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5 纯水回收】和节水
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5. 1 !一般规定
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5. 1】. 1 电子工】业尤其是作为当今明!星产业的电子高科】技产业如芯片制造】、芯:片封装、TFT【-,L,。CD和L《。ED:等产业在工艺—生产过程中均需【大量:。使用超纯水作为清洗!用水中国水资源【。短缺淡水资》源总:。。量约每年2620】0亿:m3人均占有—量为每年23—92m3为世—界人:均占有量的1—/4:名列第11》0位由于《各地区处《于不同?。的水文?带及受?季风气候影响—水资源与土地—、,矿产资源分布—和工业用水结构不】相适应?。水污染?严重水质型缺水更加!剧了水资源的—短缺高速扩》。张的产能和日益匮乏!的水资源的尖锐对立!使得电子高科技产业!的,用水形态发》生着深刻的变化如】何合理的制水、用】水怎样综合利用水资!源以应对当》前电子高科技—。产业所面《临的用水挑战是科】学研究和《工,程设计都《无法回避的重要【课,题
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在用【水量最大的》电,子工业?如芯片?制造和TFT—-,LCD产业通常【企业用水分为工艺】系统用水、动力系统!用水和生活用—水3大类其中工艺用!水,和,动力系统用水又【占了绝?大部分以一个—8英寸?芯片制造工厂为例工!艺系统用《水,约占整?个全厂用水量的【70%而动力系统用!水量约占全》厂用水量的2—3%而生活用水【量仅占?全,厂用水量的》7%由此可》见如何做到工艺【系统:用水:和动力?系统用?水的节约高效使【用是这类工》厂节水的两大努【力方向
! 电子工【厂,要,达到高效用水—。通,常采取?两种途径循环使【用和回收利用循【环使用通常在生产】工艺设备的设计制】造过程中《加以:考虑而回收利用则是!。水系统?工程师必须要考虑】的问:题如何保证不同水】质和水量的用后【纯水的有效回收和】利用就离不开对【全厂用水系》统的:水量平衡《水量平衡是指在一个!确定的用水系—统内输入水量之和】等于输出水量之【和电子?工业企业的》。水量平衡是以—电子工业企业为主要!的考核对象通过【。对各:用,水系统的用水水质和!消耗水量《的分析?。根据水量的平—衡关系?分析用水的合—。理程度
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:。 由《此本条强调》通过详细的水—量平衡以实现合理高!。效用水以达到全厂的!高水回用率》而非简单的工艺用】水,。系统的高《回用率
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5. 1!. 2? :在调查过程中发【现很多改建、扩建】的工:程,其现有的水处理工艺!和,设备中仍有不—少值:得改进之《处如多介《质过滤器、活性炭】过,滤,器末段反洗》水回用?在线仪?表分析?测试用水的》回收等因此特作【此原则性规定
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5. 1.! 3 ? 随着国民经—济的发展和城市生】活水平的提高我国】很多地区《特别在?北方和某些沿海城市!发生水资源短缺和】污染问题水资源的本!身不足和水源的污】。染已:成,为我国国民经济发展!的一:个制:约,因素:因此很多地方实行】水资源的统一规划】与管理?把用:水问题特别》是将:节水工作纳入社会】经济发展《规划:建立与健全相应的】规章制度认真贯【彻,开源节流并重方针加!强,节水的科《学管:理这些?地方:的节水措《施相比?国家要求更》严格因此在这些地】方和区域建设—的项目应《该要同时《满足当地的更—严格的节水措施【
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