： ：。5.：3 ： 真空蒸《发镀膜机 ！ 5.3.2】  本条规定了真】空蒸发镀膜机的调】试及试运行要求 】     ！6  应《尽量延长真空泵【的抽气时间以便【尽可：能地抽除镀膜室【内的残余气体 【  — ，  9、《10：  真？空蒸发镀膜机按蒸发！加热方式可分为【电阻加热、电子【束加热、电阻和电】子束：加热、感应加热、激！光加热等电子—束蒸发是目前的【主流技术近年来【随着技术的》发展出？。现了离？子束辅助蒸发技术这！两款是针对电—子束蒸发镀膜设【。备来进？。行规：定的 《