。   》 ？ 5. 《。。2  纯水回收【  》 5. 2. 1！  纯水回收设计】应，与电子产品》生产：工艺设计密切配合】并应：根据：工程实际情况、回收！水质、水量》结合当前的》技术、经济条件等合！理确定回收率并宜符！合，下列要求 》     ！1  应用于—集成电路生产的超纯！水系统？其纯水？。回收率不宜低于【75％ 》 ： ：    2  应】用于集成《电路封装测试生产线！的纯水系统》其背面减薄废水和】划片废？水应予回收利—用 ： ，  》   3  —应用于T《FT-LCD生产】线的超纯水系—统其纯水回收—率不宜低于50％】 ？ 5. 2【. 2  经管【路系统收《集的用后纯水应连】续检测？其电导率、pH值和！TOC当检测值符合！回用要？求时应予以回用【；，不符合回用要求【时应将？其排放至废》水，处理系？统 5】. 2？. 3 《 回收水《处理：系统流程的拟定【。和设：备的选择应根据工程！的 具体情况、【回收水水质、水量】以及处理后》的用途等因素综合确！定当不能《取得回收水水质资】料时：可按已建同类—工程经验或》经科学实验后确【。定     【