。
—
2 —术 ? 语
【
2. —0. 1 电【子工:。业纯水 pur】e water【 for e—lectron【。。ic ind—ustry
—
】。 电子工业生产【所需的纯化水的【通称:根据生产需》要的水质去》。除生产所不希望保留!的各种离《子以及其《他杂质?的水
—
2. 0. 】。2 电子》。。工业:纯水系统 pu】re water !sy:s,tem for e!lectr》on:。ic i《nd:。ustr《y
】 制取和配【送用于电子工—业生产纯《水的系统通常包【括纯水制备、纯水的!输送和分配、—纯水的回收和处理】的,系,统
?
2. 【0.: 3: 软化水 so!ft w《ater
!
除—。掉部分或全部—钙、镁离子等后的水!
2.】 0. 4 【淤塞指数(SD【I) s》ilt dens】ity inde】x
:
!保证反渗《。透正常运行的进水】水质重要指标它通过!被测水样对0. 4!5μm滤膜的—淤塞程度间》接表征造成反渗透膜!面堵塞?的水中?微量悬浮物》、胶体?的含:。量又称污染指数【FI
》
2《. 0. 5 电!阻率 re—sistiv—ity
】。
度量【水,溶液阻?止电流通《过的能力等于在一定!温度下一对截面积为!1cm2的电极在1!cm距离间的电阻值!其单位为Ω·cm】或,MΩ·c《m
2】. 0. 6—。 电导《率 conduc】ti:vity
—
?
《 度量水溶液—导电的?能力等于电》阻率:的倒数其单位为【μs/cm或s/】。c,m,
2. !0,. 7 总—有,机碳(T《OC)? total【 orga》nic 《carbon—
—。 《水中溶解《性和悬浮《性有机物中碳的总量!反映水中《有机物含《量的指标
【
,
2. 》0. 8 —。微滤:(MF)《 mi《crof《iltrat—。ion
【
,
通常指在!外压作用下利用筛】网状过滤介质膜的】“筛分”作用进行分!离的膜分离技术
!
2. 【0. 9 —超,滤(UF) 【 ultra【fil?tration【
! 通常指在外压【作用下?利用:非对称性膜去除水】中,亚微米?悬浮:物的膜?分离技?术超滤能截留分子量!范围为几百》至几:。百万的?溶质和微粒多为【大分子有机物和胶体!
2.】 ,0. 10》 反渗透(—RO) 《 reve【rs:e osm》osis 》
《
,
在外加】压力:作用下利用一种半透!性薄膜?使水:分子和其他一些物质!选,择性透过从》。而将:绝大部分悬》浮物和绝《大部分溶解固形【物(盐)截》留去除的膜分离技】术
》
2. 0. 】11 ? 电脱盐(E—DI) e】lect《rodeioni】za:tion
】
—一种利用装填阳【、,阴混合离《子交换树脂或离子交!换,无纺布在直流—电场:作用下连续去—除,水中离?。子而不?需要专门再》生的:除盐装?置的统称
!
2. 0. 【12 紫外线【杀菌 UV s【ter?ilizat—ion
【。
— ,通过波?长2:54nm的紫外线照!射杀灭水中》的活菌为紫外线【杀菌装置
!。
,2. 0. 1【3 紫《外线除有机碳 【 UV-—TOC R》emoval
】
— : 通过波长185】nm的紫外》线照:射分解纯水中的【微,量T:。OC为?紫外线除TOC装置!
2【., 0. 《14 膜》脱气装置(MDG)! membrane!。 degasif】ier
】
【 利用?膜分离?技,术降低水《中挥发性《。溶解:物质的装置在电【子工业纯水系统中】主要是脱除》纯水:中,的溶解氧
】
,。
2. 0. 1】5 : 供水环路 】 distribu!tion loop!
,
:
— 为保证电》。子工业最终使用【点的纯水水》质和水压而》采用的有附加循环】水量的不《间断供水方式最【终使用点用水取自】从终端过滤器到【纯,水水:箱之间的闭合供水环!路供水环路一—。般由纯水精处理【系统和供、回水【管路共同组成
!
2《. :0. 16 【背压调节阀组 【back 》pre?ssu?re r《e,gulatio【n, unit
】
】设于纯水回水—管,路末端通过调节【阀通径大小》的变化来《维持、调节纯—水供回水《管路压力的调节【阀组
《