？ 5.9《  化学机》械抛光机《 ？ 5.【9.1  本条【规定了化学机—械抛光机的安装【要求 ？ 》    《1  为保证抛光】的厚度均匀性及【抛光机旋《转部件的稳定性抛】。。光台应保持水平 】 ，