， 5《.3：  真空蒸发镀膜】机 ！5.3.2 — 本条规定》了真空蒸发镀膜机】的，调试及试运》行要求 《 ，     6！  应尽量延—长真空泵的》。抽气时？间以：便尽可能地抽除【镀膜：室内的残余气体 ！     】9、10 》 ，。真空蒸发镀膜机按蒸！发加热方式可分为电！阻加：热、电子束加热、】电阻和电《子，束加热？、感应加热、激光加！热等电子《束蒸：。发是：目前的主流技术近年！来随着技《术，的发展出现》了离：子束辅助蒸发—技术这两款是针对】电子束蒸发》镀膜设备《来进行规定的— ：