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6 组【。装封装?工艺设?备安装、调》试,及试:运行
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6【.1 《一般规?定
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6.1.1 对!于低温?共烧陶瓷厚》膜基板和薄》膜基板来《说,组装工艺基本相【同包括芯片贴—装,。、,互连工?艺、金属外壳封装】工艺等其中芯片贴】。装有树脂粘接和合金!焊接;互连工艺主】要有引?线键合与倒装焊;】金属外壳封装工艺主!要有储能《焊、平行缝焊及激】光焊本章根据主【要组装封装》工艺同时结》合目前组《装封装?工艺和设备的主【流发展趋势》列出了芯《。片粘片机、》芯片共晶《焊机:、共晶炉、》。。。引线键合机、倒装焊!机,、等:离子清洗机、选择】性涂覆机、平行缝焊!机、储能焊机、【激光焊机等10种主!要工艺设备对各设备!的安装及《试运行要求作出【具,体规定?
6.】1.2? 本章中》所列的芯《片共晶?焊,机和共晶炉》虽然都是基于共晶焊!的原理都属于共晶焊!设备但由于二者的结!构、共晶焊的过程】。和,方法适用的产品【范围大不相同因此将!二者分开进》行规定
! 本》章中:。所列的引线键合机的!相关要求可适用于】球焊和楔《焊两类键合设备【
— 本》章中所列的等离子】。清洗机并不只—是针对微组装—工艺还可适用于液晶!显示器制造》等工艺中的》清,洗过程
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