5.9  ！。化学：机械抛光《机 ：。。 【5.9.1  【本，条，规定了化学机械【抛光机的《安装：要求 【     1 【。 为保证抛光—的，厚度均匀性及抛光机！。旋转部件的稳定【。。性，抛，光台应保持》。水平 《