【 5. 2—  纯水回收—  5.！ 2.？ 1  《。纯水回收设计—。应与电？子产品生产》。工艺设计密切配【合并应根据工—程实：际情况、回收水【质、水量结合当【前的技术、经济【条件等合《理确定回收率并【宜符合？下，列要：求 【  ：  ：1  应用》于集成电《路生产？的超纯水系》统其纯水《回收率不宜低于7】。5％  ！   2 》 应用于集成电【路封装测试生产线】的纯：水，系统其背面减薄废水！和划片废《水应予回收利用【 ：。 《  ： ， 3 ？ 应用于TFT-】LCD生产线—的，超纯水系《统其纯水《回收率不宜低于【50％ ！5. 2. —2  经《管路系统收集的用后！纯水应连续检测【。其电导率、pH值】和TOC当检—测值：符合回用《要求时应予以回用；！不符合回用要求【。时应将其排放至【废，水处理系统》 5.】 2. 3》  回收水》处理系统《流程：的拟定和设备—的选择应根据工程】的 ：具体：情况、回收水水质、！水，量以：及处理后的》用途等因素综合【确定当不《能取得回收水水质资！料时可按《已建同？。类工程经验或经科学！实验：后确定     ！