《3 工艺设—。计
?
》。
3.1 】一般规定
】。
《3.1.1 集成!电,。路封装材《料成型?之前的工序中—引,线和电路暴露—在外因此洁净—度及温湿度要—。求高:于材料成型之后的】工序
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!通孔和凸《块工艺?与前工序工艺类似因!此环境要求参照【前工序工艺确定【。
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3?.,1.2 纯水水】质的确定是参照【目前集成电路封【装,测试厂的《工程实践纯水电【阻,率越高导电性—越,。差,高速冲击《下越容易产》生静电静电对—。于芯片划《片加工的危害主要】表,现在两方面①—。静,电,积累放电造成放【电氧化或击穿等【损伤芯?。片;②硅屑等微【粒产生静电吸附造成!芯,片表:面不容易《清洗干净因》此可通过CO2【加入纯水可降低纯】水电阻率防止—清洗降温时》的静电产生和积累烘!干后CO2变成气体!挥,发掉芯片表面保持纯!净但是C《O2过量《加,入水中会产生酸性】腐,蚀影响刀片》寿命因此必须严格控!制CO2加入—量
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