？ ， 3. 5！  特殊水质指标】的，技术措施 ！。 ，3. 5《. ：1、3. 5. 】2  纯水水质【指标有对《微粒、总有机—碳、细？菌、：。溶解：。氧和：二氧化硅等非电【解质或弱《电解质要求》是电子工业纯水【的独有的突出特【点，它，不同于只有脱盐要求！的纯水？系统是一个严密的】系统工程某个处理】单元：对于去除某种物质有！特殊的效果但有可能！产生新？的污染物降低了另】。外的水质《指标(例《。如，离子交换《单，元降低了电解—质，的含量会增加溶【解有机？。物和微粒《、最终的膜过滤单元！降低了？水中的微粒但—有可能产生新的【微量电解质降—低水：的电阻率等水箱、水！泵和管道阀》门的：反，作用更是显而易见的！)因此要求设计中】。准确把握处理过程】中各项水质》参数的变《化避免或减》少处理单元的反【作用效应 》 ：  《 ，  采用低》TOC析出的离子】。交，换树脂？主要：是在抛光混床内采】用特殊加工》。的树脂(例如DO】。W的MR《-3U？PW均粒《抛，光树脂、R》&H的？UP6040—抛光树脂《等) ？ ，