《 3—  纯水制备—。工艺： 》 ，3. 1  一【般规定 】 3. 1. 【1  纯水》制备系统的规模【。和供水？水质直接影响纯【水系统的投资大【小应根据《生产需要合》理确定 《 ：     关】。于电子工业纯—水，水质指标《不同电子产品、不同！生产工？。艺和不同厂家都会】。提出不同的要—求目前？国际：比较通用的标准【是美国材《料，试验学会(AST】M)：。的标准AS》TM D512【。7-07(》见表1)该标准主】。要是针对不同线宽】的集成电路生产有较！大参考价值 — ！ —     — 国内的标准只有】电子级水《GB/T 1—144？6. ？1-1997水质要！求较低并《不直接针对》电子产？品，。只适用于水质要求】较低的电子产品 】 ， ， 3《. 1？. 2  确定纯】水制备流程》和选择处理设备是】设计：的关键影响》因素也是多方面的】不应该只强》调某一方面而应【该各种因《素综合考虑选择最】佳，的方案 — 3. 1. ！3  条文中强【调，简捷：和有效？非常重要因为每个】处理单元对于水质】处理来说除了—正面作用《。外，会有或？多或少的负面—作用例如离子交【换树脂具《有良好的除盐—作用：的同时会有溶解【有机物和碎颗粒【产生 】3. ？1. 5  —本条强调全部可【利用水？源包括自来水以外】的再生水《、甚：至废水处理》站，处理后的水》体现面对水资源匮】乏，设计中？不能只盯着自来水而！忽略其？他水源 《     ！掌握可靠的水—源水质资《料是：做好：纯水处理系统设计】的先决条件附录B列！出了水质分析项目】当系统中《采用反渗《透时应检测水—中的锶、钡等项目】当采用再《生水时应根据水质特！点增加一些》针对性的理化检【。测项：目 ： ？ 3. 1. 6！  海水倒灌是【沿海地区《(例如上海地区)】在咸潮期的》普遍：现象由于水》质的变化对纯水处】理，。。特别是前级的—预处理？。和初级处理冲—击很大因此》应切：实掌握因《海水倒灌引起—的水质变化》采取有效的对策【见表2 ！  3.！ 1.？ 7  电子工业】纯水制备《系，统，。的，。。三个阶段的划—。分是多年《经验：的科：学总结电子》工业在电子管的【阶段对水质要求低基！本的手？。段为离子交换—基本没有《预处理和《抛光处理随着纯水水！质的提高《在脱盐？系统：后出现了精处理(抛！光)阶段《；随着反渗》透在系统中的—出现其运行关键【是保证进入反—。渗透的水质形成【。。。了，预处理？系统条文中明确了】各个处理阶段的基本！要求见图1 ！ 3！。. 1？. 8  》纯水制备《系统中？保证每个处理单【元进水的水质非【常重要是长期—稳，定运行的关键—特别：是电子工业》纯水系统中常用的反！渗透和电除盐其运转！。的成败大都在于【是否能保证其进水水！质，要求无数事例证【明反渗透《的关键是《进水的污染指数电】脱盐的？关键是进《水的硬度《当，然表3. 》2. 1中所—列的进水水质指标】。都是：重要的电渗析在【电子工业《纯水系统《中已很少使用其进】。水指标仅供参考【 ：