5》。。.6  曝》 光 机 【 ： 5.》6，.1：  本条规定了曝光！机的安装《要求 】    1  【设备搬运时下面应垫！上软垫以防止抖【动造成玻璃》光学系统损坏和【。位置偏移； ！。 ：   ？ 2：  为保证光刻【时光刻强度有较高的！均匀性且光刻—版和基片紧密—接触无任何缝隙设备！安装时承片台—应水平； —。 ：。     —3  激光光—路及曝光光》源必须装有防护【门、罩等保》护装置以免对操作】人员的眼睛和皮肤造！。成损害本款为强制】性条款设备》操作人员必须—严，格执行 》