《5.9？  ：化学机械抛光机 】 ： ， 5.9.1！  化？。学机械抛《光机的安装应符【合下：列，规定 《 ，  《   1  应通】过调节四个》地，脚高度来调平抛光】台； 】    2  抛光！废液：回收处理及》处理后排放管道应与！厂房的？排污系？统连接 》。 ： ， 5.9.2—  化学机》械抛：光机的调试及试【运行应符合下—。列规定 《     ！1  应准备—好抛光液、长度【×，宽度为100—m，m×10《。0m：m的：待，抛，光专用测试样—片并：。将，循环：水及抛光《。液馈入系统废—液处理系统应工作】正常； 】     2 【 应在抛《光头：及抛光台相应位置】粘上：反，射薄膜应用非接【触式转速表对准反】射薄膜测试并—调节抛光《头及抛光《台的转？速； 》   》。  3  压力【以0.？0，。05MPa为一档】时，应，依次将抛《光头压力从0.00！5MPa调到—0.05MPa应】观测压力传》感器测量《。值测试？结果应满足》设备技？术要求； 》。    】 4 ？ 清洗待抛光基片并！应固定到抛光台【上； 】   ？ 5 ？ 应设？置抛光压力》、抛光转速、—抛光液滴注流量【运行：抛光程序； 【  》。   6 》。 应在磨抛后的样】片磨抛面上》。取五个大小分—别为0.3m—m×0.3mm的点！域应用？原，子力显？微镜测出这》五个局？部点的粗糙度然后】应计算？平均值所测各点的】粗，糙度与平均值相【比较时允许》偏差应为±3—％； 【     7 【 应以样片》中心为？厚度采样测试点【并测量磨抛》前、后的样片厚【度磨抛时应启—动终点检测功能并】应，将磨抛？前，。、后的？样片厚度测》量值：进行比较过抛光【厚度应小于50【nm 《