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3》. 5 特殊水质!指标的技术措施
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《3. 5. —1、3?. 5.《 2 纯水水【质,指标有对微粒、总有!机碳、细菌、—溶解氧和二氧—。化,。硅等非电解》质或弱电解质—要求是电子工—业纯水的独》。有的:突出:特点:它不同于只有脱盐】要求的纯水系统是】一个严?密的系?统工程某个》。。处理单元对于去除某!种,物质有特《。殊的效果但有可能产!生新:的,污染物降低了另【外的水质指标(例】如离子交换》单元降低了电解质的!含,量,会增:加溶:解有机物和》微粒、最终》的膜过?滤单元降低了水中的!微粒但有可能产生新!的微量电解质降低水!的电阻率《。等水箱、《水泵:和管道阀门的反【作用更是显而—易,见的)因此》要求设?计中准确把握处理过!程中各项水质参数】的变化避免或减【。。少处理单元》的,反作用效应
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: 采用低T】OC析出《的离子交换树脂主要!是在抛光混床内采】。用,。。。特殊加工的树—脂(例?如DOW的MR【。-3UPW均—。粒,抛光树脂《。、R&H的UP60!40抛光树脂等)】
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