5.6 】 曝： 光 机 》 》 5？.6.1  本条规！定，了曝光？机的安？装要求 【     1 】。 设备搬运时下面应！垫上软垫以防止【抖动造成玻璃—光学：系统损坏和位—置偏移？；， ， ？ ，     》2  为保证光【刻时光刻强度有较高！的均匀性且光刻版和！基片紧？。密接：触，无任何缝隙设备安装！。时承片台《应，水平； 】     3  】激光光路及》曝光：光源必？须装有防护》门、罩等保护装置以！免，对操作？人员的眼睛和皮肤】造成损？害本款为强制性条款！。设备操？作人：员必须？严格：执行： ：