安全验证
5.9【  化学机械抛光机! 】。。5.9?。.1  化学—机械:抛光机的安装应符合!下列规?定, —    1  【应通过调《节四个地《脚高:度来调平抛光台; ! ?   《  2  抛光废液!回,收处理及处》理后排放管》道,应与厂房《的,排污系统连接— 5.9!.,2  化学》机械抛光机的调试及!试运行应符合—下列规?定,。。 , 《   ?  1  应准备】好,抛光液、长度—×宽度为100m】m×:100mm的待【抛光专用测试—样,片并将循环水及抛光!。液馈入系统废液处理!系统应工作》正常;? ,   【  2  应—在抛光?头及抛?光台相应位置粘上】反射薄膜应》用非:接触式转《速表对准反射薄【膜,测试并?调节抛?光头及抛光》台的:转速; 》 《   ?。 3  压》力以0.005MP!a为一档时》应依次将抛光头【压力从0《.005MPa【调到0?.05M《Pa应观测压力传】。感器测量值测试【结果应满足设备技】术要:。求; —    》 4  清洗—待抛光基片》并应固定到抛—光台上; 【 :     5  】应,设置抛光《压力、抛《光转速、抛》光液滴注《流量运行抛光程序】; : ?    》 6  应》在磨抛后的样片【磨抛面上取五个大】。小分别?为0.3m》m×0.3mm的点!域,应用原子力显—微镜测出这五个局部!点的粗糙《度然后应计算平【均,值所测各点的粗【糙度与平均值相比】较时允许偏差应为】±3%?; —。     7—。  应以样片中【心为厚度采》样测试点并测量【磨抛前、后的—样片厚度磨抛时应】启,动终点?检测功能并应将磨】抛前:、后的样《片厚:度测量值《进行比较《过,抛,光厚度?。应小于?。50nm —