5.4 】 化学气相淀积系】统 ： 【5.：。4.1  》本，条规定？。了化学气相淀积系】统的安？装要求 【  ？   1  目前主！流，。的化学气相淀积技】。术有常压化学气相】淀积、低压化学气】相淀积、等离子体增！强化学气相淀积、】金属氧？。化物化学气相—淀积等不同的淀积技！术对工？艺气体的《组分要求有所不【同  】   ？。3  ？由于化学气》相淀积系统》工艺要使用到S【iH4、PH4、】SF6、C》。。H4、CF6—等，易，燃、易爆或对人体有！毒的危？。。险性气体为保证设备！使用安全和人身安全！安装时应同时—安装危险《气体：泄，漏报警装置本款【为强制性条款设备安！。装人员必须严格执】行 —     5—。 ， 为了保证操作【时的安全机壳—应良：好接地 》 ： 5？.4.2  本【条规定了《化学气相《淀，积系统？。的调试及试运行要】求 ：   【  2  应尽【量延长真《空泵的抽气时间【以便尽可能地—抽除炉体内的残余气！体； ？ 》。    《8，  不同的膜种类】如多晶硅、氧—化硅、氮化硅—等其片内、》片间、批间的均匀】性，、淀积速率有所不同！ ：