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5.2 — 结 构
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5【。.,2.1 》设计时应考虑各建】筑物的用《途,对于封装测试生【产厂房则应根据厂】房的投资额》、建筑?面积和?职工人?数等确定抗震设防类!别
5.!2.3 由于常】用的FFU风口及高!架地板的尺》寸均为?600m《m的:模数:为,。便于净化工程的安】装与施工《降低建造成本厂房】柱网宜采用600】mm的?模,数
【5,.2.?4、5.2.5【 :主要考虑厂房变形缝!会对洁净《生产:区的气密性》造成影响目前—结,构设计上都有成熟的!措施及经验》避,免在净化厂房内设置!伸缩缝?。
—5.2.6 【目前:采用先?进封装技《术的工厂中使—用了:步进光刻机等—对微振敏感》的设备因此需根据设!备,及工艺要求采—取相应?的防微振措施—
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