： ，。 5.8  反应】离，子刻蚀机 》 》 5.8.1【  本？条规定了反应离【子刻蚀机《的安装要《求 ？。 《  ：  1  为—保证：。刻，蚀，均匀性设备应安【装在平整的》地面：上承片台保》持水平； 》。 ， ，     【2  一般排—。风指机械《泵泵：油的抽排酸碱排风指！刻蚀腔室有毒气体】和生成物的排放； ！。 》。  ：  3  设—备具有？高压电有《一定的危险性—安装时？需要装？配一：条可：靠，的接地线同时安装好！专用的设备总电源空！气开关； —。 ：   《  7  》使用危险气体在安】装危：险气体泄漏》报警装置的》同时还？应提供危险》气体泄漏应急—处，理预案 《。 ， ， 5.8—.2 ？ 本条规定了—反应离子刻蚀机【。的调试及试运行要】求 》   《 ， 1  做》掩模：窗，口的目的是为了【把不需要刻蚀的地方！保护起来； ！     6【  设备具备光【学发射？光谱法？终点检测系统能够在！反应离子刻》蚀过程？。中判断刻蚀终点【。 ：