《5.：。2  ？结    》构 【 5.2.1 】 ，设计：时应考虑各建—筑物的用途对—于，封装：测试生产厂房则应】根据厂房《的投资额、建筑面】积和职工人数等【。确定抗震《设防类别《 ： ， ？5.2.3  由】于常用的《FFU风《口及高架地》板，的尺寸均为600m！m，的模数为便于净化】。工程的安装与施工】降低建造成本厂房】柱网宜采用60【0，mm的模数 ！ 5.2.4、5！.，2.5  主要考虑！厂房变形缝会对【洁净生产区的气【密性造成影响—目前结构设计上都】有成熟的措施—及经验避免在—净化厂房内》设置伸缩缝》 5【.2：.6  目前采用】先进封装《技术的工厂中使用】了，。步进：光刻机等对微振敏】感的：设备因此需根据设】。备及：工艺要求采取相【应，。的防微振措施 】