道的管?材,选择和管网设计【也是关键 】。     —实践证明《采,用循环供水》方式:是行之?有效的主要》是基于保证输水【管道内的流速和尽】量减少不循环段的死!水区以减少纯水在】管,道内的停留时间【减小:管道材料微量溶出物!(即使目前质量最】好的:管道也会有微量溶】。出物)对《超纯:水水质的影响—同,时基于流《水不腐的道理—高,的流:速还可以防止—细菌微?生物的滋《生 》   《  在纯水管材【的选择方《。面主要应考虑三方】面,。的因素 《 《     》材,料,的化学稳定》性纯水是《一种极好的溶—剂为了保证在—输,送过程中纯水水【质,下,降最小?必须选择化学稳【定性极好《的管材也就是在所】。要求:的纯水中的溶出【物最小溶出物的多】。。少应由材料的溶出】试验确?定其中?包括金属《离子有?机物的?溶出等? ,。  — ,  管?道内壁的光》洁度若管道内壁有】。微小的凹《凸会造成微》粒的沉积和微生物的!。繁殖导致《微,粒和细菌两项指标的!不合:格目:前P:VDF管道内—壁粗糙?度可达小于》。1μm而不》锈钢管约《为,几十μm《 《     管【道及管件的接头【处的平整度对于防】止,。产生:流水的?。涡流区是非常—重要的  》   4!. 1. 5  此!条文:是为了确保》纯水输配系统长【期稳定、安》全运行的主要措【施纯水输配系统【中采用的管道、管】件、阀门、》粘接剂等都有各自标!定的压力等级相应】的,。连,接方式、匹配的【。粘接剂以及各自【。的试压条件》 ,。 4. 】1,., 6 ? 此条文是对—热纯水?加热方式所提出的】原则性规定 】 , ,  :   随着电子【工业的?发展:尤其是以《超大规模集成电【路为代表的半导体】产业的发展》生产工艺不仅对纯】水的水质提出—了更高?的要求同时某些生产!环节还对《纯水的温度也提出】了要求而且对—纯水温度的要求【还不完全相同这就要!求设计?人员:根据热纯水》的用水量和用水点的!分,布并结?合技术经济比较选】择,集,中加热或《使用点就《地加热的方式 】