：  》 ， 3. 《5 ：。 特殊水质指标【的，技术措施《 3. ！5. 1《、，3，。.， 5. 2  【纯水水质指标有对】微粒、总有机碳、】细菌、？溶解氧和二氧化硅】。等非电解质》或弱电解《质要求？是电子工业纯水【的独有的突出特点它！不同：于只有脱盐要—求，的纯：水系统是一》个，严密的系统工—程某个处理单元对】。于去除某种》物质：有，特殊的效果但—。有可能产生》新的污？染，物降低了另》外的水质指标(【例如离子交换—单元降低了电解质的！含量会增加溶解【有机物和《微粒、最终的—膜过滤单元降低【了水：中的微粒《但有可能产》生新的微量电—解质降低水的电【。阻率等水箱、水【泵和管道阀门—的反作？用更是显而易见的】)，。因此：要求设计《中准确？把握处理过》程中：。各项水质参数—的变化避免》或减少处理单—元，的反作？用效：应 —   ？  采用低TOC】析出的离子交—。换树脂主要是在抛光！混床内采《用特：殊加工的《树脂(例如》DO：W的MR-3—U，PW：均粒抛？光树脂、《R&H的《UP60《40：抛，光树脂等《) ？