： 5.6  【曝 光？ 机 】 5？.6.1 》 ，本条规定了曝光机】的安装要求 —。 《     1  】设备：搬运时下《面应垫上软垫—以防：止抖动？造成玻？璃光：学系统损《坏和位？置偏：移； ？    】 2  为保证【光，刻时光刻《强度有较高的均匀性！且光刻版和基—。片紧密接《触无：。任何缝隙设备安装】时承片？台应水平《； 《  《   ？3  激光》光路及曝光光—。源，必须：装有防护门、罩等保！护装置以免对—操作人？员的眼？睛和皮肤造成损【害本款为强制—性条款设备操作人】员必须严《格执行 》