安全验证
  — 4  纯水】输送:和分配 【 4. 1 【 一般规定 — 4. 1!. 2、4. 1.! 3  此两条是为!了保证生产工艺【所要求水质的技【术,措施 —    》 随着生产》技术:的进:步工艺设备对纯水】水质的要求不—断提高尤其是电子行!业中集成《电路生产和液晶【。显示器的《制造不但对水中电解!质,的含量要《求极其严格而—且,对细菌、微》。粒、有机物以及溶解!氧等都有极其严【格的要求为》了保证生产设—备使用点水质—的要求除了》要,有严格的《纯水制造过程—外纯水输送管道的】管材选择和管网设】计也是?关键 —    》 ,实,践,证明采?用循环供水方式是】行之有效的主要是基!于保证输水管—道内的?流速和尽《量减少不循环段的死!水区以减少纯水在管!道内的停留时间减】小管道材料微量【溶出物(即使目【前质量最好的—管道:也会有?微量溶出物)对【超纯水水《质的影响同时—基于流水不腐的道】理高的?流,速还可以防止细菌微!生物的滋生 !     在【。纯水管?。。材的选择方面—主要应?考虑三方《面的因素 】     材料】的化学稳定性纯水是!一种极?好的:溶剂为?了保证在输送—过程中纯《水水质下降最—小必:须选择化学》稳定性极好的管【材也就是在所要【求的纯水中的溶出】物最小?溶出物的多少应由】材料的?溶出试验确》定,其中包括金属离子有!机物的溶出等 !     【管道内壁的光洁【。度,若管道?内,壁有微小的凹凸会】造成:微粒:的沉积和《微生物?的繁殖导致》微粒和细《菌两项指标的不合】格目前PVDF管道!内壁粗糙度可—达小于1μm而不锈!。钢管约为《几十μm 【 , : ,   管道》及管:件,的接头处的平整度对!于防止产生流水【的涡流区是》非常重要的  【   》 4.》 1. 《5  此《。条,文是为了确保纯水输!配,系统长期稳定、安】全,运行的主要措施【纯水:输配系?统中采用的管道、】管件:、,阀门、?粘接剂等都有各自标!定的压力《等,级相应的《连接方式《、匹配的粘接—剂,以及各自的试压条】件 》 4. 》1. 6《  此条文是对热】纯水:加,热,方式所提出的—原则性规定》   】  随着电子工【业,的发展尤其是以超大!规模集成电路为【代表的半导体产【业的发展生产—工艺不仅对纯水【的,水质:提出了更高的要求同!时某些生产环节还对!纯水的温度也提出】了要求?而且:对,纯水温度的要求还】不完全相同这就要求!设计:人员根?据热:纯,水的用水量和用水】点的:分布并结合技—术经济比较》选择集中加热—或使用点就》地加:热的方式 —