3》 工艺设计
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3.】1 一般规定
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【3.1?。.1 集》成电路封装材料成型!。。。之,前的工序中》引线和电路暴露【在,外因此洁《净度及?温湿度要求高于【材料成型之后的工序!
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《 :。通孔和?凸块工艺与前工序工!艺类:。似因此?。环境要求参照前工】序工艺确定
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3?.1.2 —纯水水质的确定是】参照目前集》成电路封装测试厂】的工程实践》纯水电?阻率越高《导电性越差高速冲】击下越容易产生静电!静,电对于芯《片划片加工》的,危害主要表现在两】方面①静电积累【放电:造成放?电,氧化或击穿等—损伤芯片;》②硅屑等微粒产生静!电吸附造《成芯片表面》不容易清洗干净因此!可通过?CO2加《入纯水可降低纯【水电阻率防》止清洗降温时—。的,静电产?生和积累烘干后【C,。O2:变成气体挥发掉芯】片表面保持》纯,净但是CO》2过量加入水中会】产生酸性《腐蚀影响《刀,片寿命因此》必须严格控制C【O2加入量
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