【 3. 5  特！殊水质指标的技【术措施 《 《 3：. ：。5. 1、3. 5！. ：。2，  纯水水质指标有！对，。微粒、总有机碳、】细，菌，、溶：。解氧和二《氧化硅等非电解【质或：弱电解质要》求是电子工业纯水的！独有的突出特点它】不同于只有脱盐【要，求的纯水系统—是一个严密的—系统工程《某个：处理单元对》于去除某种物质【有特殊的效果但有可！能产生？新的污染物降—低了另？外的水？质指标(《例如离子交换单元降！低了：电解质的《含，量会增加溶解有机】物和微粒《、最终的膜过滤单元！降低了？。水中的？微粒但有可能产生新！的微量电解质—降低水的电阻率【等水箱？、水泵？。和管道阀门的—反，作用更是显》而易见的)》因此要求设》计，中准确把《握处理？过程中各项水质【参数的变化避免或】减少处理单》元的：反作：用效应 【 ，     采用低】TOC析出的离【子交换树脂主要是】。在，抛光：。混床内采用特—殊加工的《树脂(例如DOW】的MR-《。3U：PW均粒抛光—树脂、R&H的U】P604《0抛：光树脂等《) ？