？ ， 3— ，。 纯水制备工艺 ！ ， 3《. 1  一般规定！ 3. ！1. 1  纯水制！备系统？的规模和供水水【质直接影响纯水【系统的投《。资大小应《。根据生？。产需要合理确—定 【    关于—电子工业纯水水【质指标不《同电子产品、—不同生？产工艺和不同厂家都！会提出不同的要求目！前国际比较通用【的标准是《美国材料试》验学会(AS—TM)？的标准ASTM【 D512》7-07《(，见表1)该》标准主要是针对【。不同线宽的集—成电路生产》有较大参考价值 】 】。 ！     国内【的，标准只有电》子级水GB/T【 114《46. 《1-199》7，水质要求较低—并不直接针》对电子产品只适用】于水质要求较低【的电子？产品 》 ， 3.《 ，1. 2《  确？定纯水制备流—程和选择《处理设备是设计的关！键影响因素也是多】方面的不应》该只强？调某一方面》而应该各种》因素综合考虑选择最！佳的方案 ！ ，3. 1. 3 】 条文中强调简捷】和有效？非常重要因为每【个处理单元》对于水质处理来【说除了正《面作用外会有或多或！。少，的，负，。。面作用例如》离子交换《树，脂，具有良好的除盐作用！的同：时会有溶《解有机物《和碎颗粒产》生 ？ 3》. 1. 5  】本条强？。调全部可《利用水源包括自来】水以外的再生水、甚！至废水处理》站，处理后的水》体现面对水资—。源匮乏？设计中不能只—。盯着自？。来，水而忽？略其：他水源 》 ：     掌握可！靠的水源水质资料】。是做好纯水处理系】统设计？的先决？。条件附录B列出【了水质分析项—目当系统《中采用？反渗透时应检测水中！的锶：、钡等项目当采【用再生水《时应根？据水质特点》增，加，一些针对性的—理化检测项目 ！ 3《. 1？. 6  》。海水倒灌是》沿，海地区(例》如上：海地：。区)在？咸潮期的普遍现象】由于：水质的变化对纯水】处理特别《是前级的预处理和初！级处理冲击》很大因此《应切实掌握》因海水倒《灌引起的《水质变化采取有效的！对策：见表2 【 ？ 《  ：3. 1. 7 】 电子工业纯—水制备系统的—三，。个阶段的划分是多】年经：验的科学《总结电子工》业在电子《管的阶段对水质要】求低基本的手段为】离子：交换基本《没有预处《理和抛光《处理随？着纯水水质的提高在！脱，盐系统后出现了精处！理(抛光)阶段；随！。着反渗透《在系统中的出现其运！行关键是保证—进入反渗透的—水，质形成了预》处理系统条》文，中明确了各个处理】阶段的基本要—。求见图1 】 【 3. 1.— 8  纯》水制备系统中保证】每个处？理单元进水的水质非！。常重要？是长期稳定运行的关！键特别是《电子工业纯水系【统中常用的反—渗透和？电除盐其运转的成败！。大都在于《是否能保证其进水】水质要求无数事【例证：明反渗透的》关键是？进水的污染指数电】脱盐：的关键是进水的【硬度当然《表3. 《2. 1中所列【的进水水质指标【都是重要的电渗析在！电子工业《纯水系统中已—很，少使用其进水指标】仅供参？考 ？