， 5.》7  显 》 影  台 【 5.】7.1  显影【台，属于大型《。精密微组《装设备体积》大、质量重室内搬】运就位应使用载量】足够的叉车、—。搬，运，气，垫等机械设施不得】仅依靠？人力：。。以，。免造成人身或设备损！伤 ？。。   —。  ：1  搬运》。时防撞防《抖，不能直？接拖动以防止部【件，损坏 【  ：   2  为保】证显影的《均匀：性安：装时真空吸盘—应呈水平状》态   ！  3  由专业人！员，为显：影／清洗腔安装排风！系统：防止：操作：。时显影液对》人体的？伤害和对净房气【氛的影响 ！   ？。  5 《 设备工《作时产？生的：大量：工艺污水需及时进】行排：放工艺污水可能带有！腐蚀性为避免污水】对周围？环境造成污染或是对！。操，作人员造《成伤害设备》必须接好通向废液】处理池的管道并将设！备的排？液管路？可靠地？接，入废液管道本款为】强制性？条，。款设备？安装人员必须严【格执行？ —    6  为避！。免造：成污染？和，设备损？。伤储液罐及喷溅系】统安装好后不应漏液！ ？ 5.7.【2  本条规定【。了显影？台的调试及试运行】要求  ！ ， ， 2  对于负胶】显影显影液》、漂洗液应以—均匀雾状《喷洒到？基片上对于》。正胶显影显影液、漂！洗液应以喷淋—。方式：喷洒：到基片上； ！。     7  ！设备：机械手自动运行时】不得手？动在片盒中取片【或放片否则会造【成基片和机械手损坏！。 ：