！3. 5  特【殊水质指标的—技，术措施 ！3. 5. 1【、3：. 5？. 2  纯水水】质，指标有对微粒—、总有机碳、细菌、！溶解氧和二氧化硅】等非电解质或弱电解！质要求是电子工【业纯水的独有—的突出？。特点它？。不同于只有脱盐【要，求的：纯水系统是一个严密！的系统工程某个处理！。单元对于去除某【种物质有特殊的效】。果但有可能产生【新的：污染物降低了另外】的水质指标(例【如，离子交？换单元降低了电解质！的含量会增》。加溶解有机》物和微粒《、最终的膜》过滤：单元降低了水中的】。微粒但有《可能：产生新的微量—。电解质降《低水：。的电阻率等》水箱、水泵和管道】阀门的反《作用更是显而易【见的)因此要求设】计中准确《把握处理过程—中，各项水质参数的变化！。避免或减《少处：。理单元的反作用效】应 【  ：  采用低TO【C析出的离子—交换树脂主要是【。在抛光？混床内采用》特殊加工的树脂(例！如DOW《的MR-3》UP：W均：粒抛光树脂》、R&H的UP【604？0抛光树脂等)【 ：