5.3【  真空《蒸发镀膜《机 ： ： 5.3】.2  《本条规定了真—空蒸发镀膜机—。的调：试，及试运？行要求？ —    6  【应尽量？延长：真空泵的抽气时【间以便尽可能地抽】除镀：膜室：内，的残余气体》 ，  —   9、10  ！真空蒸发《镀膜机按蒸发加热方！式可：分为电阻加热、【电子束加热、—电阻和电子束加【热、感应加热—、激光加《热等电子束》蒸发是目《前，的主：流技术近年》来随着？技术的发展出现了离！子束辅助蒸发技【术这两款是针—对电子束蒸发镀膜设！备来进行规》定的 《