。。 5.5 】 旋涂及热》板系统 【 《5.5.1 —。 本：条规定了旋》涂及热板系统的【安装要？求 》     1 】 设备？的水平直《接影响到高速旋盘能！否稳定运转以及涂】胶的厚度均匀—性因此匀胶承—片台的水平》至关重？要，； 《  《。。   3《  为阻止胶液飞溅！到设：备外：高速旋盘上方应【安装可靠的防护罩】； ：   【  6  》设，备应具有断电—保护装置防止因【失，电造成？基片飞出等故障【。 ：