安全验证
: 5.7 — 显  影》  台 ! 5?.7:.1  《显影台属于大型【精密微组装设—备体积大、质量重】室,内搬运就《位,。应使用载量足够的叉!车、搬运气垫等【机,械,设施不得《仅依靠人力以免造成!人身或设备损伤 】   【  1  搬—运时防撞防抖—。不能直?接拖:动以防止部》。件损坏 !。    2  为】保证显?影的均匀性安装【时真空吸盘应—。呈水平状态 】     【3  由专业人【员为显影/清洗【腔安装排风系统【防止操作时显影【液对人体的伤—害和:对净房气氛的—影响 》 , :。   ? 5  设备工【作时产生的大量工】艺污水需及时—进行排放工》艺污水可能带有腐】蚀性为避免》污水对周围环境造成!污染或是对操作人】员造成伤害设备必须!。接好通向废液处理池!的管道并将设备的排!液管路可靠地—接入废液管道本【款为强制性条款设】备安装?。人员必须《严格执行《   】  6  为避免】造成污染《和设备损《伤储液罐及喷—溅系:。统,安装好?后不应漏液 ! 5.7》.2:。  本条《规定了显影台—的,调试:及,试运行要求 】     2】。。  对于负胶显影显!影液、漂洗液应以】均匀雾状喷洒—到基片上对于正【胶显影显影液、漂】。洗液应以喷淋方式】喷洒到基《片上;? 《     7【  设备机械手自】动,运行时不《得手动?在片盒?中取片或放片否则会!造成基?片和机械手损坏 】 ,