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  《 5  】纯水:回收和?节水 【 5. 1  一】般规定 》 5.— 1. 1  电】子工:业尤其是作为当今明!星,。产业的电子高科技】产业如芯片制—。。造、芯片封装、TF!T-LCD和LED!等产业在工艺生【产过程中《均需大?。量使用?超纯水作《为清洗用水》中国水资源》短缺淡水《资源总量约每—年262《00亿m3人—均,占有量?为每:年2392m3为世!界,人均占有量的1/】4名列第《1,10位?由于各地区处于不】同,的水文带及受季风气!候影响水资》。源与土地、矿产【资源分布《和工业用水结—构不相适应水—污染严重水质—型缺水更加剧了水】资源:的短缺高《速扩张的产》能和日益匮乏的水】资,源的尖锐对立使【得电子高科技产业的!用水形态发生着深】刻,的变化?如,。何合理?的制水、用》水怎样综合利用水】资源以应对当前电】子高科技产业所面】临的用水挑战是科】学研究和《工,程设计都无法—回避的重要课题【 —    在用水量最!大的电?子工业?如芯片制《造和:TFT-LCD【。产业通常企业用水】分为工艺系统用【水、动力系统用水和!生活用水3》大类其中《工艺用水和动力【系统用水又占了绝】大部分?以一个8英寸芯片】制造工厂《为例工艺系统用水约!占整个全厂用—水量的70%而动力!。系统用水量约占【全,厂用水量的》。2,3%而生活用水量仅!占全厂用水》量的7%由此可【见,如何做到工》艺系:统用水和动》力系统用水的节约】高效使用是这—类工厂节水》的两大努力方向【 ?    —。 ,电子工厂《要达到?。高效用水通常采取】两,种,途径循环使用和回收!利用循环使》。。用通:常在生产工艺设备的!设计制造过程中【加以考虑而》回收:利,用则是水系统工程】师必须要《。考虑的问题如何保】证不同水质》。和水量的用》后纯水的《有效回?收和利用就离不开】对全厂用水系统的水!量平:衡水量平衡是指在】一,。个确:定的用水系》统内输入水量之和】等于输出水》量之和?。电子工业企业的【水量平衡是以电子工!。业企业为主要的考核!。对象通过对各用【水,系统:的用:水水质和消耗水【量的:分析根据《水量的平《衡关系分析用水的】合理程度 !     》由,此本条强调》通过详细《的水量平衡以实【现合理高效用—水以达到全》厂的:高,水回用率而非简【单的工艺用水系【统的高回用率 ! 5. 1. !。2  在《调查过程中发现很】多改建、扩建的工程!其现有的水处理工】艺,。和设备中《仍有不少值得改进之!处如多介质过滤器、!活性炭过《滤器末?段反洗水《回,。。用在线仪表分—析测试用水的回【收等因?此特:作,此原则性规定— ? : ,5. 1.》 3 ? 随:着国民经济的—发展和城市生活水平!的,提高我?国很多地区特别【在,北方:和某些沿海城市发】生水资源短缺和污染!问题:水资源的本》身不:足和水源的污染【已成为我《国国民经济》发展:的,一,个制约?因素因此很》多地方实《行,水资源的统》一规划与管理把用水!问题特?别是将节水工作【纳入社会经济发【展规划?。建立与健全》相应的规章制度认】真贯:彻开源节流并重【方针加强节水的科】学管理这些地方【。的节水措施相比【。国家要求更》严格:因此在这些地方和】区,域,建设的?项目:应,该要同时《满足当地的更严【。格,的,。节水:措施 《