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3 ? 工艺设计
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3.1】 一般规定
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3.1】.1 集》成电路封装材料成型!之前的工序中引线和!电,路暴露在《外因此洁《净度及?温湿度?要求高于材》料成型之后的—工序
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》 通孔和凸》块工艺?与前工序《工艺:。类似因此环》境要求参照前—工序:工艺确定
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3.1.2【 纯水水质的确】定是参照目》前集成电路封装【测试厂的《工程:。实,践纯水电阻》率,越高导电性》越差高?速冲击下越容易产生!静电静电对于芯片】划片加工的危害主要!表现在?两方面?①静:电积累放电》造成放电氧》化或:击穿等损伤芯片;】②硅屑等微》粒产:生,静电吸附《造成芯片表面—不容易清洗干净因此!。可通过CO2—加入纯水可降低纯水!电阻:率防止清洗降—。温时的静电产生和】积,累烘干后《CO2?。变,成气:体挥:发掉芯片表面保持纯!净但是C《O,2,过量加入水》中会产生酸》性腐蚀影响》刀片寿命因此必须】严格控制CO—2加:。入量
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