【 5. 2  纯！水回收？  — 5. 2》. 1  纯水回】收设：计应：与电子？产品生产工艺设【。计密切配合并—应根据工程实际情】况、回收水质、水】量结合当前的技【术、经？济条件等合理确定回！收率：并宜符？合下列要求 】。 ，。。     —1  应用于集成】电路生产的超—。纯水：。系统其纯水回收【率不宜低于》75％ 《 》。   ？ 2  应用于集成！电，路封装？测，试生：产线的纯水系—统其背面减》薄废：水和划片废水应予回！收利用 》 ？  ： ， ， 3  《应用于？TFT-LCD生】产线的超纯水系统其！纯水回收《率不宜低于5—0％ 】5.： 2. 2  经管！路系统收集的用【后纯：水应：。连续检？。测其电导《率、：pH值？和TOC当检测【值符合回《用要求？时应予以回用；不】符合回用要求时应】将，其排放至废》水处理系《统 》 5. 2. 】3，。  回收水》处理系？统流程的拟定和设备！。的选择应根》据工程的《 具体情况、—回收水水《。质、水量《以及处理《后的用途等因—素，综合确定当不—能取得回收水水质资！。料时可按已建—同类：工程：经验或经《科学实？验后确定     ！ ，