】 5.？ 2  纯水回收】  《 ： 5. 2. 1】  纯水回收—设计应？与电子产品生产工】艺设计密切》配，合并应根据工程实】。际情况、回收水质】、，。水量结合当》前的技术、经济条件！等合理确定》回收率并宜》符，合，下，列要求 】。     1 【 应用于集成电路】生产的超纯水系统】其纯水回收率不宜】低于75％ ！    》 2  应用于集成！电路封装测》试生产？线的纯？水，系统其背面》减薄：。废水和划《片废水应予》回收：利用 ？  —   3  应用】于TFT-》LCD生产线的超纯！水系统？其纯水回收》率不宜低于5—0％ ？ 5.【 2. 2  经管！路系统收集的用后纯！。水应连续检测—其，。电导率？、pH值和》TOC当检测值符合！回用要求时应予【以回用；不》符合回用要求时应】。将，其排放？至废水处理系统【 《 5. 2. 3！  回收水》处理系？统流程的拟定和设备！。。的选择应根据工程】的 具体情况、【回收水水质》、水量以及处理后的！用途等因素》综合确定当不能【取得回收水》水质资？料，时可按已建》同类工程经验或经】。科学实验后确—定 ：    》