3 — 工艺设《计
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3.1 【 一般规《定,
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3.—1.1 》。集成电?路封装材料成型之】前的工序《中引线和电路—暴露在?外因此洁净度及【温湿度要求高于【材料成型之后的工】序
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— 通孔《和凸块?工艺:与前工序《工艺类似因此环境】要求参照前工序【工艺确定
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3.1.2 】。纯水:水质的确定是参【照目前?集成电路封装测试厂!。的工:程实践?纯水电阻《率越高导电性越差高!速冲击下越》容,。易产生静电静电【对于芯?片划片?加工:的,危害主要表现在两】方面①静电积累放电!造成:放电:氧化或击《穿等损伤芯片;【②硅屑?等微粒产生静电吸附!造成:。芯片表面不容易清洗!干净:因此可通过CO2】加入纯水可降低【纯水:电阻率防止》清洗降温时》的静:电产生?。和积累烘干后CO2!变成气体《挥发掉?芯片表面保持纯净但!是CO?2过量加入水中【会产:生,酸性腐蚀影响—刀片寿命因此—。必须严格控制CO】2加:入量
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