， 5.7  】显  影《  台 ！ ：5.7？.1：  显影《台属于大型精密【。微组：装设备体《积大、质《量重室内搬运—就位：应使用载《量足够的叉车—、，搬运气垫《等机：。。械设：施，不得仅？依，靠人力以《免造成人身或设【。备损伤 》     】1 ： 搬运时防》。撞防抖？不能直接拖动—以防止部件损坏 ！  》   2  为保证！显影的均匀性安【。装时真空吸盘应呈】水平状态 【 ？。  ：  ：3  由专业人员】为显影／清洗—。腔，安装排？风系统防《止操：作时显影《。液对人体的伤—害和：对净房气氛的—。影响 】    5》  设备《工作：时，产生的大量工艺污水！需及时进行排放工艺！污水可能《带有：腐蚀性为避》免污水对《周，围环：境造成污染或—是对：操，作人员？造成伤害设备必须】接，好，通向废液处理池的管！道并将设备的—排，。液管路可《靠地接入《废液管道本款为强】制性：条款设备安》装人：。员必须严格执行【    ！ 6  为避免造】成污染和设备损伤】储液罐及喷》溅系统安《装好后不《应，漏，液 ： 5.【7.2  》。本条规定了显—影台的调试及试运行！要，求 【。  ：  2  对于【负胶显影显影液、】漂，洗液应以《。均匀：雾状喷洒《到基片？上对于正胶显影显】影液、漂洗液应【以，喷淋方式喷洒—到基片上； 】。   》  7  设—备，机械手？自动运行时不得【手动在片盒中取【片或放片否则会【造成基片和机械手】损坏 《