？ 5：。.9  化》学机械抛光机 】 ， 5.9.！1  本条规定【了化学？机械抛光《机，的安：装要求？ ， ，    【 ，1，。  为？保证抛光的厚度均】。匀性：及抛光机旋》转部件？的稳定性抛光台应】保持水平 —