《 ， 《3  纯水制—备工艺？。 ？ 3《. 1  一般规】定 ： 《 3. 1. 【1  纯水》制备：系统：的规模和供》水水质直接影响纯水！系统的投资大小【应，根据生产需要合【理确：定   ！  ：。。关于电子工业纯【。水水：质指标不同电子【。产，品、不？同生产工艺和不【同，厂家都会提》出不同的要》求目前国《际比：较通用的标》准是美国材料—试，验学会(ASTM)！的标准A《STM D5—127？-07(见表—1)该标准主要是针！对不同线宽的集成电！路生产有较大参【。考价值 】 ？ 】 ，  ：    《国内的标准只有电子！级水G？B/T 1》1446. —。。1-1997—水质要求较低并【。。。不直接？针对电子产品只【适用于水质要—求，较低的电子产品【 ： 3》. 1. 2—  确？定纯水制《备流程和选》择处理设备是—设计的？关键影响因素也【。是多方面的》不应该只强调—某，一方面而应该各【种因素综合》考虑选择最》佳的方案 ！。 3. 1.—。 3  条文—中强调简捷和有效非！常重要因为每—。个处：理单元对于水—质处理来说》除了正？面作用外会有—或多或少的》负面：。作用例如离子交换树！脂，具，有良好？的除盐作用》的同时会有溶解有机！。物和碎？颗粒产生 【 ： 3. 1. 5】  本条强调全部可！利用水源包》括自来水以外的再生！水、甚至废水—处理站？处理后的《水体现面《对水资源《匮乏设计中不能【只盯着自来水而忽略！其，他，水源 ？     ！掌握可靠的》。水源水质资料是【做好纯水处理系统设！计的先？决条件附录B列【出，了水质分析项目【当系统中采》用反渗透时应检【。测水中的锶》、钡：。。。等项目？当采用？再生水？。时应根据水质—特点增加一》些针：。对性：的理化检测项目 】 ， ， 3.》 ，1. 6  海【。水倒灌是沿海地区】(例如？上海地区)在咸潮期！的普遍现象由于水】质的：变化对？纯水处？理特别是《前级的预处理和【初，级处理冲击很大因此！应切：实掌握因海水—倒灌引起的水质【变化：采取有？效的对策《见表2 【 —  3. 1.】 7  电子工【业纯：水制备？。系统的三个阶段的】划分是多年经—验的科学总结电【子工业在《电子管的阶》。段对：水质要求《。低基本的手段为离子！交换基本没有预【处理和抛光处理随】着，纯水：水质的提高在脱【盐系统后出现了精处！理(抛光)阶段；随！着反渗透在系统中的！出现：其运行关《键是保证进》。入反渗透《的水质形《成了预处理》系统条文中明确【了各个处理阶段【的基本要求见图1】 《 3！. 1？. 8  》。纯水制备系统中保】证每个处理单元进水！的水质非常》重要是长期稳—定运行的关键特别是！电子工业纯水系统】中常用的反渗透【和电除盐其运转的成！败大都在于》是否：能保证其进水—。水质要求《无数：事例：证明反渗透的关键是！进水的污染指—数电脱盐的关键是进！水的硬度当然表3】。. 2. 1中所】列的进水水》质指标都是重要的】电渗：析在：电子工业纯水系统中！已很少使用其进水】指标仅？供参考 《 ，