5.2【  结    构】 ？ 5.2】.1  设计—时应考虑各》建筑物？的用途对于封装测试！生产：厂房则应根据厂房】。的投资额、建筑面积！和，职工人数等确定抗】震设：防，类别 5！.2.？3，  ：由，于常用的FFU【风口及高架地板的尺！。。寸均为？600？mm的模数为便【于净化工程的—安，装与施工降低建造】成本厂？房柱网宜采用60】0mm的模数— ， 5.2】.4、5.》2.5  主要考虑！厂房变形缝会对洁净！生产区？的，气密性造成影—响目：前结构设计》上都有成熟的措施】及经：验避：免，在净化厂房内设【置伸缩缝 》 5.2】.6  目前采用先！进封：装技术？的工厂中《使用了步进光刻机等！对微振敏感的设备】因此：需根据设备及工【艺要求？采，取相应的防》微振措？。。施 ？