》
《4, 纯水《输送和分配
—
4. 1! 一般规》定
《。
4. —1. 2、4—. :1. 3 此【两条是为了》保证:。生产工艺所要—求水质的《技,术措施
》
:
,
: 随着生—产技术的进步工艺设!备,对纯水水质的要求不!断提高尤其是电【子行业中集成—电路生?产和液晶显》示器的?制造不但《对水:。中电解?。质的含?量要:。求极其严格而且对细!菌、微粒、有机物】以,及溶解氧等都有【极其严格的》要求为了保证生产设!备使用?点水质的要求除了】要有严格的》纯水制?造过程外纯水输送】管道的管材选择和管!网,设计也是关键
!。
《 , 实践《证明采用《循环供水《。方式是行之有效【的主要是基于保【证输水管道内—的,流速和?尽量减少不循环【段的死水《区以减少纯》水在管道内的停留时!间减小管道材料微量!溶出:物,(,即使目前质量—最好的管《道也会有微量溶出物!)对超纯水》。。水质的影响同时基】。于流:水不腐?的道理高的》流速还可以》防止:细菌微生《物的:滋生
—
,
》在纯水管材的选择方!面主要应考虑三【。方,。面的因素
》
》 : :材料的化学稳定性】纯水是?一种极好的溶—剂为了?保证在输送》过程中纯水水质【。下降最?小必须选择化—学稳定性《极好的管材也—就是在所《要求的纯《水中的溶出物—。最小溶出物》的多少应《。由材料的溶》出,试验确?定其:中包括金属离子有机!物的溶出等
【
《 ? 管道?内,壁的光洁度》若管道?内壁有?微小的凹凸会造成微!粒的沉积和微生【物的繁殖导致微【粒和细菌两项指标的!不合格目前P—VDF管道内—。。壁粗糙度可达小【于,1,μm而不锈》钢,管约为几十》μ,m
》
,
管道及管!件的接头处的—平整度对于防—止产生流《。水,的涡流区是非常重】要的 》
《
4. 1.】 5 此条文是为!了确:保纯水输《配系统长期稳定、安!全运行的主要措施】纯水输?配,系统中采用的—管道、管件、—阀门、粘接剂—等都有各自标—定的压?力等级相应的连接方!式、匹配《。的粘接剂以及各【自的试压条件
!
,
4. 1.【 6 此条文【是对:热纯:水加热方式所提【出的:原,则性规定
】
—随着电子工业的发】展尤其是以超大规模!集成电路为代—表的半导体产业的发!展生产工《艺,不仅对纯水的水【。质提出了更高的要】求同时?某些:生产:环节:还对纯水的温度也提!出了要求而且对纯】水温度的《要求还不完全相同这!就要求设《计人员根据热—纯水的用水量和【用水:点的分布《并结:合,技术经济比较选【择集中加热或使用】点就地加热的—方式
《