5.5 】 旋涂及热板系统 ！ 5.！5.1  本条规】定了旋涂及热板系统！的安装要求》   】  1  设备【的水平直接影响到高！。。速旋盘能否稳定【运转以及涂胶的厚度！。均匀：性因此匀胶承—片台的水平》至关重？要；： —    3  为】阻止：胶液飞溅到设备外高！速旋：盘上方应安装—可靠的防护罩—； 《 ，    》 6：  设备应具—有断电保《护装：置防止？因失电造成》基片飞出等故障 】 ，