》 ？ 4： ， 纯水输送和—分，配， ？ 4.》 1  《一般规定 】 4. 1.【 2、4. 1. ！3  ？此两条？是为了？。保证生产工艺—所要求水质》。。的技术措施》 —    随着—生产：技术的进《步，工艺设？备对纯？水水质的要求不断提！高，尤其：是电子行业中—集成电路生产—和液晶显《示器的制造不但【对水中？电解质的含量要【求极其严格》而且对细《菌、微粒、》有机物以及溶—解氧等都有极—其严格的要求—为，了保证生产设备【使用：点水质？的要求除《了要有严格的纯【水制造过《程外：纯水输送管》道的管材选择和【管网设计也是关键】。  【   实践证—明采用循环供水方式！是，行之有效的主要是基！于保证输水管道【内的流速和尽量减少！不循环段的死—水区以？减少纯水在》管，道内的？停留时间减小管道】材料微量溶出—。物(：即，。使目前质《量最好？的管道也会有微量】溶出物)对超纯水水！质的影响《同时基于流》水不：腐的道理高的流速】还可以防止细菌微】生物的滋生 — 《     在纯水管！材的选择方面主【要应考虑三方面的】因素 【    《。 材料的化学—稳定性纯水是一种】极好的？溶剂为了《保证在输送过程【中纯水水质下降【。最小必？须选择化学》稳定性极好》的管材也就是在所要！求的纯水《中的溶出物最小溶】出物的多少应—由，。材料的溶《出试：验确定其中》包，括金属离子有机物】的溶：出等 ？     ！管，道内壁的光洁度若】管道：内，壁有微？小的凹凸会造成微】粒的：沉积和微生》物的繁殖《导致微粒和细—菌两项指《标的不？合格目前PVDF】管道内壁粗糙—度可达小于1—μm而不锈钢—管约为几十μm 】 》    管道及管】件的接头处的平整度！对于：防止产？。。生流：水的涡流区是非常重！要的：     — ： ：4，. 1.《 5  此》条文是？为了确？保纯水输配系统长期！稳定、安《全运行的主要措施纯！。水输配系统中采【用的管？道、管件《、阀门、粘接剂等都！有各：自标：定的压力等级相应】的连：接方式、匹配的粘】接剂以及各》自的试压条件 ！ ？4.： 1.？ 6  《此条文是对热纯【水加热方式所提【出的原则性规定 】 ：     随】着电子工《业的发展尤》其是以超大规—模集成？电路：为代表的《半导体产业的发展生！产工艺不仅对纯水】的水质提《出了：更高的要求同时【某，些生产环节还对纯水！的温度也提》出，了要求而且对—纯水温度的要求还】不完全？相同这就要求设【计人员根据热纯【水的用水《量和用水点的—分布并结《。合技：术经济比较选择集】中加热或使用点就地！。。加热的方式 — ，