5》.，4  化学气相淀积！系统 《 —5.4.1》  本条规定了【化学气相淀积系统】的安装要求 ！ ：    1  【目前主流的化—学气相淀积技术【有常压化学气—相淀积、低压化学气！相淀积、《等离子体增强化【学气相淀积》、金属氧化物化【学气相？淀，积等不同的淀积【技术对工艺气体的】组分要？求有所不《同 《  《  ： 3：  由于《化学气相淀积—系统工艺要使用【到SiH4》、P：H4、SF6、【CH4、CF—6等易燃、易爆或】对人体有毒》。的危险性气体为保】。。证设备使用安全和人！身，安全安装时应同【。时安装危险气体泄漏！报警装置《本款为强制》。性条款设备安装人】员必须严《格执行 【 ，  ：   5  为【了保：证操作时的安—全机壳应良好接地 ！ ， ， 5《.4.2  —本条规定了》化学气相淀积—系统的调试及试运行！要，求 《     2】  ：应尽量延长真—空泵：的抽气时《间以便尽可能地抽】除炉体？内，的残余气体； 】    【 8  不》同的膜种《类如多晶硅》。、氧化硅、氮化【硅，等其片内、片—间，。、批间？。。的均匀？性，、淀积速率有—所不同 》