5.9  ！化，学机械抛光机— 【 5.9.》1  化学机—械，抛，光机的安装》应符合下列》规，定 《     1】  应通过调节四个！地脚：高度来调平抛光台；！   】  2  抛光废】。液回收处《理及处理后排放管道！应与厂房《的，排污系统连接 ！ 5.9.2】 ， 化：学机械抛光机的【调试及？试运行应符合—下，列规定 《 ，    【 1  应准备好】抛光液、长》度×宽？度为100mm×】100mm》的待抛光专用测试样！片并将循环水及抛】光液馈？入系统废液处理【。系统应工作》正常； 】     2 【 应在抛光》头及抛光台》相应位置粘上反射】薄膜应？用非接触式转速表】对准反射薄膜测试】并，调节：抛光头及抛》光台的转速； ！    — 3  压力以0.！005M《Pa为一《档时应依《次将抛光头压力【从0.005MPa！调到0.《05MPa应观【测压力？。。传感器测量值—测试结果应满—足设备技术要求； ！ ： ，     —4  清洗》待抛光基片并—。应固定到《抛光台上； ！   《  5  应设【置，抛光压力《、抛光？转速：、抛光液滴》注流量运行抛光程序！； 》  ？   6 》 应在磨抛后—的样片磨抛面上取】五，个大小分《别为0.《3mm×0.—3mm的点域应【用原子力显微—镜测出这五个局【部点的粗糙》度然后应计算—平均值所《测各点的粗糙度与平！均值：相比较？时允许偏差》应为±3％； 【 》    7 — 应以样片中心为】厚度采样测试点并测！量磨：。。抛前、后的样片【厚度：磨抛：时应启动终点—检，测，功能并？应将磨抛前》、后的样片厚度【。。测，量，值进行比较过—抛光：厚度应小于50nm！ ：