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6 组装封装】工艺设备安装、调】试及试运行
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6.1 ! 一般规定
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6.1.1 !组装封装工》艺设:备主要应包括芯片粘!片机、芯片共晶焊机!。、共晶炉、》引线键合机、—倒装焊?机、:。等离子清洗》。机、选择性涂覆机、!平行缝焊机、—。储能焊机、激—光焊机?
—6.1.2》 共晶炉、—倒装焊机、等离【子清:洗机:。、,选择性涂《。覆机、平行缝焊机】、储能焊机、激光】焊,机可在地面直接放置!芯,片,粘片:机、芯片共晶焊机、!引线键合机宜在台面!放置
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?6.1.3 — 倒装?焊机应?安,装在6级净化的洁净!。间中:。芯片粘?片机:、芯片共晶焊机和】引线:键合机应安装在7级!净化:的,洁净间中其他组装】封装:工艺设?备可安装在8级或优!于8级净化的洁净间!中温度宜为18【℃~25℃》相对湿度宜》为40%~60%】
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