5.3  ！真空蒸？发镀：膜机 ？ ？ ： 5.3》.2  本》条规定了真空蒸发镀！膜机的调试及试运】行要求 —   》 ， 6  应尽量延】长真空？泵的抽气时间以便】尽可能地抽》除镀膜室内的残余】气体 ？ ，     】9、10  —真空蒸发《镀膜机按蒸》发，。加热方式可分为【电，阻加热、电子束加】热，、电阻？和电子束加》热、：感应加？热、激光《加热等电子束蒸【发是目前的主流技】术近年来随着—技术的发展》出现了离子束辅【。助蒸发技《术这两款是针对电】子束蒸？发镀膜设《备来进行规定—的 ？