。   】 3. 《5  特殊水质【指，标的技术措施 ！ 3. 5. ！1、3. 》5. 2  纯水】水质指？标有：对，。微粒、总有机碳、细！。。菌、溶解氧和二氧化！硅等：非电解质或弱电【解质要求《是电子工《业纯水的独有的【突出特点它不同于】只有脱盐《要求的？纯水系统《。是一个严密》的系统工程某个【处理单元对》于去除某种》物质有特殊》的效果但《有可能产《生新：的污染物降低了另】外的水质指标(【例如离子交换—。。。单元降低了》电解质？的，含量会增加溶解有】机物和微粒、—最终的膜过滤单元】降低了水《中的：微，粒但有可能产生新的！微量电解质降低水】的电：阻率等水箱、—。水泵和？管道阀门的反作用更！。是显而？易见的)因此—要求设计中准确把】握处理？过程中各项水质【参数：的变化避免或减【少处理单元的反【作用效应 —   —  采用低T—O，C析出？的离：子交：换树脂主要是在【抛光混床《内采用特殊加工的】树脂(？例如DOW的—MR-3U》PW均粒抛光树【脂、R&H的—UP604》0抛：光树脂等) — ，