5.3  ！真空蒸发镀膜机【 5！.3.2  本条规！定了真空蒸发镀膜机！的调试及试运行要】求 — ，    6  应尽！量延长真《空泵的抽气时间以便！尽可能地抽》除镀膜室内的—残余气体 — ，   》  9、《10： ， 真空蒸发》镀膜：机按蒸？发加热方式可—分为电阻加热、电子！束加热、电》阻和电子《束加热、感应—加热、激光加热【等电：子束蒸发是》。目，前的：主流技术近年来随】着技术的发展—。出现了离《子束辅助蒸发技术这！两款是针对电—子束蒸？发镀：膜设：备来进行规定的 ！