？ 3 】 纯水制备工—艺 【3. 1 》 一般规定 ！ 3. 1—. 1  》纯水制备系》统的规？模和供水《水，。质直接影响》纯水：系统：的投资大小应—根据生产需要合理】确定 【     关—于电子工业纯—水水质指标不同电】子产品、不》同生：产工：。艺和不同厂家—都，会提出？不同的要求》目前国际比》较通用的《标准是？美国材料试验—。学会(AS》TM)的标准AST！M， D5127-【0，7(：见表1？)该标准主要是【针对不同线宽的【集，成电路生产有—较大参考价值 】 ， 》 ？ 《      国！内的标准只有电子】级水G？B/T 1》1446《. 1？-19？97水质要》求较低并《不直接？针对电子产》品只：适用于水质要求较低！的电子产品 】 3. 1. ！2  确定纯水制】备流程？和选择处《理设备是设计—的关键？影响因素也》是，多方面的不》应该只强《调某一？。方面而应该各种【。因素综合考》虑，选择最佳的》方案 》。 ， 3. 》1. 3 》。。 条文中强》调，简捷和有效》非常重要因为—每个：处理单元对于水质】处理来说除了正【面，作用外会有或多【或少的负面作用例如！离子：交换树脂具有良好】的除盐作用》的同时会有溶—解有机物和碎颗粒】产生 3！. 1. 5  本！条强调全部可利用】水源：包括自来水以外的再！生水：、甚至？废水处理站处—理后：。的水：体现面对水资源【匮乏设计中不能只盯！着自：来水而忽略其他水】源 ？ ？     掌握可】靠的：水源水质资料是做】好纯水处《理系统设计的先【决条件附录B列出】了水质分析项目当】系统中采用反渗【透时应检测水—中的：锶、钡？等项目当采用再生】水时应根据水质特】点增加一些针—对性的理化检—测项目 】 3. 1.—。 6：  海水倒灌—是沿：。海地区(例如上海】地区：)在咸潮期》的普遍？现象由于水质—的变化对纯水处理特！。别是前级的预处【理和初级处理冲击】很大因此应切实掌握！因海水倒灌引—起的水质变化采取】。有效：的对策见表2 【 《 ：。  3. ！1. 7 》 电：。。子工业纯水制备【系统的？三个阶？段的划分是多—年经验的科学总结】电子工？业，在电子管的》阶段对水质要—。求低基本的手段【为离子交《换基本没有预—处理和抛光处理随着！纯水水质《的提：高在脱盐系统后出现！了精处理(抛光【)阶段；随着反渗透！在系统？中的出？现其：。运行关键是》保证进？入，反渗：透的水质形成了【预处：理系统条文中—明确了各个处理【阶段的基本要求见】图1 】 ， 3.【 1. 8  纯水！制备：系统中？保，证每个处《理单元进水的水【质非常？重要是长期稳定运行！的关键特别是电【子工业？纯水系统中常用的】。反渗透和《电除盐其运转的【成败大都在于是否】。能保证其进水水质】要求：无数事例证明反【渗透的关键是进【水的污染指》数电脱？盐的关键是进水【的硬：度当然表3. 【。2. ？1中所？列的进水水质指标都！是重要？的电渗析在电子工】业纯水系统中—已很少使用》其，进水指标仅》。供参考 》