。 ？ 5.4  化学气！相淀积系统 】 ， 5》.4.1  —本条：。规，定了：化学：。气相淀积系》统的安？装要求 —   》  1  目前主】流的化学气相淀积技！术，有常压化学气相淀积！。、低压化《学气相淀《积、等离子体增强化！。学气相淀积》、金属氧化物—化学气相淀积等【不同的淀积技术【对工艺气体的组【分要求有所不—同 —     3—  由于化学气相淀！。积系统工艺要—使用到S《iH4、PH4【、S：F6、CH4、C】。F6等易燃、易爆或！对人体有毒的—危险：性气：体，为保证设备》使用安全和人身安全！。安装时应同》时安装？。危险气体泄漏报警装！置，本款为强制性条款设！备安装人员必须严格！执行 》     5】。。  为了保证操作时！的安全机《壳应：良好接地《 》 5.4.》2  本《条规定了化学—气相淀？。。积，系统的调试及—试运：行要求 ！ ，   2  应尽】量延：长真空泵的抽—气时间以便尽可能地！抽除炉体内的残余气！体； 【     8 【 ，不同的？膜种类如多晶—硅、氧化硅、氮【化硅等其《。片，。内、片间、》批间的均匀性—、淀：积速率有所不同 】 ，