， 5.5 【 旋涂及热板系【统 】 5.？5，.1 ？ 本条规定了—旋涂及热《板系统的安装要【求 》 ，     1 【。 设备的水平直接】影响到高速旋盘【能，否稳定运转以及【涂胶的厚度》。。均匀性因《此，匀胶承片台》的水平至《关重要；《   】  ：3，  为阻止》胶液飞溅到设—备外高速旋盘上方】应安装可《靠的防护罩； 【     ！6  设备应具【有断电保护装置【。防止：因失电造成》基片飞出等》故，障 ？