【。 3  纯水【制备工艺 【 ， ：3. ？1  一般规—定 【3. 1. 1  ！纯，水制备系统的—规模：和供水？水质直接影响—。纯水系统的投资大小！应，根据生产需要合理】。确定  ！  ： 关于电子》工业纯水水质指【标不同电子产—品、不同生产工艺】和，不同厂家《都，会提出不《同的要求目前国际比！较通用的标准—是美国材料试—。验学会(A》STM)的标准A】STM？ D51《27-07(见【表1)该标准主要】是针对不同》线宽的集成电路【生产有较大参考价值！ 】 ， 】  ：   ？ 国内的标准只有】电子级水GB/【T 11446【. 1-1997】水质要求较低并不直！接针对电子产品【只适用于水质要求较！低的电子产》品 》 3. 1. 2！。  确？定，纯水制备流程和选】择处理设备》是设计？。的关键影响》因素也是多方面的不！应，该只强调某一方面】而应该各种因素综】合考虑选择最佳【的方案 《 《。 3. 《1.： 3：  条文中强—调简捷和有效—非常重要因为每个】处理单元对》于水质处理来说除】了正面作用外—会有或多《或少的负面作—用，例如离子交换—树脂具有良好的除盐！。。作用的？同时会？有溶解有《机物和碎《颗粒产生 【 3. 1【. ：5  本条强—调全部可利用水源】包括自来水以—外的再生水、甚至】。废水处理站》。。处理：后的水体《现面对水资源匮乏设！计中：不能只盯着自来【水而：忽略其他水源 】 ？  ：   掌握可靠【的水源？水质：资，料是做好纯水—处理系统设计的先决！条件附录B列出了】。。水质分析项目当【系统中采用》反渗透？。时应检测水中的锶、！钡等：项目当采用再生【。水时应根据》水质特点增加一些】。。针对性的《理化检？测项目 》 ？ 3.？ 1. 6 — 海水倒灌是沿【海地区(例如上【海地区？)在咸潮期的普【遍现象由《。于水：质的变化对纯—水处理特《别是前级《。。的预处理和初级处】理冲击很大因此【应切实掌握因海【。水倒灌引起的水【质变化采《取有效的对策—见表：2 《 【  3《. 1. 7 【 电子工业纯—水制备系统的三个阶！段的：划，分是：。多年经验的科—学总结电子工业【在电：子管：的，阶段对？水质要求低基本【。。的手：段为离子交换基本】没有预？处理和抛光处理随】着纯：水水质的提高在脱盐！系统后出现》。了精：处理：(抛光)《阶段；随着》反，渗透在系统中—的，出现：。其运：行关键是保》。证进入反渗》透的水质形成了【。预处理？系统条文《中明确了各个处理】阶段的？基本要求见图1【 — —3. ？1.： 8  纯水—制备系统《中保证每《个处理？单，元进水的水质非常】重，要是长期稳定运行】的，关键特别是电子工业！。纯水系统中常用的反！渗透和电除盐其运】转的成败《大都在于是》。否，。能，保，证，其进水水质要求无数！事例证明反》渗透的关《键是进水的污染指】数电脱盐的关键是进！水的硬度《当然表3《. 2. 》1中所列的进水【水质指？标都是重要》的电渗析在电子工】业，纯水系统中已很少使！用其进水指标—仅供：参考 《