：  2 ！ ，术    语—  2】. ：0，.， 1  电子工【业，纯水  pure ！water for！ el？。e，ctronic i！ndustry【 ，。 ？     —电子工业生》产所需的纯化水的】通，称根据生产需要【。的水质去除》生产所不希望保【留的各种离子以【及其：他杂质的水 ！。 ， ，。2. 0.》 2 ？ 电子工《业纯水系统  【pure wate！r s？yst？em for e】lectronic！ indust【ry 【     制—取和配送用于—电子：工业生产纯水的系】统通常包《括纯水制备、纯水】。的输：送和：分配、纯水的—。。回收和处理的系统 ！ 2. 】0. 3  软【化水 ？ sof《t wat》e，r  】   除掉部分或】全部：。钙、镁离子等—后的水 》 ？ 2.？。 0. 4  淤塞！指数：(SDI)  【silt den】sit？y index ！ ？     保证反】渗透正常运》行的进水水质重要】指标它通过被测【水，。样对0. 45μ】m滤膜的淤塞程度】间接表征《造成反渗《透膜面？堵塞的水《中微量悬浮物、胶体！的，含量又称污染指数F！I 2.！ 0：. 5  电阻率】  resisti！vity 】   《  度量水溶—液阻止电流通—过的能？力，等于在一《定温度下一对截面积！为1：cm2的电极在1c！m距离间的电阻值其！单位：为Ω·cm或—MΩ·cm ！ 2.《 0. 6  电导！率 conduc】tivit》y  】。   度量水溶【。液导电？的能力等于》电，阻，率的倒数其单位为】μs/？cm或s/cm 】 2. 0！. 7？  总有《。机碳(T《。OC)  tota！l， organic ！carbo》n 》     —。水中溶解性和—悬浮性有机物中碳的！总量反映《水中：有机物含量的指【标 《 2.》 0：.， 8  《微滤(？MF)  mi【c，rofiltra】。。tion《 ， ？。 ，  ：   通常指—在外压作用》下，利，用筛网状过滤介质膜！的“筛分”》作用进行分离的膜】分离技术 】 2. 0. 9！  超？滤(U？F)    —ult？rafi《l，tration ！ 《   ？ 通常指在外压作】用下利用非对—称性膜去除水中亚】微米悬浮物的膜分】。离技：术超滤？能截：留分子量范围为几】。百至几百万》的溶质和《微，粒多为大分》子有机物和胶体 ！ ？ 2：. 0. 10 】。 反渗透(》RO)  》  reverse！ os？mos？is  《。 ？   《  在外《加压力作用下—利用一种半透性薄膜！使水分子和》其他一些物质—选择性透过从而将绝！大部：分悬浮物和》绝大部分《溶解固形物(盐【)截留去《除的膜分离技术 】 2. 】0. 11 — 电脱盐(E—DI)    e】lec？trod《e，ionizati】on 【。 ，  ：  一种利用装填】阳、阴混合离子交换！树脂或离子交换【无纺布在直流电场】作用：下连续去《除水中？。离子而不需要专门】再生的除盐装置的】统称 【 2：.，。 0. 12  】紫外：线杀菌？ UV？ sterili】zatio》n  ？ ，    【 通过波长254】nm的？紫外线照射》杀灭水中的活菌为紫！。外线杀菌装置 】 2》. 0. 1—3  紫《外线除有《机碳    —UV-TOC— Remova【l，  ？ ？     通过波长！185？nm的紫《外线照射分解纯水中！的微量TOC为紫外！线除TOC装置 ！ ？ 2. 0. 【14 ？ 膜脱气装置—(MDG) mem！bran《e d？e，gasifi—er    】    — 利：用膜分离技术降低】水中挥发性》溶解物质的装—置在电子工》业纯水？系，统中主？要是：脱除纯？水中的溶解氧 】 《2. ？0，。。。. 15  供水环！路，    distr！ib：ution l【oop ！    为保证电子！工业最终使用点的】纯水水质和水—压而采？用的有附加循环水量！。的不：间断：供水方式最终使【用点用水取自从【终端过滤器到纯水水！箱之间的《闭合：供水环路供水环【路一般由纯水—精处理系《统和供、回水管路共！同组成？ —2. 0. 1【6  背压》调节阀组 》ba：ck pressu！re re》gulation ！unit《  ： ：  《   设于纯水回水！管路末端《通过调节《阀通径大小的变化来！维持、调节》纯水供回水管路压】力的调节阀组 】