3 工艺!设计
【
3.1 ! 一般规定
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3》.1.1 集成】电路封装材料成型之!前的工序中引—线和电路暴露在外】因此洁净度》及,温湿度要求》高,于材料?成型之后《的工序
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》 通孔和凸块工】艺,与前工序工艺类似因!。此环境要《求参照?前工序工艺》确定
3!.1.?2 纯水水质【的确:定是参照《。目前集成电路封【装测试厂的工程【实践纯水电阻率越】高导电性越差高速】。冲击下越容易产生】静电静电《对于芯片划片加工的!危害主要《表现在?两方:面①静?电,积累:放电:。造成放电氧化或击穿!。等损伤芯《片;②?硅屑等微粒产—生静电吸附》造成芯片《表面不?容易清洗干净因此可!通过:CO2加入纯—水可降?低,纯水:。电阻率防止清洗【降,温时的静电产生【和积累烘干后CO】2变成?气体挥发掉芯—片表面?保持纯?净但是CO2—过,量加入水中会—产生酸性《腐蚀影响刀片寿命】因此必须严格—控制CO2加—入量
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