5.8  ！。反，应离子刻蚀》机 ！5.8.1 — 本条？规定了反应离子刻】。。蚀，机的安装要求 ！ ，     1【  为？保证刻蚀均匀—。性设备应安装在【。平整的地面上—承片台？保持水平；》 — ，。   ？2  一《般，排风：指机械？泵泵油的抽排酸碱】排，风指刻蚀腔室有毒】气，体，和生成物的排放【； 《     3】  设？备具：有高压电《有一定的危险性安装！时需要装配》一条可？。靠，的接地线同时—安装好专用的设【备总电源空》气开关； —    【 7  使》用危险气体》在安装危险气—体泄漏报警装置的同！时还应？提供危？。险气体泄《漏应急处理》预案： ： 5》.8.2  —本，条规定了反应离子刻！。。蚀机的调试》及试运行要》求， ， 《     1  】做，掩模窗口《。的目的？。是为了把不需要刻】蚀的地方保护起【来； —    》 6  设备—具备光学发》射光谱？法终点检测系—统，能够：在反应离子刻蚀【过程中？判断刻？蚀终点？ ：