5》.8  反应—离子刻蚀机 【 ： ： 5.8.1  ！。。本条规？定了反应《离子刻？蚀机的安《装要求 —     1】  为？保证刻蚀均匀性设备！应安装在平整的地】。面，上承片台保持水平】； 【    2  一般！排风指？机械泵？泵油的抽《排酸碱排风指刻蚀腔！室有毒气体和生【成物的排《放； 】 ，   ？3  设备具—有高：压电有一定的危险性！安装时需要》。装配一条可靠的接】地线同？时安装好《。。专用的设备总电【源空气开关； ！     7】  使？用，危险气体在安装【危险气？体泄漏报警装置的】同时还应《提供危？。险气体？泄漏应急处理—预，案 》 5？.8.？2  本条规定【了反应？离子：刻蚀机的调试—及，试，。运行要求 — ，    — 1：  ：。做掩模窗《口的目的是》为，了把不需要刻蚀的】。。地方保护《。起来：； ： ？    》 6  《设备具备光学发【射光：谱法终？点检测系统》能够在反应离子刻】。蚀过程中判断—刻蚀终点《 ：