。 ， 5.7—  显  》影，  台 ！ 5？.7.1  —显影台属于大型精密！微组装设备体积大】、，质量重室内搬—运就位应使用—载，量足够的叉》车、搬运气垫—等机械设施不得【仅依靠人《力以免？造成人身或》设备损伤 【 ，。。     1  ！搬运时防撞防抖不】能直：接拖动以防止部件损！坏， 》    《 2  为保证【显影的均匀性安【装时真空吸盘—应呈水平状态 【 》   ？ ，3  由专业人员】为显影／清洗腔【安装：。排风系统防止—操，作时：显影液对人体的伤害！和对：净房气？氛，的影响 ！    《。5  ？设备工作时产生【的，大量工艺污水需及】时，进行排放工艺—污水可能带》有腐：蚀性为避免污—水对周？围环境造成》污染或是《对操作人《员造成？伤害设备必须接好】通向废液处理池的管！道并将？设备的排液管路可靠！地接入？废液管道本》款为强制性条—款设备安装人—员必：须严格执行 — 》    6  为】避免造成污染和设】。备损伤储液》罐及喷溅系统安装】好后不应漏液 【 ，。 《5.7.《。2  本条》规定了显影台的调试！及试运行《要求 【     2—  对于负》胶，显影显影液、漂洗】液应以均匀》雾状：喷洒到基片上对【于正胶显影显影液】。、漂洗？。液，应以喷淋方式—喷洒到基片上； 】 《     7—  设备《机械手自《动运行？时不：得手动在片盒中取】片或放片《否则会造成基—片和机械手损坏【 ：