5》。.4  化》学气相淀积系统【 ？ 《 5.4.》1  ？本条规定了》化学气相淀积系【。。统的安装要》求  】   1  目前】主，流，的化学？气相淀积技术有常压！化学气相淀》积、低压化学气【相淀积、《等离子体《增，强化学气相》淀积、金属氧化物】化学气相《淀积等不《同的淀积技术对工艺！气体的组分要求有所！不同  ！   3  —由于：化学：气相淀？积系统工艺要使用到！SiH4、PH4】、SF6、》CH：4、CF《6等易燃、易爆或对！人体有毒的危险【性气：体为保证《设，备使用安《全和人身安全安装】时应同？时安装危险气—体泄漏报警装置【。本，款为强制性条款【设备安？装人员必须》严，格执行 》 ？ ，    《5  为了保证操作！时，的安全？机壳应良好接—地 【5.4.《2  本条规定【了化学？气相淀积《系统的调试及试运】行要：求 》 ，    《 2  应》。尽，。。。。。量延长真空泵的抽】气时：间以便尽可能地抽】除炉体内的残余气】体； 】    8  不同！的膜种类如多晶【硅、：氧化硅、《氮化硅等其》片内、？片间、批间的均匀】性、淀积《速率有所不同 】