5.5  ！。旋涂：及热板系统 — — 5.5《.1  本》。条规定？了旋涂及热》。板系统的安》装要求 【     1【  设备的水—平直接影《响到高？速，旋盘能否稳定运转】以及涂胶的》厚度均匀性因此匀胶！承片台？的水平至关重要；】 《   《  3？  ：为阻止胶液飞溅到设！备外高速《旋盘：上方应？安装：可，靠的防护罩》； ： 》  ：  6  设—备，。应具有断电》保护装置防止因失电！造，成基片飞出等故障 ！ ，