5.6 】 曝 光 》机 《 5—.6.1  本条规！定了曝？光机的安装要求【 ？     【1  设备搬运时】下面应垫上软—。垫以防止抖动造成玻！璃光学系统损坏和】位置偏移； 】 ：     2  为！保证光？刻时光刻强度有【较高的均匀》性且光刻版》和基：片紧密接触无任【何缝：隙设备？安装时承片》台应水？平； 《  》   ？3  激光光—路及曝光光》源，必须：装有防护门、—罩等：保护装置以免对操作！人员的眼睛和皮肤】造，成损害本款为—强制性条款设备【操作：人员必？须严：格执行 》