。 5.6  ！曝 光？ 机 【 5《.，6.1  本条规】定了曝光机的—安装要求《 》。     1 【。。 设备搬运》时下面应垫上—软垫以防《止抖动造成玻璃光】学系统损坏和位【置偏移？。； 【    2 — ，为保证光刻时光刻】强度有较高的—均匀：性，且光刻版和基片【紧密接？触无任？何缝：隙设备？安装时承片台—应水平； —     3！  激光光路及【曝光：。光源必须装有防护门！、罩：等保：护装置以免》对操作人员的眼睛和！。皮肤：造成损害本款为强】制性条款设备—操作人员必须—严格执行 》 ，