？ 5.3  真【空蒸发？镀膜：机 — 5《.3.2  本条】规定了？真，空蒸发镀膜机的调】试及试运行》要求 《。 《    6 — 应尽量延长真空泵！的抽气时间以—。便尽可能地抽除【镀膜室内的残余气】体 《     9】。、10  》真空：蒸发：镀膜机按蒸发加热】。方式可分为》电阻加热、》电子束加《热，、电阻和电子束加热！、感应？加热、激光》加热等电《子束蒸发是目前【的主流？技术近年来随着【技术的发展出—。现了离子束辅助蒸】发技术这两款是针对！电，子束：蒸发镀？膜设备来进行规【定，的 ？