5.2  ！结    构 ！。 5.2.！1  设计》时应考虑《各建筑？物的用途《对，于封装测试生产厂房！则应根据《厂房的投《资额、建筑面积和】职工：人数等确定抗震设防！类别 5！。.2.3 》 由于常用的F【FU风口及高架【地板：的尺寸？均为：600？mm的模数》为便于净《化工程的安装—与施工降《低建造成本》厂房柱网宜采用6】00：mm的模数 【 5.2【.4、5《.2：。.5 ？ 主要考虑厂房变形！缝会：。对，洁净生产区的气密】性，造成影响目前—结构设？。计上都有《成熟的措施及经验】。避免：。在净：化厂：房内设置伸缩—。缝 — 5.2.6 【 目前采用先进【封装技术《的，工厂中使用了步【进光刻机等对微振敏！感的设备因此需根据！设备及？工艺要求采取—相应的防微振—措施 《