5.8  ！反应离子刻蚀机 】。 《 5.8—.1 ？ 本条规定了反应离！子刻蚀机的安—装要求 —。  《   1  为保】证刻蚀均匀性设【备，应安装在平整的【地面上承片台—保，持水：平； ？ 》    2》 ， 一般排风指—机械泵泵油的—抽排酸碱排风指【刻蚀腔室有》毒，气体和生成物的排】放； 】   ？ 3  设备—具有高压电》有，一定的危《险性安装时》需要装配一条可【靠的接地线同时【安装好专用的设备】。。总电源空气开关【。； 【    《7  使《用危险气体在安装危！险气：体泄漏报警装置的同！时还应？提供危险气体—泄漏应急处》理预案 【 ：。。5.8.2  本】条，规定了？反应离子刻蚀机【的，调，试，及试运行要求 】 ：  ？   1  做掩】模窗口的目的—是为了？把不需要刻》。蚀的地方保护起来；！ ： ， ？    6  【设备具备《光学发？射光：谱法：终点检测系统能【够在：反应：离子刻蚀《过，程中判断刻蚀终点】 ：