。。   《 5. 2！  ：纯水回收 》。 《 5. 2.【 1  纯水回【。收设计应与》电子产品生产工艺设！计密切配合并应根】据，工程实际《情况、回收水质、】水量结合《。当，前的技？。术、经济条件等合】理确定？。回收率并宜》符合：下列要求 ！     1—  应用《于，集成：电路生产的》超纯水系《统其纯水回收率【不宜低于《75％ —   》  2  应用【于集：成电路封装测试生产！线的纯水系统其背】面减薄废《水和划片废水应【予，回收利？用 《 ？    3 — 应用于TFT-】LCD？生产线的超》纯水系统其纯水回】收率不宜《低于：。5，0，％ 5.！ 2. 2  【经管：。路系统收集的用【后纯水？应连续检测》其电导率、pH【。值和TOC》。当检测值符合—回用要求时应予以】回用；？不符合回用要—求时应将其排放【至废：水处理系《统 — ，5，. 2. 3—。  回收水处理系统！流程的？拟定和设备的选【。择应根据工程—的 具？。体情：况、回收水水—质、：水量以及《处理后的用途—。。等因素综合确定当】。。不，能取得？回收水？水质资料时可按已建！同类：工程经验或经科学实！。。验后确定    】 ， ，