， ？。5.4 《 化学？气相淀积系统— 】5.4.1  本】条规定了化》学气相淀积系—统的安装要求 ！ ？    《1  目前主—流的化学气》相淀积技术有常压化！学气相淀积、低压化！学气相淀积、等【离子体增强化学气】相淀积、金属氧【化，物，化学：气相淀积等不同的淀！。积技：术对工艺气体的组分！要求有所不》同 —  ：   3 》 由于化学气相淀】积系统工艺要使用到！SiH4、PH4、！SF6？、C：H4：、C：F6：。等易燃、易爆或对】人体有毒的危险性气！体为：保证设备使用安【全和：人身安全安装—时应同时《安装危险气》。体，泄漏报警装置本【款为强制性条款设备！安装人员必须严格】执行 《     5！  为了保证操作时！。。的安全？机，壳应良好接地 【 ？ ：5.：4，.，2  本《条规定了化》学气相？淀积：系统的调试及试【运行要求 — 《    2  应】尽量延长真空泵的】抽，气时间以便尽可能】地抽除炉体》内的残余气体；【 《     8【  不？同的膜种《类如多晶硅》、氧化硅《、氮化硅等其—片内、片间、批间的！均匀性、《。淀积速？率有：所，不同 《