5.7  ！显  影  —台 ： ？ 5.7.】1  显影台属于大！。。型精密微组装—设，备体：积大、质《量重室？内搬运就位应—使用载量足够的【叉车、搬运气垫等机！械设施不得仅依靠】人力以免造成人身】。或设备损伤 — ？     1  ！搬运时防撞防—抖不能直《。接拖动以防止—部件损坏 ！     2  为！保证显影的均匀【性安装时真空吸盘】应呈水平状态 【 ， ，  《   ？。3  由专》业人：员为显影／》清洗腔？安装排风系统防止操！作时：显影液对人体的【伤害和对净房气氛的！影响 】    5  设备！工作时产生的大量】。工艺污水需及时进行！排放工艺污水可【能带有腐蚀性为避免！污水对？周围环境造成—污染或是对操作【人员造成伤害设备】必须接好通向废液处！理池的管道并将设备！的排液管路可靠地】接入：废，液管道本款为强制性！条，款设备？安装人员必须严【格执行？ ， ：     6 ！ 为避？免造成污染和设【备损伤储《液罐及喷溅系—统安装？好后不应漏液— —。5，.7.2  本【条规定了显》影，台的调试及试运行】要求  ！。   2  对于负！胶显影显影液、漂洗！液应以均《匀雾状喷洒》到基片上《对于正胶显影—显影液？、，漂洗液应以喷—淋方式喷洒到基片上！； ？ ？     7  】设备机械手自动运】行时不得手动在片盒！中取片或放》片否则会造成基【片和机械手损—坏 ？