《5.：6，  曝 光》 机 】 5.6》.1  本条规定】了曝光机的》安装要求 ！     1 【 设备搬运时下面】。应垫上软垫以防【止抖动造成》玻璃：光学：系统损坏《和位置偏移；—  【   2《  为保证》光刻时光刻强—度有较高的》均匀性且光刻—版和基片《紧密接触无任何缝】隙设备安装》时承：片台：应水平； 》。 ： ：     》。3 ： 激光？光路及？曝光：光源必？须，装有防护门、罩【等保护？装置以免对》操作人员的》眼，睛和皮肤造》成，。。损害本款为》强制性条款设备操作！人员：必，须严格执行 — ，