？ 5.2《  结    【构 — ， 5.2.1 】 设计时应考虑各建！筑物的用途对于封装！测试生产厂房则【应根据厂房的投资额！、建筑面积》和职：工人数等确定抗【震设防类别 — 《 5.2.》3  由于》常用：的FFU《风口及高架地板【的尺：寸均为？600mm》的模数为便于—。净化工程的安装【与施工降《低建造成本厂房柱】网宜采？用600mm的模数！ 》 5.2.4、5.！2.5 《 主要考虑》厂房变形缝会对【洁净生产区的气密性！造成影响目前结【构设：。计上都有成》熟的措施及经验避】免在：净化厂？房内设置伸缩—缝 5.！2.6  目—前采用先进封装技】术的工？厂，中使用了步进光【。刻机：等对微振敏感的设】备因此需根》据设备及工艺要【求采取相应的防微振！措施 《