5.—3  真空蒸发镀膜！机 ： ， 5.3！.2：  本条规定了【真空蒸发镀》膜机的调《试及：试运行？要求：   】。  6 《。 应尽量延长—真空泵的《抽气：时间以便《尽可：能地抽除镀膜—室内：的残余气体 】。    — 9、1《0  ？真空蒸发镀膜机【按蒸：发加热方《式可分为电阻加热】、电子束加热—、电阻和电子—束加热、感应加热】、激光加热等电子】束蒸发是《。目前的主流技术【近年来？随着技术的发展出】现了离？子束辅？助蒸发？技术这两款是针【。对电子束《蒸发镀膜设备来进】行规定的《 ：