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? 5.?5 : 旋:。涂,及热板系统 ! 5》.5:.1 本条规定】了旋:。。涂及热?板系统的安装要求 ! , , 【1 设备的水【平,直接影响到高—速旋盘?能,否稳定运转》以及涂胶的厚度【均匀性因此匀胶【承片台的水平至【。关重要; ! 3— 为阻《止胶液飞溅到设【备外高速旋盘上方】应安装可《靠的防护罩; 【 《 , 6 — 设备应具有断电】保护装置防止—因失电造成基—片飞出等故》障 : ,