5.—8  反《。应离子刻蚀机 】 ： 5.—8.1  本条规】定了反应离》子刻蚀机的安装要求！  【 ，  1 《 为保？证刻：蚀均匀性设备应安】装，在，平整的地面上承片台！保持水平； — ：     2 ！ 一般排风指—机械泵泵油的—抽排酸碱《排风指刻蚀》腔室有毒气体和生成！物，的排放； 】 ：    《3  设备》具有高压《电有一定的危险性安！装时需要装配一条】可靠的？接地线同《时安装好《专用的设备》总电：源，空气开关； — ， ？     》7  ？使用危险气》体在安装危险气体】。泄，漏报警装置的同【时还：应提供危险》气体泄漏应》急处理？预案： 5.8！.2  本条规【定了反应离》子刻：蚀机：的调试及试》运行要求 ！   ？  1  》做掩：模窗口的目的—是为了把不》需要刻蚀《的地方保护起来； ！ 《     6 【 设备具备光—学发射光谱法—终点检测《系统能够在反—应离子刻蚀过程中】判断：刻，蚀，终点 《