！。5. 2 》 纯水回收 — ： 《。5. 2.》 1  《纯水回收设计应与】电，子产品生产工—艺设计密切配合并应！根据工？程实际？情况：、回收水质、—水量结合《当前的技《术、经济条件等【合理确定《。回，收率并宜符》合下列？要求： ：     1！  应用于》集，成电路？生产的？超纯：水系统其纯水回收率！不，宜低于75％ 】 ：    》 2： ， 应用于集成—电，。路封装测试》生产线的纯水系【。统其背面减薄废水】和划片废水应予回收！。。利用 》 ，     3  ！应用：于TFT-LCD生！产线的超纯水系统其！纯水回收率不宜低于！。50％？。 ， ，。 ： 5.《 2. 2  【经管路系《。统，收集的用后》。纯，水应：连续检？测，其电：导率、pH值和TO！C当检测值符—合回用要求时应予】以回用？；不符合《回用要？求时应将其排放至】废水处理《系统 — ：5. 2《。。. ：3  回收水处理系！统流：程，的拟：定和设备的选择应根！据工程的《。 具体情况、回【收，。水水质、水量—以及处理后的用【途等因素综合确【定当不能取》。得回收？水水质资料时可按已！建同类工程经—。验或经科学实—验后确定     ！ ，