？ 3  工》艺设计 》 — 3.1 — 一般规定 ！ 3.—1.：1 ： 生产环境宜符合】。表3.1.》1，的，。要求 ？ 表3【。.，1，.1：  生产《环境需求表》 】。 ？ 3.1.2 【 生：产过程所使用纯【水的电阻《率，应符合下列规定【    ！ 1：  ：用于硅片《清洗的纯水电—阻率不宜《低于15M》。Ω·cm《；， ： 《    2  用于！。硅，片划片的纯水电【阻率宜在0.5M】。Ω·cm～1MΩ·！cm范围内》；   ！  3  》用于电镀《工艺的纯水电阻率】不宜低于2MΩ·c！m 【3.1.3》  生？产，过程所？使用气体《的品质应符合下【列规定 【 ：    1 — 用于通孔、凸块】工序的气体纯度不】宜低于99.—9999％、—露点不？宜低于60》℃，； 【 ， ， ， 2  用于中测】。、，。磨片、划《片、粘片、焊线【、塑封等工》序的气体纯》度宜在99.99】％～9？9.9999％范】围内、？露点宜在《40℃～60℃范围！内 ？