5.8【  反应离》子刻蚀机 【 ？ 5？.8.1  本条规！定了反应离子刻【蚀机的安装》要求 》 ，     1  ！为保证刻蚀》均匀性设备应—安装在平《整的地面上承—片台保持水平—； 【   ？ ，。2  一《般排风指机械—泵泵油的抽排酸【碱排风？指刻蚀腔室有毒气】体，和生成？物的排放； ！ ：    3  设】备具有高压电—有一：定的：危险性安装时—需要装？配一条可靠的接【地线同时安装—。好专用的设备总电】源空气？开关； 】  ：。   7  —使用危险气体—。在安装危险气体【。泄漏：报警装置的》同，时还应提《供危险气《体泄漏应急处理预】案 5.！8，.2  本条规定】了反应离《子刻蚀机的》调试：及试运行要求—   】  1？  做掩模窗—口的目的是》为了把不需要刻【蚀的：地方保护起来； ！ ，     6】  设备具备光学发！射光谱法终点检【测系统能《够在反应离子刻【蚀过：程中：判断刻蚀终点—。 ：