。   ！2  术 》。   语  】 2. 0.】 1  《电子工业《纯水  pure ！water fo】r， e：lec？tronic 【ind？ustry》。    ！ 电子工业生产所需！的纯化水的通称【根据生产需要的水质！去，除生产所不希望【保留的各种》离子以及其他杂质的！水 《 2.》 0.？ 2  《电子工业《纯水系统  pur！e w？ater sy【st：em： fo？r el《ec：tronic i】ndustr—y —  ：   制取和—。配送用于电子工【业生产纯水的系统】通常：包括纯？水制：备、：纯水的输《送和分配、纯—水的回收和处—理的系统 ！ 2：. 0. 3  】软，。。化水  《so：。ft water ！ 《     除掉部分！或全部钙、镁离【子等后的水》 ， 》2. 0. 4  ！淤，塞指数(SDI【)，  ：。silt d—ensi《ty inde【x 【 ， ，  ：保，证，。反渗：透正常运行的进【水水质重要指标它】通过被测水样对0.！ 45？μ，m滤膜？的，淤塞程度《间接表？征造成反渗》透膜：面堵：。。塞的水？中，微量悬浮物、胶体】的含：量，又称污染指数—FI 》 ？2. 0. 5 】 电阻率  —resi《stiv《ity？    ！ 度：。量水溶液阻止电流通！过的能力等于在一】定温度下《一对截面积为—1cm2的电极在1！cm距离间的电【阻，值，其单位为Ω·cm】或MΩ·cm 】 2.— 0. 6 — 电导率 con】ducti》vit？y， —    度量水【溶液导电的能力等】。于电阻？率的倒数其单位为】。μs/？cm或s/cm【 ？ 2. 0. ！7  ？总有机碳(TOC】)  tota【l organic！ c：ar：bon？ —    《水中溶解性和悬【浮性有机《。物中碳的总量—反映水中有机物含量！的指标 — 2《. 0？。. 8  微滤(M！F)  m》icr？of：il：tration【 —。  ：  通常指在外【。压作用下利用筛网】状，过滤介质膜的“筛分！”作用进行分—离的膜分离技术【 2.】 0.？ ，9  超滤(UF】)  ？  ul《trafi》ltration】    ！ 通常指《在外：压作用下利用—非对：。称性膜去除水—中亚微米《悬浮物的膜分离【技术：超滤能截留分子【量范围为几百至几】百万的溶质》和，微粒多为大分—子有机物和胶体 ！ ？ 2：。. 0. 》10  反》渗透(RO)—    re—vers《e os《mosis  】 ， ？  ：  在外《加压力作用下—利用一种《。半透性薄《膜使：水分子和其他一些】物质选择《性透过从而将绝大部！分悬浮物和绝大【部，分，溶解固形物(—。盐)截留去除的膜】分，离技术 【 ：2. 0. 1【1  电脱盐(【E，DI)  》 ， el？ectrodeio！niz？at：ion 【     一种】利用：装填阳、《阴混合离子交换树脂！或离子？交换：无纺：布在直流电场—作用：下连续去除水中【。离子而不需要专门】再生的除盐装置【的统称 《 ？ 2.《 0. 12  紫！外线杀菌《 UV ster】iliza》tion  】 ：     通—过波长25》4nm的《紫外线照射杀—。灭水中的活菌为紫外！线杀菌装《。置， ，。 ， 2.— 0. 13—  紫？外，线除有机碳   】 UV-《TOC Remo】v，al  】     通过波长！1，85nm的紫外线】照射分解纯水中的微！量TOC为紫外【线，除TOC装置 【 《 2. 《0. 1《4  膜脱气装【置(MDG) m】embra》ne deg—asifier 】   》    — ，利用：膜，分离：技术降低水中—挥发性溶解物质的装！置在电子工业纯水】系统中主要是—脱除纯水中的溶解】氧 — ，2. 0. 1【5  供水环—路   《 distri【bution— lo？op —  ？   为保》证电子工业最—终使用？点的纯水水质和【水压而采用的有【附加循环水量—的不间断供水—方式最终使用—点用水？取自：。。从终端过《滤器到纯水》水，箱之：间的闭合供》。水环路供水环—路一：般由：。纯水精？处理系统和供、回水！管路共同组》成 — 2. 0. 【16  背压调节】。。阀组： b：ack press！ure r》。。egulati【on un》it  《 》。   ？ 设于纯水》回水管路《末端通过调节阀【通径大小的变—化来维持、调—节，纯水供回水》管，路，压力的调节阀—组 ？