5》.6  曝 光 】机 】。 5.6.1  】本条规？定了曝光《机的：安装：要求 【     1  】设备搬运时下面应】垫上软垫以》防止抖动造成玻璃光！学系统损坏和位【置偏：移，；， ，   【  2  为保【证光刻时光刻强度有！较高的均《匀性且光刻》版和基片紧》密接触无任何缝隙】设，备，安装：时承片台应》水平； 【 ：   ？ 3 ？ ，激，光光路及曝光光源必！须装有防护门—、罩等保护》。装置以免对操作人】员的眼睛和皮肤造】成损害本《款，为强制性条》款设备操作》人员必须《严，格执行 》