5.9【  化学机械抛光机！ 】。。5.9？。.1  化学—机械：抛光机的安装应符合！下列规？定， —    1  【应通过调《节四个地《脚高：度来调平抛光台； ！ ？   《  2  抛光废液！回，收处理及处》理后排放管》道，应与厂房《的，排污系统连接— 5.9！.，2  化学》机械抛光机的调试及！试运行应符合—下列规？定，。。 ， 《   ？  1  应准备】好，抛光液、长度—×宽度为100m】m×：100mm的待【抛光专用测试—样，片并将循环水及抛光！。液馈入系统废液处理！系统应工作》正常；？ ，   【  2  应—在抛光？头及抛？光台相应位置粘上】反射薄膜应》用非：接触式转《速表对准反射薄【膜，测试并？调节抛？光头及抛光》台的：转速； 》 《   ？。 3  压》力以0.005MP！a为一档时》应依次将抛光头【压力从0《.005MPa【调到0？.05M《Pa应观测压力传】。感器测量值测试【结果应满足设备技】术要：。求； —    》 4  清洗—待抛光基片》并应固定到抛—光台上； 【 ：     5  】应，设置抛光《压力、抛《光转速、抛》光液滴注《流量运行抛光程序】； ： ？    》 6  应》在磨抛后的样片【磨抛面上取五个大】。小分别？为0.3m》m×0.3mm的点！域，应用原子力显—微镜测出这五个局部！点的粗糙《度然后应计算平【均，值所测各点的粗【糙度与平均值相比】较时允许偏差应为】±3％？； —。     7—。  应以样片中【心为厚度采》样测试点并测量【磨抛前、后的—样片厚度磨抛时应】启，动终点？检测功能并应将磨】抛前：、后的样《片厚：度测量值《进行比较《过，抛，光厚度？。应小于？。50nm —