3 — 工艺设《计
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3:.1: 一般规定—。
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3.1.】1 集成电路封】装,材料成型之前的工序!。中引线和《电路暴?露在外因此》洁净度及温湿度【要求高于材料成【型之:后的工序
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【 通孔和凸块工艺与!前工序工艺》类似因此环境要【求参照前工序工艺确!定
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3.—1.2 纯水水】质的确定是》参照目前集成电路封!装测试?厂的:工程实践纯水—。电阻:率越高导电性越差】高速:冲击下越容易产【生静电?静电对于芯片划片】加工的危害主—要表现?在两方面①静—电积累放电造成放电!氧化或?击穿等损伤芯—片,。;②硅屑等微粒产】生静电吸附》造成芯片表面不容】易清洗干《净因此可通过CO2!加入纯水可降低纯水!电阻率防止清—洗降温时的静—电产生和积累—烘干后CO》2变:成气体挥发掉芯片表!。面,保持纯净但是CO2!过量加入水中会产】生酸性腐蚀》影响刀片寿命因此必!须严格?。控,制CO2《加入量?。
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