5.—8  反应离子刻蚀！机， 》 5《。。.8.1《  本条规定了反应！离子刻蚀机》的安装要求 【   — ， 1 ？ 为保证刻蚀均匀性！设备应？安装在平《整的地面上承片台保！持水平； —     】2  一般排风指机！。械泵泵油的抽—排酸碱排风指刻蚀腔！室有毒气体》和生成物的排—放； 】 ， ，  3  设—备具有高《压电有一定的危险性！安装时需要装—配一条可靠的接地】线同时？安装好专用的设【备总电源空》气，开关； 《 ？     7 】 使：用危险气体在安装危！险，气体泄漏报警—。装置：的同时还应》提供危险气》体，泄漏应？急处：理预案 ！5.8.2》  本？条规定了反应—离子：刻蚀：。机的调试及试运行】要求：   】  1？  做？。掩模窗口的目的【。是为了？。把不：需要刻蚀的地方【保护：起来； 《 ？。     6【。  设备《具备光？学发射光谱》法终点检《测系：统能够在反应—离子刻蚀过程中判断！刻蚀：终点： ：