！2  术《   ？ 语  【 2.《 0. 1 — 电子工业纯—水  pure【 water f】。or elec【tronic—。 indust【ry ？。。。 ，    【 电子工业生产所】需的：纯，化，水的通？称根据？生产需要的水—质去除生产所不【希望保留的各—。种离子？以及其他杂质—的水 【 2. 0. 2 ！ 电子工业纯水系】统  p《ure w》ater sy【stem f—or elec【。tronic— in？dus？try 【 ，     》制取和配送用于电子！工，。业生产纯水》的系统通常包括【纯水制备、纯—水的输送和分配、纯！水的回收和处理的系！统 — 2：.， 0. 《。。3  软化水  s！。oft wate】r —。     除掉部】分，或全部钙、镁离子等！后的水 】 2. 《0.： 4  《淤塞指数《(SDI)  【si：lt densi】ty inde【x ？ ，     【保证反渗透正常【运行的进水》水质重要指标—它通过被《测水样对0》. 45μm滤膜的！淤塞程度间接表【。征，造成：反渗透膜《面堵塞？的水中微量》悬浮物、胶体的【。含量又称污》染指数FI》 —2. 0. 5【  电？阻率  《resistivi！ty ？  —  ： 度量？水溶：液阻：止电流通过的能【力等于在一定温【度下一对《截面积为1cm【2的电？极在1？cm距？离间的？电阻值其《单位为？Ω，。。·，cm或MΩ·c【m — 2. 0. 6 ！ 电导率 cond！uctivity】  【   度量水—溶液导电的能—力等于？电，阻率的倒数其—单位为μs/c【m或s？/cm 【 ：2. 0. 7  ！总，有，机碳(TOC)【  tot》al： or？ganic c【arbon —     ！水中：溶解性和《悬浮性有机物中【碳，的，总量反映《水中有机物含—量的：指标 ？ ： 2. —0. 8  微【滤(M？F)  《micro》filtr》a，tion《 ？。    —。 通常指在》外，压作用下《利，用筛网状过滤介质膜！的“筛？分”作用《进行分离的膜分离】技术 《 2. 0.！ 9 ？。 超滤(UF—) ：   ultraf！iltr《a，tion —。 《。    通》常指在外压》作用：下利用非对称性膜】去除水中亚微米【悬浮：。物，的膜分离技术超滤能！截留分？子量范围为》几百至？几百：万的溶质和微粒多】为大分子有》机物和胶体 — 2. 0！. 10 》 反：渗透(RO) 【   r《everse 【osmosis【  《 ：     在外加】压力：作用下利用一—种半透性薄膜—使水：分子和其他一些【。物，。。质选择性透》过从：而将绝？大部：分，悬浮物和《绝大部分溶解—固形物(盐》)截留去除》的膜分离技术 【 2.【 0.？ 11 《 电脱？盐(EDI)  】 ，。 electr【odeion—izati》on 【     一种【利用装填阳、阴混】合离子交换树—脂或离子交换无纺】布在直流电场作用下！连续去除《水中离子而》不需要专门再—生的除盐装置—的统称 》 ： ：2. 0. 1【。2  ？紫外线杀菌 —UV： ，ste？rilizat【io：n ： —    通》过波长2《54nm的紫外【线照：射杀灭水中的活菌】为，紫外线杀菌装—置 ： 《 2. 《0. ？13  紫外线【除有机碳《    UV-【TOC 《R，。e，moval  】     】通，过波长1《8，5nm的紫外线【照射分？解纯水中《的微量TO》C为紫外线除TO】C装置 — ？2. 0. 14】  膜脱《气装置(M》D，。G) ？me：m，brane d【egas《。if：ier    】    【 利用膜《分离：技术降低水中挥发性！溶解物质的装置在电！子工业纯水系统中】。主要是？脱除纯水中的—溶解氧？ ？ 2《。. 0？。. 15  供水环！路  ？  dist—ributio【n loop—。 —    为保证电】子工：业最终？使用点的纯水—。水质和水压而采用的！有附加循环水量的】不间断？供水方？式最终使用点用【水取自从终端过滤器！到纯水水箱之—间的闭？合供：。水环路供《水环路一般》由纯水精处理系统和！供、回水管路—。共，。同，组成 —。。 ， 2：. 0？. 16  背压】调节：阀组 bac—k press【u，re reg—ulation u！nit  — ：     设于】。纯水回水《管路：末端通过调节阀通径！大小的变化来—维持、调节》纯水供？回水管路压力的调节！阀组 《