》
,
5 》 纯水?回,收和节水
【
5. 1 !一般规定
】。。
5. 》1. 1 》 电子工业尤—其是:作为当今《明星:产业的?电子高科技产业如】芯片制?造、芯片封装、T】。FT-L《CD和LE》D等产?业在工艺生产过【程中:均需大?量使用超《纯,水作为清洗用水中国!水资源短《缺淡水资源总量约每!年26200亿m】3人均占有量—为每年2392m】3为世?界人均?占有量的1》。/4名列第110位!由于:各地区处于不—同的水文带及受季风!气候影响《水资源与土地—、矿产资《源分布和工业用水结!构不相适应水污染严!重水质型缺水更加】剧了水资源的短【缺高速扩张的产【能和:。日益匮乏《的水资源的》。尖锐对立使得—电子:高科技产业的—用水形态发生着深刻!的变化如《何合理的制》水、用水怎样综【合,利用水资源以—应对当前电子—高科技产业所—面临的用水挑战是科!学研究?。和工程设计都无法回!避的重要课题
】
【 在用?水量最大的电—子工业如《芯片制造《和,TFT-LC—D产:业通:常企业用《水分为工艺》系统用水《、,动力:系统用水和生活用水!3大类?。其中工艺用水和【动力系统用水又【。占了绝大部分以一个!8,英寸芯片制》造工厂为例工—艺系统用水约占整个!全厂用水量的70】%而动力系统用【。水量约占全厂用水】量的23%而生活用!水量仅占全厂—用水量的7%由此】可见如何做到工【艺系统用水和动力系!统用水的节》约高效使用是—这类工厂节水的两】大,努力方向
—
《 电》子工厂?要达到高效用—水通常采取两种途径!循环使用和回收利用!循环:。使用通?常在生产工艺设【备的设?计制造过程中加以】考虑而回收》利用:则是水系统工程师必!须要考虑的问题如】何保证不同》水质和水量的用【后纯水的有效回收和!利用就离《不开对全厂用—水系统?的水量平衡水—量平衡是《指在一?个确定的用水系统】内输入水量之和【等于输出水量—之和:电子工业企业—的水:量平衡是以》电子工业企业为主要!的,考核:对象通过《对各用水系统—的用水水质》和消耗水量》的分析根据水—量的平衡关系—分析用水的合理程】度
《
:
》。。由此本条强》调通过详细的水量】。平衡以实现合理高效!用水以达到全厂的】高水回用率而非简单!的工艺用水系—。统,的高回用率
!
5. 1. 】2 ?在,调查:过程中发现》很多改建、扩建【的工程其现有—的水处理工》艺和设备中仍有【不少值得改进之处如!多介质过《滤器、活性炭过滤器!末段反洗《水,回用在线仪表分析测!试用:水的:回收等因此特作此】原则性规定
】
5. 1. !3 ?随着国民经济的发展!和城:市生活水平的提【高我:国很多地区特别在】北,方和某些沿海城【市发生?水资源短缺和—污染:问,题,水资源的本》身不足和水源的【污染:已成为?我国国民《。。经济发展的一个【制约因素因此很【多地方实行水资【源,的统一规划与—管理把用水》问题特?别是将节水工作纳】入社会经济发展规划!建立与健全相—应的规章制度—认真贯彻开源节流】并,重方:针加强节水》的科学管理这些地方!。的节水措《。施相比国家要求【更严格因此在—这些地方和区域建设!的,项,目应该要同时满【足当地?的更严格的节水措】施
?