5.7【 :显 影 台
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5.7.1— , ,显影:台属于大型精密微】组装设备体积大、】质量重室《内搬运就位应使用】载量足够的叉车【、搬运气《垫等机械设施不【得仅依靠人力以【免造成人身或设备】损伤:。
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《 ,1 搬运时防撞】防,抖不能?直,接拖动以防止部件】损坏
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2 】 ,为保证显影的均匀】性安装时真空吸盘应!呈,水平状态《
【 3《 :由,专业人员《为显影/清洗—腔安装排风系统【防止操作时显影液】对人体的《伤害和对净房气氛的!影响
】 ? 5 设备工作时!产生的大量工—。艺污水?需及时进行排放工】艺污水可能》带有腐蚀性》为避免污《水对周围环境造【成污:染或是对《操作:人员造成伤害设备】必,须接好通《向废液处理池的管】道并将设备的—排液管路可靠地【接入废液管道本款为!强制性条款》设备安装人》员必须?严,格执行
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6 】为避免?造成污染和设备损伤!储液罐及《喷,溅系统?安装好后不应漏液】
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5.7.2! , 本条规定了显【影台的调试及试运行!要求
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? ?2 对于负—胶显影显影液—、漂洗液《应以均匀雾状喷洒到!基片上对于正胶显影!显影液?、漂洗?液,应以喷淋方式喷洒】到,基片上;
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? 7 【设备机械手自—动运行时《不,得手动在《片盒中取片》或放片否则》会,造成基?片和机械《手损坏?
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