， 5《.5  旋涂及热】板系统 》 —5.5？。.1 ？。 ，。本条规定了》旋涂及热板系统的】安装要求 》 ， ，  《   1《  设备《的水平直接影响到】高速旋盘《能，否稳定运转以及【涂胶的厚度》。均匀：性因此匀胶承片【台的水平至关重要；！    ！ ，3 ： 为阻止《胶液飞溅到》设备外高速旋盘上方！。应，安装可靠的防护【。罩； 】 ，   6  —设，备应具有断电保【护装置防止因失【电造成基《片飞出等故障— ：