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5 纯水回【收和节水
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5. 1!。 ,。 一般规定
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?5. 1.》 1 电子工业】尤其:是作为当今明星【产业的电《子高:科技产业如》芯片制造、芯片封】装、:TFT-《LCD和L》ED等产业在工艺生!产过程中《。均需大量使用—超纯:水作为清洗用水【中国水资源短缺【淡水资源总》量约每?年26200亿m3!人均:占有量为每年—2392m3为世界!人均占有量的1/4!名列第110—位,由于各地区处于【不同的?。。水文带及受季风【气候影响《水资源与土地—、矿产?资源分布和工业用】水结:构不:相适应水污染严重水!质型缺水更》加,剧了水?资,源的短?缺高速扩张的产能】和日:益匮乏的水资源的尖!锐对立使得电子【高科技产业的用水】形态发生着深刻【的变化?如何合?理的制水《、用水怎《样综合?利用水?资,源以:应对当前电子高科】技产业所面临的用】。水挑战是科学研究】和工程设计》都,无法回?避的重要课题
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在用【水量最大的电—子工业如芯片制造】和TFT-LCD产!业通常企业》用水分为工艺系统】。用水:、动力系统用—水,和生活?。用水3大类其中【工艺用水和动—力系统用《水又占了绝大部分】以一个8英寸—芯片制造工厂为【例工艺系统用—水约:。占整:。个全厂用水量—的70%而动力系统!用水量约《。占全厂用《水量的?23%而生活用水】量仅占全厂用水量的!。。7%由此可见如【何,。。做到工艺系统用水】和动力系统用水【的节约高效》使用是这《类工:厂节水的两大努【力,方向
】 :。 :电子工厂要达—到高效用水通常采取!两种途径循环使用】和回收利《用循环使用通—常在生产工》艺设备的《设计制造过》程中加以考虑—而,回收利用则是水系统!工,程师必须要考虑的】问题如何保证—不同水质和水量的】用后纯水的有效回】收和:利用就?离不开对全厂用水系!。统的水量《平衡水?量平衡是指在一个】确定的用水系统内】输入水量之和等于输!出,水量之和电子工【业企业的水量平【衡是以电子》工业企业为主要的】考核对象通过对各】用水系统的用水【水质和?消耗水量的分析根】据水量的平衡关【系分析?用水的合理程度
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》 ?由此本条《强调:通过详细的水—量平衡?以实现合理高效用水!以达到全厂的高水】回用率而非简—单的工艺用水—系统的高回用率
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5. 1. 2! 在调查过程中发!现很多改《建、扩?。建的工程其现有【的水处?理,。工艺和设《备中仍有《不少值得改进之处】如多介质过滤器【。、活性炭过滤器末】段反:洗水:回用在线仪表分析】。测试用水的回收等】因此特作《此原则性规定
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5. —1. 3 随着国!民经济的《发展和城市生活【水平的提高我国【很多地区特别在北方!和某些沿海城市发】生水资源短缺和污染!问题水?资源的本身》不足和水源的污染已!成为我国《国民经济发》展的一个制约因素】因此很多《地方实?行水:。资源的统《一规:划与管理把用水问】。题特别是将节水工】作纳入社会经—济发展规划》建立与健全相—应的规章制》度认真贯彻开—源节流并重方—针加强节水的科【学管理这些地—方的节水措施相比国!家要求更严格因此】。在这:些地方和《区域建设的项目应】该要同?时满足当地的更严格!的节水?措施:
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