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5 纯水】回收和节水
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5.《 1 一》般规定
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5. 【1.: 1 电子工业】尤其是作为当今明星!产业的电《子高科技产业如【芯,片制造?。、芯:片封:装、TFT-—LCD和LED等】。产业:在工艺生产过程中均!。需大量使用超纯水】作为清洗用水—中国水资源》短缺淡水资源总【量,约每年2620【0亿m3人均占【有量:为每年239—2m3为世界人【均占:有量的1/4—名列第110位由于!各地区处《。于,不,同的:水文带及受季—风气候影响水资【。源与:土地、矿产资—源分布和《工业:用水结构不相适应水!污染严重水质型缺水!更加剧了水资—源的:短缺高速扩张—。的产能?和日益匮乏的水资】源的尖锐对立使得】电子高科技产—业的用水形态发生】着深刻的变化如何合!理的制?水、用水怎样—综合利用水》资,源以应对当前—电子高科技产业【所面临的用水挑战是!科学研究和工程设计!都无法回避的重【。要课题
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: 在用》水量最大的电子【工业如芯片制造【和TFT-L—CD:产业通常企业用水分!为工艺系统》。。用水、动力》系,统用水和生活用水】。3大类其中工艺用水!。和动力系统用水【又占了绝大部分以】一个8英寸芯片制】。造工厂为例工艺系】统,用水:约占整个全厂用【水量的70%—。而动力系统》用水量约《占全厂用水》量的23%而—生活用水量》仅占全厂用》水量的7%由此可】。见如何做《到工艺系统用水【和动力系统用水的节!约高:效使用是这类工【厂节水的两》大努力方向
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电】子工厂要达到高效】用水通常采取两种】途径循环《使用和回收利—。用循环使用通—常在生产工艺设【备的:。设计制造过程中加】。。。以考虑?。而,回收利用则》是水系统工程—师必须要考》虑的问题如何保证不!同水质和《水量的用后》纯水的有效回收和利!用就离?不开对全厂用水【系统的水量平—衡水:。量平衡是指》在,一个确?定,的用水系统内输【入水量?之和等?于输出水量之和电】子,工业企?业的水量平》衡是以电子工业【企业为主要的考【核对象?通过对各《用水系统的用水【水质和消耗水量的】。分析根?据水量?的平衡关系分析用水!。的,合理程度
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?。 由《此本:条强调通过详细的水!量,平衡以实现合理高效!用水以达《到全厂?的高水回用率—而非简单的工艺【用水系统的高回用率!
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5. 1. 2】 在?调查过程中发现【很多改建、扩建的工!程,。其,现,有的水处理工艺【和,。。设备:中仍有不《少值得改进之—处如:多介质过滤器、活性!炭,过滤器末《段反洗水回用在线仪!表分析测《试用水的回收等因】此特作此原则—性规定
!5,. 1. 3 随!着国民经济的发展和!城市生活《。水平的提《高,我国很多地区—特别在北方》和,某些沿海城市发生水!资源短缺和污染【问题水资源的—本身不?足和水源的污染【已成为我国国民经济!。发展的一个制约【因素因此很》多地方实行水资源的!统一规?划,与管理把用水问【题特别是将节水【工作:纳,入社会经《济发展规《划建:立与健全相应的规章!。。制度认真贯彻—开源节流并重方【针加强节水的科学】管理:这,些地方的节水措【。施相比?。国家要求《更严格因此》。在这些地方》和区域建设的项目应!该要同时满足—当地的更严》格的节水《措施
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