安全验证
5.7【  :显  影  台 ! 》 5.7.1— , ,显影:台属于大型精密微】组装设备体积大、】质量重室《内搬运就位应使用】载量足够的叉车【、搬运气《垫等机械设施不【得仅依靠人力以【免造成人身或设备】损伤:。 》    《 ,1  搬运时防撞】防,抖不能?直,接拖动以防止部件】损坏 ?。 ?。     2 】 ,为保证显影的均匀】性安装时真空吸盘应!呈,水平状态《  【   3《  :由,专业人员《为显影/清洗—腔安装排风系统【防止操作时显影液】对人体的《伤害和对净房气氛的!影响 】   ? 5  设备工作时!产生的大量工—。艺污水?需及时进行排放工】艺污水可能》带有腐蚀性》为避免污《水对周围环境造【成污:染或是对《操作:人员造成伤害设备】必,须接好通《向废液处理池的管】道并将设备的—排液管路可靠地【接入废液管道本款为!强制性条款》设备安装人》员必须?严,格执行 】     6  】为避免?造成污染和设备损伤!储液罐及《喷,溅系统?安装好后不应漏液】 :。 5.7.2! , 本条规定了显【影台的调试及试运行!要求 《 :  ?   ?2  对于负—胶显影显影液—、漂洗液《应以均匀雾状喷洒到!基片上对于正胶显影!显影液?、漂洗?液,应以喷淋方式喷洒】到,基片上; 【。 ?    7  【设备机械手自—动运行时《不,得手动在《片盒中取片》或放片否则》会,造成基?片和机械《手损坏? :