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。   — 2  —术  ?  语  【 2. —0. 1  电【子工:。业纯水  pur】e water【 for e—lectron【。。ic ind—ustry —    】。 电子工业生产【所需的纯化水的【通称:根据生产需》要的水质去》。除生产所不希望保留!的各种离《子以及其《他杂质?的水 — 2. 0. 】。2  电子》。。工业:纯水系统  pu】re water !sy:s,tem for e!lectr》on:。ic i《nd:。ustr《y  】   制取和配【送用于电子工—业生产纯《水的系统通常包【括纯水制备、纯水的!输送和分配、—纯水的回收和处理】的,系,统 ? 2. 【0.: 3:  软化水  so!ft w《ater !     除—。掉部分或全部—钙、镁离子等后的水! 2.】 0. 4  【淤塞指数(SD【I)  s》ilt dens】ity inde】x :     !保证反渗《。透正常运行的进水】水质重要指标它通过!被测水样对0. 4!5μm滤膜的—淤塞程度间》接表征造成反渗透膜!面堵塞?的水中?微量悬浮物》、胶体?的含:。量又称污染指数【FI 》 2《. 0. 5  电!阻率  re—sistiv—ity 】。     度量【水,溶液阻?止电流通《过的能力等于在一定!温度下一对截面积为!1cm2的电极在1!cm距离间的电阻值!其单位为Ω·cm】或,MΩ·c《m 2】. 0. 6—。  电导《率 conduc】ti:vity — ?    《 度量水溶液—导电的?能力等于电》阻率:的倒数其单位为【μs/cm或s/】。c,m, 2. !0,. 7  总—有,机碳(T《OC)?  total【 orga》nic 《carbon— —。    《水中溶解《性和悬浮《性有机物中碳的总量!反映水中《有机物含《量的指标 【 , 2. 》0. 8  —。微滤:(MF)《  mi《crof《iltrat—。ion 【 ,     通常指在!外压作用下利用筛】网状过滤介质膜的】“筛分”作用进行分!离的膜分离技术 ! 2. 【0. 9  —超,滤(UF)  【  ultra【fil?tration【    ! 通常指在外压【作用下?利用:非对称性膜去除水】中,亚微米?悬浮:物的膜?分离技?术超滤能截留分子量!范围为几百》至几:。百万的?溶质和微粒多为【大分子有机物和胶体! 2.】 ,0. 10》  反渗透(—RO) 《   reve【rs:e osm》osis 》 《 ,     在外加】压力:作用下利用一种半透!性薄膜?使水:分子和其他一些物质!选,择性透过从》。而将:绝大部分悬》浮物和绝《大部分溶解固形【物(盐)截》留去除的膜分离技】术 》 2. 0. 】11 ? 电脱盐(E—DI)    e】lect《rodeioni】za:tion 】     —一种利用装填阳【、,阴混合离《子交换树脂或离子交!换,无纺布在直流—电场:作用下连续去—除,水中离?。子而不?需要专门再》生的:除盐装?置的统称 ! 2. 0. 【12  紫外线【杀菌 UV s【ter?ilizat—ion  【。    — ,通过波?长2:54nm的紫外线照!射杀灭水中》的活菌为紫外线【杀菌装置 !。 ,2. 0. 1【3  紫《外线除有机碳 【   UV-—TOC R》emoval  】  —  : 通过波长185】nm的紫外》线照:射分解纯水中的【微,量T:。OC为?紫外线除TOC装置! 2【., 0. 《14  膜》脱气装置(MDG)! membrane!。 degasif】ier    】    【 利用?膜分离?技,术降低水《中挥发性《。溶解:物质的装置在电【子工业纯水系统中】主要是脱除》纯水:中,的溶解氧 】 ,。 2. 0. 1】5 : 供水环路   】 distribu!tion loop! , :    — 为保证电》。子工业最终使用【点的纯水水》质和水压而》采用的有附加循环】水量的不《间断供水方式最【终使用点用水取自】从终端过滤器到【纯,水水:箱之间的闭合供水环!路供水环路一—。般由纯水精处理【系统和供、回水【管路共同组成 ! 2《. :0. 16  【背压调节阀组 【back 》pre?ssu?re r《e,gulatio【n, unit  】     】设于纯水回水—管,路末端通过调节【阀通径大小》的变化来《维持、调节纯—水供回水《管路压力的调节【阀组 《