？ 5.9《  化学机械—抛光机 《 5】.9.1  本条】规定了化学》机械抛光机的安【装要求 ！    1  为保！证抛光的厚》。度均匀性及抛光【。机，旋转部件的稳定性】抛光台？应保持水平 —。 ，