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3 工》艺设计
》
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3.1 — 一般规定
!
3.—1.:1 : 生产环境宜符合】。表3.1.》1,的,。要求
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表3【。.,1,.1: 生产《环境需求表》
】。
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3.1.2 【 生:产过程所使用纯【水的电阻《率,应符合下列规定【
! 1: :用于硅片《清洗的纯水电—阻率不宜《低于15M》。Ω·cm《;,
:
《 2 用于!。硅,片划片的纯水电【阻率宜在0.5M】。Ω·cm~1MΩ·!cm范围内》;
! 3 》用于电镀《工艺的纯水电阻率】不宜低于2MΩ·c!m
【3.1.3》 生?产,过程所?使用气体《的品质应符合下【列规定
【
: 1 — 用于通孔、凸块】工序的气体纯度不】宜低于99.—9999%、—露点不?宜低于60》℃,;
【 , , , 2 用于中测】。、,。磨片、划《片、粘片、焊线【、塑封等工》序的气体纯》度宜在99.99】%~9?9.9999%范】围内、?露点宜在《40℃~60℃范围!内
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