。   【 5. 2  纯！水回收？  》 5？. 2. 1  纯！水回收设《计应与电子产品生产！工艺：设，计密切？配合并应根据工程】实际情？况、：回收水质、水量结合！当前：的技：术、经济条》件等合？理确：定，回收率并宜》符合：。下列要求 】     1【  应用于集成电】路，生产：的超纯水系统其【纯水回收率》不宜低于7》5％ 》  《。  ： 2：  ：应，用于集成《电路封装《测，。试生产线的纯—水系统？其背面减薄》废水和划片》废水应予回》收利用 《 ， 《    3  【应用于TFT-LC！D生产线的超纯水系！统其纯水回收率不宜！低于：50％ 【 5？. 2. 2 【 经管路系》统，收集的？用后纯水应连续【检测其电导》率、pH值和—TOC当检测值【符合：回用要求时应予以】回，用；不符合回用【要求时应将其排放至！废水处理系统 ！ 5《. 2. 3  回！收水处理系统流程】的拟定和设备的选择！应根据工程》的 具体情》况、回收水水—质、水？量以：及处：理后的用途等因【。素综合？确定当不能取得【回收水水质》资料时可按》已建同类工》程经验或经科学实】验后确定《     —