】 3  纯水—制备工艺《 》 3. 1 — 一般规定 【 3.— 1. 1 —。 纯水制备》系，统的规模和供—。水水质直接影—响纯水系《统的：投资大小应根—。。据，生产需要合》理确定 》   —。  关于电子—工业纯水水质—指标不同《电子产品、不同【生产工艺和不同【。厂家：都会提出《不同的要《求目前国《际比较通用的标【准是：美国材？。料试验学会(A【STM)的标准AS！TM： D512》7-07(见—表1)该标》准主要是针对不同】线宽的集成电路【生产有较大》参考价值 — ， 《 ！ ，    《  国？内，的标准？只有电子级水GB/！T 1？1446. 1-1！997水质要求较低！并不：直接针对电子产品】只适用于水质要求】。较低的？电子产品 — ： 3. 》1. 2  确定纯！水，制备流程和选择处】理设备是设计—的关：。键影响因素也是多】。方面的不应该只强调！。某一：方面而应该各种因】。素综合考虑选择最】佳的方案 》 ：。 ， 3. 1. 3！。  条？文中强？调简：。。捷和有效非常重要】因为每个处理—单元对？于水质处理来—说除了正面作—用外：会，有或多或少》。的负面作用例—如离子交换树脂具有！良好的除盐》作用的？同时会有溶解有机】物和碎？颗粒产生 》。 《 3. 1. 5 ！ ，。本条强调全部可利】用水源？包括自？来水以外的》再生水、甚至废水处！理，站处理后的水—体现：面，对水资源匮》乏设计中不能只盯着！自来水而忽略其他】水源 》  《   掌《握可靠的《水源水质《资料：是做好纯水处理系】。统设计？。的先：决条件附录》B列出了水质分【析项目当系统中【采用反？渗透时应检测—水中的锶《、钡：等项目当采用再生水！时应根？据水质特点增加一些！。针对性的理化检测项！目 ：。。 3—。. 1.《 6：  海水倒灌是沿】海，。地区(例如上—海地区)在咸潮【期的普？遍现象由于水质的变！。化对纯水处理—特，。。别是前级的预—处理和初级处理冲】击，很大因此应切实【掌握因海水倒灌引】起的：水质变化采取有效】。的对策见表2 【 】  3》. 1. 》7  电子工业纯水！制备系统《的三个阶段》的，划分是多《年经验？的科学总结》电子工业在电子管】的阶段对水》。质，要，求低基本《。的手段为离子交换基！本没有预处理和抛光！处理随着纯水水【质的提高《在脱盐系统后—出现了精处理(抛】光)：阶段；随着反渗透】在系统？。中，的出现？其运：行关键是《保，证进入反《渗透的水质》形成了预处理系统条！文中明确了》各个处理《阶段的基本要求【见图1？ 】 3. 【1. 8  —纯水：制备系统中》保证：每个处理《单元进水的》水质非常重要—。是长：期稳定运行的关【键特：别是电子工业纯水】系统：中常：用的：反渗透和电除盐【其运转？。。的成败大《。。都，在，于是否能保证—其，进水水质要》求无：数事例证明》。反渗透？的关键是进水—的，污染指数电脱盐的关！键是进水的硬度当】然表3？. 2？。. 1中《所列的进水水质指】标都是重《。。要的电渗《析在：电子工？业，纯水：系统中已很少使【用其进水指标仅【供，参考 《