， 5.9  】化学机械《抛光机 ！。 5.9.1 】 本条规定》了化学机《械抛光机的安装【。要求 ？    】 1  为保证抛光！的厚度均匀性及抛光！机旋转部件的—稳定性抛光台应保】持水平 》