《 ？。 2 《。 术 ？。。。   语  】 2. —0. ？1  电《子工业纯《水  pure w！ater fo【r electr】oni？c in《du：stry 》。 》 ，   ？电子：。工业生产所》需的纯化水的通称根！据生产需要的水质去！除生产？所不希望保留—的各种离子以及其他！杂质的水 — 《2. 0. 2【  电？子工业？纯，。水系统  p—ure wate】r sys》tem for 】el：ectronic ！in：dus？t，ry ？ ？     制取和！配，送用于电子工业生产！纯水的系统通常包括！纯水制？备、纯水的输送和】分配、纯水的回收和！处，理的系统 】 2？. 0.《。。 3  软》。化水  《soft wa【ter ！ ，   除《掉部分或《全部：钙、镁？离子等后的水— —2. 0.》 4  淤塞指【数(SDI)  】sil？t density！ index 【 《     保—证反渗透正常—运行的？进水水质《重要指标它通过被测！水样对0. 4【。5μm滤膜的淤塞程！度间接表《征造：成反：渗透膜面堵塞的【水，中微量悬浮物、胶】体的含量《又称污？染指：数FI 》 《2. ？0. 5  电阻率！  resisti！vity 】     —度量水溶液阻止【电流通？过的：能力等于在一定【。。温度下一对截面积】为1cm2的电极】在1cm距离—。间的电阻《值其单位《为，Ω·cm或》MΩ·c《。m 2】.，。 0：. 6  电导率 ！conduc—tivi《ty 】 ，   度《量水溶液导电—的能力等于电阻【率的倒数《其单位？为μs/《cm或s/cm【 2【. 0. 7 【 总有机碳(—TOC)  —total》 o：rganic ca！rbon《 ？  《 ， ， 水中？溶解性和悬浮性有机！物，中碳的总量反—。映水中有《机物含量《的指标 】 2. 0. 8】  微滤(M—F)  mi—c，rofiltrat！ion？ —    通常—指在外？。压作用下《利用：筛网状过滤介—质膜的“筛分”【作用进行分离的【膜分离？技术 】2. 0. 9 】 超滤(U》F)   》 u：ltrafi—ltration】 》     》通常：指在外压《作用：下利：用非对称性膜去除水！中亚微米悬浮—物的膜分离技术超滤！能截留分子量范围为！几百至几百万—的溶质和微粒多为】。。大分子有机》物和胶体 【 ， 2. 0—. ：。10 ？ 反渗透(RO) ！   revers！e osm》osis  — ，     】在外加压力作用【下利：用一种半透性薄膜使！水分子和其他一些】物质选择性》透过：从而将绝大部分悬】浮，物和绝大部分—溶解固形物(—盐)截留去除的膜分！离技术？ 《 2？. 0？. 11《  ：电脱盐(EDI) ！   electr！odeioni【za：tio？n， 《     一种】利用装填阳、阴混合！离子交换树》脂或离子《交换无纺布》在直流电场作—用下连续去除水【中离子而不需要专】门，再生的除《盐，装置的统《。。。称 》 ：2. 0. 12 ！ 紫外线杀菌 U】。V， st？erilizat】ion  —     通！过波长25》4nm的紫外—线照射杀灭》水中的活菌为紫【外线杀菌《装置 》 2《.， 0. 1》3  紫外线除有机！碳    U—V-TOC R【emo？val  》。    】。 通：过波长185nm的！紫，外线照射分解纯水中！的微量？TO：C为紫外线除TOC！装置 《 《2. ？0. 1《。4 ： 膜脱气装》。置(MDG) m】embra》ne degasi！。f，i，er    —    】 利用膜分离技【术降低？水中挥发性》。溶解物质《的装置在电子工【业纯水系统中主要】是脱除纯《水中的溶解氧 】 ， ， ， 2. 0. 1】5  供《。水环：路  ？  dis》tri？bution lo！op：    ！ ，为保：证电子工《业最终使用》点的纯水水质和水】压而采用的有附加】循环水量的》。不间断供水方式【最终使用点用水取自！从终端过滤》器，到纯水水《箱之间的闭合—供水环路供水环路】一，般由纯水精》处理系统和供—、回水管路共—同组成 】 2. 0》. 16  背压】调，节阀组 《ba：ck ？pres《sure re【gulati—on un》it  】     设—于纯水回水管—路末端通过调节【阀，通径：大小的变化来—维持、调节纯水供】回水管路压力的调节！。阀组 《