5》.9  化学—机械抛光机 【 ： ？ 5.9.1— ， 本条规定了化【学机：械抛光机的安装【要求 【     1 【 为保证抛光的厚度！均匀性及抛光—机旋转部件的稳【定性抛？。光台应保持水—平 ？