5.5  ！。旋涂及热板系统 ！ ： 5.5.1！  ：本，条规定了旋涂及【热，。板系统的安》装要求 —     1】  设备的水平直接！影响到高速旋盘【能，否稳定运转以—及涂胶的厚度均匀性！因此匀胶承片台的水！平，至关：。重要； ！    《3  为阻止胶液】飞溅到设备外高【。速旋盘上方应安【装，可靠的防护罩—；，。 》    《 6：  设备应》具有断电保护装置】防止因失电造成基片！飞出等？故障 《